JP5043564B2 - インクジェット記録ヘッド用基板および該基板を具えたインクジェット記録ヘッド - Google Patents
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Description
以下、図面を参照して本発明の第1の実施形態を説明する。
図1は、本実施形態のカートリッジタイプの記録ヘッドを搭載可能なインクジェット記録装置の要部を示した図である。ブラックインク用記録ヘッド100およびカラーインク用記録ヘッド101は、キャリッジ102に交換可能に搭載されている。
記録ヘッド100および101は、吐出口の並び方向がキャリッジ102の走査方向に対して交差する方向になるようにキャリッジ102に搭載され、これらの吐出口から液体を吐出して記録を行う。
以下、本実施形態の記録ヘッドについて説明を行うが、ブラックインク用記録ヘッド100とカラーインク用記録ヘッド101は、基本的な構成が同じであるため、説明は記録ヘッド100についてのみ行い記録ヘッド101については省略する。
次に本発明の第2の実施形態を説明する。なお、基本的構成については第1の実施形態と同じであるため説明を省略し、特徴的な部分についてのみ説明する。
次に本発明の第3の実施形態を説明する。なお、基本的構成については第1、第2の実施形態と同じであるため説明を省略し、特徴的な部分についてのみ説明する。
200 記録素子基板
302 電気熱変換素子
304 バンプ
306 吐出口
500a ヒューズ
500b ヒューズ
501 第2の駆動素子
503 選択回路
505 VH電源配線
506 GNDH電源配線
900 ヒューズ
901 第1のヒューズアレイ
902 第2のヒューズアレイ
904 層間絶縁膜
905 Al配線
910 ヒューズ
921 ヒューズ
924 第2のヒューズアレイ
925 第1のヒューズアレイ
926 保護膜
Claims (8)
- 溶断の有無によって情報を記憶可能な複数のヒューズと、
前記溶断による前記情報の記憶および該情報の読み出しとを行うために、各々の前記ヒューズに対する通電を選択的に行うための電極パッドと、を備えるインクジェット記録ヘッド用基板であって、
前記複数のヒューズのそれぞれは、基板上に積層された複数の層のいずれか1層からなり、
前記複数の層のうち前記基板から遠い層からなるヒューズは、前記複数の層のうち前記基板に近い層からなるヒューズよりも小さいエネルギで溶断できるように設けられていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド用基板。 - 少なくとも2つの前記ヒューズに対して共通に接続されて通電路を閉成する駆動回路をさらに有することを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド用基板。
- 前記複数の層は、絶縁層を介して前記基板上に積層されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のインクジェット記録ヘッド用基板。
- 前記基板から遠い層の膜厚は、前記基板から近い層の膜厚より薄いことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド用基板。
- 前記複数の層のうち最も上層からなるヒューズは、保護膜で被覆されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド用基板。
- 前記複数の層からなる前記複数のヒューズは、前記基板の厚み方向に重ならないように配置されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド用基板。
- 通電されることでインクを吐出するために利用される熱エネルギを発生する電気熱変換素子を具え、前記複数のヒューズの一部は、前記電気熱変換素子と同一の材料で形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド用基板。
- 請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド用基板を備えたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
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