JP4761556B2 - 窒化物含有ターゲット材 - Google Patents
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AIP法で使用するターゲットが低融点のAlを含む場合、Alがバインダーとして他の構成元素であるM成分元素の周りを取り囲み、その界面では窒化物含有化合物を形成する。この窒化物含有化合物は、AlM系の金属間化合物となる。M成分元素が2種以上の元素で構成される場合は、この化合物は、AlMy1My2系の化合物(但し、y1≠y2)を形成する。AIP法では、これらの窒化物含有化合物や、それ以外の、特にAl単独相の部分にアーク放電が集中する傾向がある。その結果として、硬質皮膜表面にドロップレットが多く含まれ、表面粗度の悪化や組成の不均一が発生する。巨大なドロップレットを含有した硬質皮膜は、ドロップレット部がマクロ的な欠陥となり、硬度、耐熱性また耐欠損性が低下する欠点がある。
M成分元素の窒化物、炭窒化物の粒子は、平均粒径で5μm以上、100μm以下が好ましい。平均粒径が5μm未満の場合、粒子に含まれる不純物の量が増大する。これが、ターゲット材の機械的強度を劣化させ、アーク放電などの衝撃により、割れが発生する欠点がある。また、100μmを超えると、ターゲット表面に発生するアーク放電がこの粒子に集中して、ドロップレットを増加させる欠点を有する。
本願発明の窒化物含有ターゲット材における酸素含有量は、質量%で0.7%以下が好ましい。0.7%を超えて多く含有すると、ターゲット材の機械的強度が劣るだけでなく、放電時に発生する酸素イオンがターゲット表面を酸化させるため、電気的な絶縁材を形成する。その結果、放電が不安定になり、ターゲットの異常溶解部が形成しやすくなる。
本願発明のターゲットを使用した場合、得られる硬質皮膜の硬度、密度、靭性等の機械的強度が高まるため、耐欠損性、耐摩耗性が要求される用途への被覆に用いることが効果的である。6μmを超えるような厚膜を形成させる際に使用すれば、ドロップレットの少ない、高密度な硬質皮膜の形成が可能となる。更に、ドリル、エンドミルまたは微小部品のように、使用したい部分にドロップレットの付着が好まれない用途に好適である。以下、本願発明を実施例に基づいて説明する。
本発明例1から16は、640MPa以上の抗折強度を有した。本発明例中で最も高い抗折強度を示した本発明例1、2は、従来例25に対し、1.4倍の値であった。本発明例4も、1.2倍以上の値であった。本発明例5〜7は、従来例26に対して抗折強度が高かった。窒化物を含有させた本発明例8〜15は、従来例27〜32に比較して抗折強度が高かった。これは、ターゲット中に含有されるAlが、M成分元素からなる窒化物や炭窒化物粒子と隣接する部分で、ターゲットを構成する元素ならびに化合物間の接合強度が高まったためである。ターゲット中のM成分元素からなる窒化物、炭窒化物の量は、比較例17や19のように、5.0%未満のときに、抗折強度は低かった。30.0%を超える場合も、抗折強度が低下した。
実施例1で作製したターゲット材を使用して被覆したミーリング用インサートを、以下の条件で切削評価を行い、硬質皮膜の耐摩耗性の優劣を確認した。評価方法は、切削長さ1m時に発生する硬質皮膜の剥離や破壊の有無を、光学顕微鏡を用いて切刃逃げ面部を50倍に拡大して観察した後、更に切削を継続し、10μm以上の微小チッピンク゛を含む欠損が発生した時点を工具寿命とし、その時点までの切削加工距離(m)を比較することによって性能を評価した。
(切削諸元)
工具:特殊正面フライス
インサート形状:SDE53タイプ特殊形状
切削方法:センターカット方式
被削材形状:幅125mm×長さ300mm
被削材:プレス金型用鋼SKD11、HRC29
軸方向切込み量:1.0mm
切削速度:130m/min
1刃あたりの送り量:1.3mm/刃
切削油:なし
表1に示したように、皮膜表面のドロップレット数量は切削における工具寿命に影響を及ぼした。即ち、窒化物、炭窒化物を含有したターゲットを用いて被覆したものは、工具寿命が優れる結果となった。本発明例1〜4の工具寿命は、夫々、35.8m、38.4m、40.1m、40.2mとなり、従来例25の(TiAl)Nの20.1mであった。硬質皮膜を構成する元素は同じであるものの、その硬質皮膜の被覆に使用するターゲットの形態が異なることによって、工具寿命は大きな影響を受けた。本発明例1〜4、比較例17を比較したときに、ターゲット中に含有させるTiN量が5.0%未満のときに工具寿命は、従来例と同等であった。TiN量が5.0%以上の範囲であって、その量が増えるに従って、工具寿命が優れた。最も工具寿命が優れる、本発明例4は、従来例25の工具寿命に比して、2倍優れた。切削距離1m時の刃先の損傷状態を確認した結果、本発明例1〜4の逃げ面最大摩耗幅が0.066mm程度であったのに対し、従来例25は、0.118mmであった。何れの試料とも剥離は認められず、正常摩耗をしており、最終的には、逃げ面最大摩耗幅が0.500mmを越えたところで欠損した。この結果は、ドロップレットが少なくなることにより、得られた硬質皮膜の硬度、密度、靭性等の機械的強度が高まり、その結果、優れた工具寿命を示したためである。
Claims (1)
- AlとM成分、但し、M成分は4a、5a、6a族金属、Si、B、Sから選択される1種以上の元素、を有するターゲット材において、該ターゲット材は、Al、M成分と該M成分の窒化物又は炭窒化物の含有量はモル%で、5.0%以上、30.0%以下、該ターゲット材は、面心立方構造を有し、且つ、X線回折における(111)面のピーク強度をA、(200)面のピーク強度をBとしたときに、そのピーク強度比が、1.0≦B/A≦10.0であることを特徴とする窒化物含有ターゲット材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006233011A JP4761556B2 (ja) | 2006-08-30 | 2006-08-30 | 窒化物含有ターゲット材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006233011A JP4761556B2 (ja) | 2006-08-30 | 2006-08-30 | 窒化物含有ターゲット材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008056957A JP2008056957A (ja) | 2008-03-13 |
JP4761556B2 true JP4761556B2 (ja) | 2011-08-31 |
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ID=39240054
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006233011A Active JP4761556B2 (ja) | 2006-08-30 | 2006-08-30 | 窒化物含有ターゲット材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4761556B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010095770A (ja) * | 2008-10-17 | 2010-04-30 | Hitachi Metals Ltd | Ti−Al系合金ターゲット及びその製造方法 |
JP5051168B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2012-10-17 | 日立ツール株式会社 | 窒化物分散Ti−Al系ターゲット及びその製造方法 |
DE102010042828A1 (de) * | 2010-10-22 | 2012-04-26 | Walter Ag | Target für Lichtbogenverfahren |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH051371A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-01-08 | Hitachi Metals Ltd | スパツタリング用ターゲツト材 |
JP4097972B2 (ja) * | 2002-03-29 | 2008-06-11 | 株式会社神戸製鋼所 | 物理的蒸着用ターゲットおよびその製造方法 |
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2006
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008056957A (ja) | 2008-03-13 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110124 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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