JP5035763B2 - 加工方法 - Google Patents
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前記金型を回転させながら、前記ダイヤモンド工具を前記回転軸に平行に移動させ前記第1の縁部により溝加工を行い、更に前記ダイヤモンド工具を前記回転軸に交差する方向に移動させ前記第2の縁部又は前記第3の縁部を用いて前記光学転写面を加工した後に、前記第2の縁部又は前記第3の縁部がそれにより加工された加工面から遠ざかる方向に前記ダイヤモンド工具を移動させてから、前記第1の縁部がそれにより加工された加工面から遠ざかる方向に前記ダイヤモンド工具を移動させることを特徴とする。
本発明について、図面を参照して説明する。図5は、金型の光学転写面の概略拡大断面図である。ダイヤモンド工具Tは片持ち状態にあり、しかも細長いすくい面を有するため、切削加工時に側面から大きな力を受けたとき、先端がしなるように変形しやすいという特性を有する。即ち、最も深い溝を第2の縁部T2又は第3の縁部T3で切削したときに、溝の側面より大きな力を受けて、例えば本来光軸Oと平行にならなければならない側面が傾斜する恐れがある。
そこで、本発明においては、第2の縁部T2又は第3の縁部T3を用いて光学転写面を加工した後に、第1の縁部T1がそれにより加工された加工面から遠ざかる方向(ここではZ軸方向、図5で上方)にダイヤモンド工具Tを移動させたときは、光軸Oに直交する位置(ここではX軸方向位置)を固定した状態で、第1の縁部T1がそれにより加工された加工面に近づく方向にダイヤモンド工具Tを移動させるので、たとえ溝の側面が傾斜するように加工された場合でも、かかる側面を、本来の位置にあるダイヤモンド工具Tの第1の縁部T1と、第2の縁部T2又は第3の縁部T3とを用いて修正加工を行うことができ、それにより精度の良い溝形状を加工形成することができる。尚、かかる修正加工は複数回行っても良い。
T ダイヤモンド工具
10 超精密加工機
Claims (7)
- ダイヤモンドからなる切れ刃のすくい面に、金型の回転軸に対して交差する方向に少なくとも100μm以内の長さで直線状に延在する直線部を含む第1の縁部と、前記第1の縁部より長く且つ前記第1の縁部の両端側から直交する方向に直線状に延在する第2の縁部及び第3の縁部とを形成したダイヤモンド工具を用いて、光学機能面に、光軸を中心とした輪帯状で、かつ輪帯に所定数の不連続な段差が設けられた回折構造を有する光学素子を成形するための金型の光学転写面を加工する加工方法であって、
前記金型を回転させながら、前記ダイヤモンド工具を前記回転軸に平行に移動させ前記第1の縁部により溝加工を行い、更に前記ダイヤモンド工具を前記回転軸に交差する方向に移動させ前記第2の縁部又は前記第3の縁部を用いて前記光学転写面を加工した後に、前記第2の縁部又は前記第3の縁部がそれにより加工された加工面から遠ざかる方向に前記ダイヤモンド工具を移動させてから、前記第1の縁部がそれにより加工された加工面から遠ざかる方向に前記ダイヤモンド工具を移動させることを特徴とする加工方法。 - 前記第1の縁部がそれにより加工された加工面から遠ざかる方向に前記ダイヤモンド工具を移動させた後に、前記第2の縁部又は前記第3の縁部を用いて前記光学転写面を加工した光軸直交方向位置まで、前記ダイヤモンド工具を戻し、その位置を固定した状態で、少なくとも一度前記第1の縁部がそれにより加工された加工面に近づく方向に前記ダイヤモンド工具を移動させることを特徴とする請求項1に記載の加工方法。
- 前記金型を回転させながら、その光学転写面に階段状に深くなる輪帯溝を加工する場合において、前記輪帯溝において最も深い位置まで加工が行われたとき、前記第1の縁部がそれにより加工された加工面から遠ざかる方向に、前記ダイヤモンド工具を移動させることを特徴とする請求項1又は2に記載の加工方法。
- 前記ダイヤモンド工具の第1の縁部を用いて第1の深さ位置まで前記光学転写面を加工する第1ステップと、更に前記ダイヤモンド工具を前記回転軸と交差する方向に移動することで前記光学転写面を加工する第2ステップと、更に前記ダイヤモンド工具の第1の縁部を用いて前記第1の深さ位置より深い第2の深さ位置まで前記光学転写面を加工する第3ステップと、を有し、前記輪帯溝内において、段が浅い順に階段を加工することを特徴とする請求項3に記載の加工方法。
- 前記第1ステップから第3ステップを複数回繰り返すことにより、前記輪帯溝を形成することを特徴とする請求項4に記載の加工方法。
- 前記ダイヤモンド工具の第1の縁部の長さは、前記光学素子の前記段部の光軸直交方向の最小幅より小さいことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の加工方法。
- 前記金型の光学転写面にニッケル・隣・銅メッキを施していることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の加工方法。
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