JP5036909B2 - 抵抗変化型素子及びその製造方法 - Google Patents
抵抗変化型素子及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5036909B2 JP5036909B2 JP2011545958A JP2011545958A JP5036909B2 JP 5036909 B2 JP5036909 B2 JP 5036909B2 JP 2011545958 A JP2011545958 A JP 2011545958A JP 2011545958 A JP2011545958 A JP 2011545958A JP 5036909 B2 JP5036909 B2 JP 5036909B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- upper electrode
- layer
- resistance
- oxide
- oxide layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C26/00—Coating not provided for in groups C23C2/00 - C23C24/00
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
- H10N70/061—Patterning of the switching material
- H10N70/063—Patterning of the switching material by etching of pre-deposited switching material layers, e.g. lithography
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/20—Multistable switching devices, e.g. memristors
- H10N70/24—Multistable switching devices, e.g. memristors based on migration or redistribution of ionic species, e.g. anions, vacancies
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/821—Device geometry
- H10N70/826—Device geometry adapted for essentially vertical current flow, e.g. sandwich or pillar type devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/841—Electrodes
- H10N70/8418—Electrodes adapted for focusing electric field or current, e.g. tip-shaped
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices without a potential-jump barrier or surface barrier, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/883—Oxides or nitrides
- H10N70/8833—Binary metal oxides, e.g. TaOx
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/30—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices comprising selection components having three or more electrodes, e.g. transistors
Description
[素子の構成]
図1は、本発明の第1実施形態に係る抵抗変化型素子の概略構成を示す断面図である。図1に示す通り、第1実施形態に係る抵抗変化型素子10は、Mをある遷移金属元素、Oを酸素としたときに、下部電極104と、下部電極104の上に形成され、Mに対するOの組成比をx(但し、xは正の数)としたときにMOxで構成される第1酸化物層105xと、第1酸化物層105xの上に形成され、Mに対するOの組成比をy(但し、y>x)としたときにMOyで構成される第2酸化物層105yと、第2酸化物層105yの上に形成される上部電極106と、上部電極106の上に形成され、上部電極106と異なる組成を有する導電性材料で構成される保護層110と、保護層110を覆うように形成された層間絶縁層(第2層間絶縁層107)と、第2層間絶縁層107を貫通する上部コンタクトホール108’内に形成された上部コンタクトプラグ108と、を備え、上部電極106は、第2酸化物層105yに向かって突出しかつ第2酸化物層105yを貫通しない複数の微小突起を有し、上部コンタクトプラグ108は、上部電極106とは物理的に接触せず、保護層110と物理的に接触することにより、上部電極106と電気的に接続する。
図2および図3は、本発明の第1実施形態に係る抵抗変化型素子の製造方法の工程を示す断面図である。図2(a)は、基板(図示せず)上に形成された層間絶縁層(図示せず)上に形成された下部電極材料層104’を形成する工程を示す図、図2(b)は酸化物材料層105z’を形成する工程を示す図、図2(c)は第2酸化物材料層105y’および第1酸化物材料層105x’を形成する工程を示す図、図2(d)は上部電極材料層106’と保護材料層110’とを形成する工程を示す図、図2(e)は保護材料層110’をエッチングする工程を示す図、図2(f)は、図2(e)の保護材料層110’をマスクにして、上部電極材料層106’、第2酸化物材料層105y’、第1酸化物材料層105x’、および下部電極材料層104’を同時にエッチングし、下部電極104、第1酸化物層105x、第2酸化物層105y、上部電極106、および保護層110を形成する工程を示す図である。ここで保護材料層110’をエッチング時のマスクに用いたため、得られる保護層110の厚さは、保護材料層110’を形成した当初の厚さに比べて薄くなっている。
(1)製造条件など
第1実施例では、上述の第1実施形態の製造方法を用いて図1に示されている構成の抵抗変化型素子を作成した。
図4は、第1実施例に係る抵抗変化型素子の要部の断面を示す図であり、図4(a)は透過型電子顕微鏡写真、図4(b)は図4(a)の透過型電子顕微鏡写真をトレースした図、である。図4(b)中の符号は、図1の符号と共通するので、説明を省略する。矢印は、上部電極の厚さを示す。なお、図4に示すサンプルは第2酸化物層の厚さが7nm、素子面積が0.25μm2のものである。
図6は、第1実施例に係る抵抗変化型素子の抵抗変化動作例を示す図である。なお、図6に示すサンプルは第2酸化物層の厚さが8nm、素子面積が0.25μm2のものである。
第2実施例では、第1実施例において形成された第2酸化物層の組成を特定した。具体的には、第1実施例と同一条件でシリコン基板上に酸化物材料層を形成し、これを第1実施例と同一条件でプラズマ酸化することで第1酸化物材料層と第2酸化物材料層とを形成した。
第3実施例では、抵抗変化型素子における上部電極の厚さと第2酸化物層の厚さと初期抵抗(製造直後における抵抗変化型素子の抵抗値)との相関関係を検討した。抵抗変化型素子の構成、製造方法、条件などは、第2酸化物層の厚さおよび上部電極の厚さを除けば、加熱工程を含め、第1実施形態と同様とした。
第1実施例で形成された微小突起の突起量(height)は5nm以下と小さいため、電子顕微鏡写真などを用いて直接観察することにより突起量を測定するのは困難であった。第1酸化物層の抵抗率は6mΩcmと半金属的である一方、第2酸化物層の抵抗率は107mΩcm程度(第1酸化物層の100万倍以上)と高い。このため、抵抗変化型素子の初期抵抗は、主として第2酸化物層のうちで最も薄くなっている部分(第2酸化物層の厚さcと微小突起の長さbの差(c−b)に相当する部分)の抵抗により決まる。第1酸化物層の厚さは分光エリプソメトリ法により測定可能であるため、第2酸化物層の厚さが一定であれば、初期抵抗は、第2酸化物層の厚さcと微小突起の長さbの差(c−b)に相当する第2酸化物層の厚さによって決まり、初期抵抗と微小突起の長さbは1対1の関係にあると考えられる。したがって、抵抗変化型素子の初期抵抗から微小突起の長さbを定性的に理解することが可能である。
比較例では、第1実施形態の抵抗変化型素子から保護層を除去した構成とした抵抗変化型素子を製造した。
図13は、第1実施例と比較例とで素子間の特性のばらつきを比較する図であり、図13(a)は本発明の第1実施例における第2酸化物層の厚さと初期抵抗との関係における素子間の特性のばらつきを示す図、図13(b)は比較例における第2酸化物層の厚さと初期抵抗との関係における素子間の特性のばらつきを示す図、である。
図14は、第1実施例と比較例における抵抗変化型素子の面積と初期抵抗との関係を示す図であり、図14(a)は本発明の第1実施例、図14(b)は比較例、である。
図15は、第2実験例に係る抵抗変化型素子の断面を示す図であり、図15(a)は走査型電子顕微鏡(SEM)写真、図15(b)は図15(a)の走査型電子顕微鏡写真をトレースした図、である。図15(b)中の符号は、図11の符号と共通するので、説明を省略する。第2実験例では、比較例と同様の方法で製造した抵抗変化型素子の断面を操作型電子顕微鏡で撮像し、初期抵抗ばらつきの原因を分析した。
抵抗変化型素子に抵抗変化動作を行わせるためには、製造された抵抗変化型素子に対し、通常の抵抗変化動作に用いる電圧より大きい電圧を持つ電気的パルスを印加することが好ましい。かかる処理により、電気的なパスが酸化物層内に形成され、抵抗変化型素子の特性のばらつきが小さくなる。(以下、製造直後に電気的なパスを酸化物層内に形成する処理を、初期ブレイクダウンと表記する)。初期ブレイクダウンにより、抵抗変化型素子の抵抗値は、105〜108Ω(100kΩ〜100MΩ)から103〜104Ω(1kΩ〜10kΩ)へと低下する。電気的パルスを印加することによる酸化還元反応が導電性のパス部において生じることが、抵抗変化動作の原因である。初期ブレイクダウンは、そのような導電性のパスを形成して、抵抗変化動作を安定的に発現する上で必要不可欠な処理である。また、初期ブレイクダウンを行わずに抵抗変化型素子を抵抗変化動作させると、素子の特性がばらつきやすい。初期ブレイクダウンは、抵抗変化型素子の特性のばらつきを抑える上でも好ましい。
20 抵抗変化型素子
100 基板
101 下部配線
102 第1層間絶縁層
103 下部コンタクトプラグ
103a 充填層
103b 密着/バリア層
104 下部電極
104’ 下部電極材料層
105 酸化物層
105’ 酸化物材料層
105x 第1酸化物層
105x’第1酸化物材料層
105y 第2酸化物層
105y’第2酸化物材料層
105z’酸化物材料層
106 上部電極
106’ 上部電極材料層
106a 上部電極(白金)
106b 白金とタングステンの合金
106x 微小突起
107 第2層間絶縁層
108 上部コンタクトプラグ
108’ 上部コンタクトホール
108a 充填層
108b 密着/バリア層
109 上部配線
110 保護層
110’ 保護材料層
111 空隙
Claims (9)
- Mをある遷移金属元素、Oを酸素としたときに、
下部電極材料層を形成する工程と、
前記下部電極材料層の上に、Mに対するOの組成比をx(但し、xは正の数)としたときにMOxで構成される第1酸化物材料層と、Mに対するOの組成比をy(但し、y>x)としたときにMOyで構成される第2酸化物材料層とをこの順で形成する工程と、
前記第2酸化物材料層の上に上部電極材料層を形成する工程と、
前記上部電極材料層の上に前記上部電極材料層と異なる組成を有する保護材料層を形成する工程と、
前記下部電極材料層と前記第1酸化物材料層と前記第2酸化物材料層と前記上部電極材料層と前記保護材料層とを所定の形状に加工してそれぞれ下部電極と第1酸化物層と第2酸化物層と上部電極と保護層とを形成する工程と、
前記保護層を覆うように層間絶縁層を形成する工程と、
前記層間絶縁層を貫通して底面に前記保護層が露出し、前記上部電極が露出しないように上部コンタクトホールを形成する工程と、
前記上部コンタクトホールの内部に上部コンタクトプラグを形成する工程と、
前記上部電極を加熱することで、前記上部電極を構成する材料の結晶粒界で、前記第2酸化物層に向かって突出しかつ前記第2酸化物層を貫通しない複数の微小突起を形成し、かつ、前記第2酸化物層に、前記上部電極との界面において、前記微小突起に対応するように、複数の凹部を形成する工程と、を有する
抵抗変化型素子の製造方法。 - 前記上部電極の厚さが20nmより大きくなるように前記上部電極が形成される、請求項1に記載の抵抗変化型素子の製造方法。
- 前記上部電極の厚さが100nmより小さくなるように前記上部電極が形成される、請求項2に記載の抵抗変化型素子の製造方法。
- 前記上部電極が、白金、パラジウム、白金を含む合金、パラジウムを含む合金のいずれかで構成される、請求項1、2、3のいずれかに記載の抵抗変化型素子の製造方法。
- 前記複数の凹部を形成する工程において、前記第1酸化物層と前記第2酸化物層との界面は平坦である一方で、前記第2酸化物層と前記上部電極との界面が凹凸を有することにより、前記第2酸化物層が局所的に薄い部分を複数有するように、前記複数の凹部が形成される、請求項1に記載の抵抗変化型素子の製造方法。
- 前記遷移金属元素はタンタルであり、2.1≦yおよび0.8≦x≦1.9を満たす、請求項1に記載の抵抗変化型素子の製造方法。
- 前記上部電極の厚さが10nmより大きくなるように前記上部電極が形成される、請求項1に記載の抵抗変化型素子の製造方法。
- 前記微小突起は、前記第1酸化物層とは物理的に接触しないように形成される、請求項1に記載の抵抗変化型素子の製造方法。
- 前記保護層が、チタンとアルミとの合金の窒化物またはチタンの窒化物で構成される、請求項1に記載の抵抗変化型素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011545958A JP5036909B2 (ja) | 2009-12-18 | 2010-12-14 | 抵抗変化型素子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009287685 | 2009-12-18 | ||
JP2009287685 | 2009-12-18 | ||
JP2011545958A JP5036909B2 (ja) | 2009-12-18 | 2010-12-14 | 抵抗変化型素子及びその製造方法 |
PCT/JP2010/007250 WO2011074243A1 (ja) | 2009-12-18 | 2010-12-14 | 抵抗変化型素子及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5036909B2 true JP5036909B2 (ja) | 2012-09-26 |
JPWO2011074243A1 JPWO2011074243A1 (ja) | 2013-04-25 |
Family
ID=44167013
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011545958A Expired - Fee Related JP5036909B2 (ja) | 2009-12-18 | 2010-12-14 | 抵抗変化型素子及びその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8530321B2 (ja) |
JP (1) | JP5036909B2 (ja) |
CN (1) | CN102696107A (ja) |
WO (1) | WO2011074243A1 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5436669B2 (ja) * | 2010-07-01 | 2014-03-05 | パナソニック株式会社 | 不揮発性記憶素子及びその製造方法 |
JP5340508B1 (ja) * | 2011-11-17 | 2013-11-13 | パナソニック株式会社 | 抵抗変化型不揮発性記憶装置及びその製造方法 |
WO2013111545A1 (ja) * | 2012-01-25 | 2013-08-01 | パナソニック株式会社 | 抵抗変化型不揮発性記憶素子とその製造方法 |
WO2013140768A1 (ja) * | 2012-03-21 | 2013-09-26 | パナソニック株式会社 | 不揮発性記憶装置及びその製造方法 |
US9680091B2 (en) * | 2012-06-15 | 2017-06-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Structure and method for a complimentary resistive switching random access memory for high density application |
US8598560B1 (en) * | 2012-07-12 | 2013-12-03 | Micron Technology, Inc. | Resistive memory elements exhibiting increased interfacial adhesion strength, methods of forming the same, and related resistive memory cells and memory devices |
US8964448B2 (en) | 2012-08-09 | 2015-02-24 | Micron Technology, Inc. | Memory cells having a plurality of resistance variable materials |
JP2014082279A (ja) * | 2012-10-15 | 2014-05-08 | Panasonic Corp | 不揮発性記憶装置及びその製造方法 |
US9172038B2 (en) | 2012-11-14 | 2015-10-27 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Nonvolatile memory element and method of manufacturing the same |
US9450183B2 (en) * | 2014-08-12 | 2016-09-20 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Memory structure having top electrode with protrusion |
US9735357B2 (en) | 2015-02-03 | 2017-08-15 | Crossbar, Inc. | Resistive memory cell with intrinsic current control |
US10840442B2 (en) * | 2015-05-22 | 2020-11-17 | Crossbar, Inc. | Non-stoichiometric resistive switching memory device and fabrication methods |
US10873023B2 (en) * | 2016-03-31 | 2020-12-22 | Crossbar, Inc. | Using aluminum as etch stop layer |
US10276634B2 (en) * | 2017-06-20 | 2019-04-30 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor memory structure with magnetic tunnel junction (MTJ) cell |
US10283700B2 (en) | 2017-06-20 | 2019-05-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor memory structure with magnetic tunnel junction (MTJ) cell |
KR101992953B1 (ko) * | 2018-10-12 | 2019-06-27 | 브이메모리 주식회사 | 전기장을 이용한 전류 경로 제어 방법 및 전자 소자 |
CN112599665A (zh) * | 2020-11-27 | 2021-04-02 | 上海华力微电子有限公司 | RRAM Cell stack TaOx制作方法和结构 |
CN114864814B (zh) * | 2022-04-06 | 2024-04-23 | 华中科技大学 | 一种选通管及其制备方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005041303A1 (ja) * | 2003-10-23 | 2005-05-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 抵抗変化素子、その製造方法、その素子を含むメモリ、およびそのメモリの駆動方法 |
JP2006203178A (ja) * | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Sharp Corp | 不揮発性メモリ抵抗体セル及びその製造方法 |
WO2008047530A1 (en) * | 2006-10-16 | 2008-04-24 | Panasonic Corporation | Non-volatile storage device and method for manufacturing the same |
WO2008117371A1 (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Fujitsu Limited | 抵抗記憶素子及び不揮発性半導体記憶装置 |
JP2009124167A (ja) * | 2007-06-05 | 2009-06-04 | Panasonic Corp | 不揮発性記憶素子およびその製造方法、並びにその不揮発性記憶素子を用いた不揮発性半導体装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001107238A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-04-17 | Sharp Corp | プラチナ電極上の単相ペロブスカイト強誘電体膜およびその形成方法 |
JP2005340418A (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Mitsubishi Materials Corp | ヒロック発生のない白金合金膜およびその白金合金膜を形成するためのスパッタリングターゲット |
JP4699932B2 (ja) | 2006-04-13 | 2011-06-15 | パナソニック株式会社 | 抵抗変化素子とそれを用いた抵抗変化型メモリならびにその製造方法 |
US9236381B2 (en) * | 2006-11-17 | 2016-01-12 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Nonvolatile memory element, nonvolatile memory apparatus, nonvolatile semiconductor apparatus, and method of manufacturing nonvolatile memory element |
WO2008075412A1 (ja) | 2006-12-19 | 2008-06-26 | Fujitsu Limited | 抵抗変化素子及びその製造方法 |
WO2008111199A1 (ja) * | 2007-03-14 | 2008-09-18 | Fujitsu Microelectronics Limited | 半導体装置及びその製造方法 |
WO2008140979A1 (en) * | 2007-05-09 | 2008-11-20 | Intermolecular, Inc. | Resistive-switching nonvolatile memory elements |
JP2009146943A (ja) | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Fujitsu Ltd | 抵抗変化素子、これを用いた半導体記憶装置、及びそれらの作製方法 |
-
2010
- 2010-12-14 CN CN2010800572852A patent/CN102696107A/zh not_active Withdrawn
- 2010-12-14 WO PCT/JP2010/007250 patent/WO2011074243A1/ja active Application Filing
- 2010-12-14 US US13/515,761 patent/US8530321B2/en active Active
- 2010-12-14 JP JP2011545958A patent/JP5036909B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005041303A1 (ja) * | 2003-10-23 | 2005-05-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 抵抗変化素子、その製造方法、その素子を含むメモリ、およびそのメモリの駆動方法 |
JP2006203178A (ja) * | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Sharp Corp | 不揮発性メモリ抵抗体セル及びその製造方法 |
WO2008047530A1 (en) * | 2006-10-16 | 2008-04-24 | Panasonic Corporation | Non-volatile storage device and method for manufacturing the same |
WO2008117371A1 (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Fujitsu Limited | 抵抗記憶素子及び不揮発性半導体記憶装置 |
JP2009124167A (ja) * | 2007-06-05 | 2009-06-04 | Panasonic Corp | 不揮発性記憶素子およびその製造方法、並びにその不揮発性記憶素子を用いた不揮発性半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2011074243A1 (ja) | 2011-06-23 |
US8530321B2 (en) | 2013-09-10 |
CN102696107A (zh) | 2012-09-26 |
JPWO2011074243A1 (ja) | 2013-04-25 |
US20120252184A1 (en) | 2012-10-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5036909B2 (ja) | 抵抗変化型素子及びその製造方法 | |
US9214628B2 (en) | Nonvolatile memory element, nonvolatile memory device, and manufacturing method for the same | |
KR100672274B1 (ko) | Rram 메모리 셀 전극 | |
TWI518956B (zh) | 電阻式記憶體裝置與其製造方法 | |
JP3896576B2 (ja) | 不揮発性メモリおよびその製造方法 | |
JP4948688B2 (ja) | 抵抗変化型不揮発性記憶素子、抵抗変化型不揮発性記憶装置及び抵抗変化型不揮発性記憶素子の製造方法 | |
US8450182B2 (en) | Method of manufacturing non-volatile semiconductor memory element and method of manufacturing non-volatile semiconductor memory device | |
CN102449763B (zh) | 非易失性存储元件以及其制造方法 | |
TWI646709B (zh) | 相變化記憶體元件及其應用 | |
WO2011043448A1 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP5110088B2 (ja) | 抵抗変化素子とその製造方法、及び抵抗変化素子を用いた半導体記憶装置 | |
JP4913268B2 (ja) | 不揮発性記憶装置及びその製造方法 | |
WO2008068800A1 (ja) | 抵抗記憶素子及びその製造方法、並びに不揮発性半導体記憶装置 | |
JP5572749B2 (ja) | 不揮発性記憶素子及びその製造方法 | |
JP2010251352A (ja) | 不揮発性記憶素子及びその製造方法 | |
JP5074583B2 (ja) | 不揮発性記憶素子の製造方法、および不揮発性記憶装置の製造方法 | |
JP2007288016A (ja) | メモリ素子およびメモリ素子の製造方法 | |
US9142773B2 (en) | Variable resistance nonvolatile memory element and method of manufacturing the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120612 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120703 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150713 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5036909 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |