JP5030010B2 - 紫外線照射装置 - Google Patents
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Description
2…光源収納室
3…紫外線ランプ
4…ランプベース
5…反射板
6…温調機構
7…温調ブロック
8…熱伝達部
9…突出部
10…基底部
11…ヒートシンク
12…冷却ファン
13…温度センサー
14…温度制御回路
15…試料室
16…処理槽
17…外壁
18…被処理物
19…被処理物支持機
20…ヒーター
21…リード線
22…端子
23…貫通孔
24…差込孔
25…筐体
26…隔壁
27…照射窓
Claims (2)
- 金属製ランプベースを有する紫外線ランプと、該紫外線ランプを収納する密閉された光源収納室と、前記ランプベースの温度調整を行なう温調機構とを備える紫外線照射装置において、前記温調機構は、前記光源収納室内で前記ランプベースに接触する熱伝達部と、前記熱伝達部に連接し且つ前記光源収納室を構成する外壁を貫通し前記光源収納室外に突き出して形成された突出部とを有する金属製温調ブロックと、前記光源収納室外に配置され前記温調ブロックの前記突出部に前記光源収納室外の空気を吹き付ける冷却ファンと、前記温調ブロックの内部に設置されその部位の温度を検出する温度センサと、該温度センサの検出温度に基づいて前記冷却ファンを駆動させる温度制御回路とから構成し、更に、前記温調ブロックはその内部にヒーターを備え、前記ランプベースの温度調整は前記冷却ファンによる前記温調ブロックの冷却と前記ヒーターによる前記温調ブロックの加熱とを併用した温度調整が可能なように構成した紫外線照射装置であって、前記紫外線ランプは放射される紫外線によりオゾンを生成する紫外線ランプであり、密閉されたバッチ式処理槽を具備し、かつ該処理槽は被処理物を配置する密閉された試料室と前記光源収納室の内部が一体化して構成されると共に、該処理槽の内部にオゾン及びオゾンから生成した活性酸素等の気体物質を充満させて表面処理が行なわれる
ことを特徴とする紫外線照射装置。 - 1つの前記温調ブロックは、その熱伝達部が前記光源収納室内で複数の前記ランプベースに接触させて配置され、それら複数のランプベースの温度調整を同時に行なうことが可能なように構成したことを特徴とする、請求項1記載の紫外線照射装置。
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