JPH11333289A - 洗浄改質装置 - Google Patents
洗浄改質装置Info
- Publication number
- JPH11333289A JPH11333289A JP14568398A JP14568398A JPH11333289A JP H11333289 A JPH11333289 A JP H11333289A JP 14568398 A JP14568398 A JP 14568398A JP 14568398 A JP14568398 A JP 14568398A JP H11333289 A JPH11333289 A JP H11333289A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge lamp
- cleaning
- work
- reforming apparatus
- ozone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 装置を簡単に構成することができ、さらに放
電ランプの出力を安定させて、光学部品や電気部品等の
ワークの表面の処理を効率よく行うことができる洗浄改
質装置を提供することを課題とする。 【解決手段】 洗浄改質装置本体１１の内部に、直管形
の放電ランプ１２を収納し、また同放電ランプの下端に
ワーク収納部を構成し、同ワーク収納部をオゾン雰囲気
とすると共に紫外線を照射するように構成し、また放電
ランプの封止部を熱伝導性の覆体２０で覆い、また同熱
伝導性の覆体の外側面にサーモモジュール２１を配置
し、さらにサーモモジュールの外側面に放熱フィン２２
を配置し、放電ランプの電極部を一定範囲の温度以内に
保つように構成してある。
電ランプの出力を安定させて、光学部品や電気部品等の
ワークの表面の処理を効率よく行うことができる洗浄改
質装置を提供することを課題とする。 【解決手段】 洗浄改質装置本体１１の内部に、直管形
の放電ランプ１２を収納し、また同放電ランプの下端に
ワーク収納部を構成し、同ワーク収納部をオゾン雰囲気
とすると共に紫外線を照射するように構成し、また放電
ランプの封止部を熱伝導性の覆体２０で覆い、また同熱
伝導性の覆体の外側面にサーモモジュール２１を配置
し、さらにサーモモジュールの外側面に放熱フィン２２
を配置し、放電ランプの電極部を一定範囲の温度以内に
保つように構成してある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は洗浄改質装置の改良
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】通常レンズ等の光学部品あるいはキーボ
ード等の電気部品の表面には有機汚染物質が付着してい
る。光学部品や電気部品の表面に有機汚染物質が付着し
ていると、例えばコーティング膜との密着性が悪くな
る。
ード等の電気部品の表面には有機汚染物質が付着してい
る。光学部品や電気部品の表面に有機汚染物質が付着し
ていると、例えばコーティング膜との密着性が悪くな
る。
【０００３】そこで従来、紫外線の作用で発生するオゾ
ンから分離した活性酸素の働きで、光学部品や電気部品
の表面に付着している有機汚染物質を洗浄すると共に改
質することが行われている。従来の洗浄改質装置として
は、例えば図５に示すように、洗浄改質装置本体１の内
部に、Ｕ字形の放電ランプ２を収納し、また同放電ラン
プ２の下側にワーク収納部３を構成し、同ワーク収納部
３に出し入れ自在に構成してなる光学部品や電気部品等
のワーク表面の有機汚染物質を活性酸素の働きで洗浄改
質している。
ンから分離した活性酸素の働きで、光学部品や電気部品
の表面に付着している有機汚染物質を洗浄すると共に改
質することが行われている。従来の洗浄改質装置として
は、例えば図５に示すように、洗浄改質装置本体１の内
部に、Ｕ字形の放電ランプ２を収納し、また同放電ラン
プ２の下側にワーク収納部３を構成し、同ワーク収納部
３に出し入れ自在に構成してなる光学部品や電気部品等
のワーク表面の有機汚染物質を活性酸素の働きで洗浄改
質している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した洗
浄改質装置では、例えば３５０ワットの高容量の放電ラ
ンプを３本程度組み合わせて使用するので高熱となる。
そこで同洗浄改質装置では、水冷構造として放電ランプ
の電極部を冷却する必要があり構造が複雑となる欠点が
ある。また水冷構造とすると、放電ランプの電極部の温
度を一定に保つことが難しく、放電ランプの出力に差異
が生じることがあり、光学部品や電気部品等のワーク表
面の有機汚染物質の処理効果が一定しない欠点がある。
浄改質装置では、例えば３５０ワットの高容量の放電ラ
ンプを３本程度組み合わせて使用するので高熱となる。
そこで同洗浄改質装置では、水冷構造として放電ランプ
の電極部を冷却する必要があり構造が複雑となる欠点が
ある。また水冷構造とすると、放電ランプの電極部の温
度を一定に保つことが難しく、放電ランプの出力に差異
が生じることがあり、光学部品や電気部品等のワーク表
面の有機汚染物質の処理効果が一定しない欠点がある。
【０００５】本発明は上記した諸点に鑑み発明したもの
であって、装置を簡単に構成することができ、さらに放
電ランプの出力を安定させて、光学部品や電気部品等の
ワーク表面を効率よく処理することができる洗浄改質装
置を提供することを目的とする。
であって、装置を簡単に構成することができ、さらに放
電ランプの出力を安定させて、光学部品や電気部品等の
ワーク表面を効率よく処理することができる洗浄改質装
置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、請求項１に記載の本発明は次の構成とする。つ
まり洗浄改質装置本体の内部に、放電ランプを収納し、
また同放電ランプの下側のワーク収納部を放電ランプか
ら照射される紫外線により生成されるオゾンにより、オ
ゾン雰囲気とすると共に紫外線を照射し得るように構成
してなる洗浄改質装置に関する。また放電ランプの封止
部を熱伝導体で覆い、同熱伝導体の外側面にサーモモジ
ュールを配置し、さらに同サーモモジュールの外側面に
放熱フィンを配置して構成してある。そして放電ランプ
の電極部を一定範囲の温度以内に保つように構成してあ
る。
ために、請求項１に記載の本発明は次の構成とする。つ
まり洗浄改質装置本体の内部に、放電ランプを収納し、
また同放電ランプの下側のワーク収納部を放電ランプか
ら照射される紫外線により生成されるオゾンにより、オ
ゾン雰囲気とすると共に紫外線を照射し得るように構成
してなる洗浄改質装置に関する。また放電ランプの封止
部を熱伝導体で覆い、同熱伝導体の外側面にサーモモジ
ュールを配置し、さらに同サーモモジュールの外側面に
放熱フィンを配置して構成してある。そして放電ランプ
の電極部を一定範囲の温度以内に保つように構成してあ
る。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下本発明を図１乃至図４につい
て説明する。図１及び図２において、１１は洗浄改質装
置本体であって、鋼板で構成してある。１２は洗浄改質
装置本体１１の内部に収納してなるＵ字形の放電ランプ
であって、３５０ワットの高出力の放電ランプを３本収
納して構成してある。また同放電ランプ３本は横方向に
併置して配置してある。１４は同放電ランプ１２を覆っ
てなる反射鏡である。１５は反射鏡１４の下面に配置し
てなる遮光膜であって、例えばフッ素樹脂で構成してあ
る。同遮光膜１５は処理したワークを引き出すときに、
放電ランプ１２を収納している部屋と、ワーク配置部の
間に突出して構成され、オゾンが外部に流出しないよう
に構成してある。また同遮光膜１５はワークを処理して
いるときは支持棒に巻き取られて構成してある。１６は
放電ランプ１２の下面に構成してなるワーク配置部であ
って、ワークをトレー１７に収納し、出し入れ自在に構
成してある。
て説明する。図１及び図２において、１１は洗浄改質装
置本体であって、鋼板で構成してある。１２は洗浄改質
装置本体１１の内部に収納してなるＵ字形の放電ランプ
であって、３５０ワットの高出力の放電ランプを３本収
納して構成してある。また同放電ランプ３本は横方向に
併置して配置してある。１４は同放電ランプ１２を覆っ
てなる反射鏡である。１５は反射鏡１４の下面に配置し
てなる遮光膜であって、例えばフッ素樹脂で構成してあ
る。同遮光膜１５は処理したワークを引き出すときに、
放電ランプ１２を収納している部屋と、ワーク配置部の
間に突出して構成され、オゾンが外部に流出しないよう
に構成してある。また同遮光膜１５はワークを処理して
いるときは支持棒に巻き取られて構成してある。１６は
放電ランプ１２の下面に構成してなるワーク配置部であ
って、ワークをトレー１７に収納し、出し入れ自在に構
成してある。
【０００８】図３と図４において、２０は放電ランプ１
２の封止部を覆ってなる熱伝導性の良好な覆体であっ
て、例えばアルミニュウムで角型に構成してある。２１
は覆体２０の外側面に接触して配置してなるサーモモジ
ュールであって、冷却面を覆体２０に接触して構成して
ある。また同サーモモジュール２１の外表面は高温に構
成してある。また同サーモモジュール２１は、覆体２０
の二面に対応して二個配置して構成してある。２２はサ
ーモモジュールの外側面に内面を接触して配置してなる
放熱フィンであって、熱伝導性の優れたアルミニュウム
で構成してある。また放熱フィン２２は同サーモモジュ
ール２１より大きく構成してある。また同サーモモジュ
ール２１は放電ランプ１２の封止部の温度が３６度±１
度以内になるように設定してある。
２の封止部を覆ってなる熱伝導性の良好な覆体であっ
て、例えばアルミニュウムで角型に構成してある。２１
は覆体２０の外側面に接触して配置してなるサーモモジ
ュールであって、冷却面を覆体２０に接触して構成して
ある。また同サーモモジュール２１の外表面は高温に構
成してある。また同サーモモジュール２１は、覆体２０
の二面に対応して二個配置して構成してある。２２はサ
ーモモジュールの外側面に内面を接触して配置してなる
放熱フィンであって、熱伝導性の優れたアルミニュウム
で構成してある。また放熱フィン２２は同サーモモジュ
ール２１より大きく構成してある。また同サーモモジュ
ール２１は放電ランプ１２の封止部の温度が３６度±１
度以内になるように設定してある。
【０００９】図２において、３１は放電ランプ１２を収
納している部屋の側部に配置してなるオゾン排気筒であ
って、オゾン濃度が一定以上になったときに、オゾンの
一部を排出するように構成してある。３２はワークを配
置する部屋の上方側面方向に構成してなるオゾン排気筒
であって、ワークの洗浄改質処理が終了したときに、オ
ゾンをオゾン分解室（図示せず）に送るように構成して
ある。
納している部屋の側部に配置してなるオゾン排気筒であ
って、オゾン濃度が一定以上になったときに、オゾンの
一部を排出するように構成してある。３２はワークを配
置する部屋の上方側面方向に構成してなるオゾン排気筒
であって、ワークの洗浄改質処理が終了したときに、オ
ゾンをオゾン分解室（図示せず）に送るように構成して
ある。
【００１０】次に上記した洗浄改質装置による光学部品
や電気部品等のワークの洗浄改質について説明する。 放電ランプ１２のスイッチを投入し、放電ランプ１２
を収納している部屋と、ワーク配置部を一定のオゾン濃
度とする。この時間は４秒乃至５秒程度である。このと
き放電ランプ１２を点灯すると、放電ランプ１２からの
紫外線が酸素と結合して、オゾンが発生し、さらにオゾ
ンから分離した活性酸素が発生する。 この活性酸素の働きで、光学部品や電気部品の表面に
付着している有機汚染物質を洗浄すると共に改質するこ
とが行われる。この処理時間はワークの大きさ、厚さあ
るいは洗浄程度によって異なるが、例えば光学レンズの
処理は５分乃至１０分である。 また放電ランプの封止部を熱伝導体の良好な覆体で覆
い、同覆体の外側面にサーモモジュールを配置し、さら
に同サーモモジュールの外側面に放熱フィンを配置して
構成してあるので、ランプの封止部の放熱効果は大き
く、さらにランプの封止部の温度が上昇すると、サーモ
モジュールを作動させてランプの封止部の温度を３６度
±１度の範囲に調整するので、放電ランプの出力は一定
し、たえず安定した濃度のオゾンでワークを処理するこ
とができる。 ワークの処理が終了すると、遮光膜１５を放電ランプ
１２を収納している部屋と、ワーク配置部の間に突出さ
せ、オゾンが外部へ流出しないように構成して、処理し
たワークを引き出し、ワークの洗浄と改質を行うことが
できる。 さらに、次のワークを処理するときは、上記と同様の
作業を繰り返す。
や電気部品等のワークの洗浄改質について説明する。 放電ランプ１２のスイッチを投入し、放電ランプ１２
を収納している部屋と、ワーク配置部を一定のオゾン濃
度とする。この時間は４秒乃至５秒程度である。このと
き放電ランプ１２を点灯すると、放電ランプ１２からの
紫外線が酸素と結合して、オゾンが発生し、さらにオゾ
ンから分離した活性酸素が発生する。 この活性酸素の働きで、光学部品や電気部品の表面に
付着している有機汚染物質を洗浄すると共に改質するこ
とが行われる。この処理時間はワークの大きさ、厚さあ
るいは洗浄程度によって異なるが、例えば光学レンズの
処理は５分乃至１０分である。 また放電ランプの封止部を熱伝導体の良好な覆体で覆
い、同覆体の外側面にサーモモジュールを配置し、さら
に同サーモモジュールの外側面に放熱フィンを配置して
構成してあるので、ランプの封止部の放熱効果は大き
く、さらにランプの封止部の温度が上昇すると、サーモ
モジュールを作動させてランプの封止部の温度を３６度
±１度の範囲に調整するので、放電ランプの出力は一定
し、たえず安定した濃度のオゾンでワークを処理するこ
とができる。 ワークの処理が終了すると、遮光膜１５を放電ランプ
１２を収納している部屋と、ワーク配置部の間に突出さ
せ、オゾンが外部へ流出しないように構成して、処理し
たワークを引き出し、ワークの洗浄と改質を行うことが
できる。 さらに、次のワークを処理するときは、上記と同様の
作業を繰り返す。
【００１１】
【発明の効果】本発明は上記したように、水冷装置を用
いることなく装置を簡単に構成することができ、さらに
放電ランプの封止部の温度を一定にしてランプ出力を安
定させて、光学部品や電気部品等のワーク表面の処理を
効率よく且つ安定した処理を行うことができ、さらにラ
ンプ寿命を維持することができる特別な効果を有する。
いることなく装置を簡単に構成することができ、さらに
放電ランプの封止部の温度を一定にしてランプ出力を安
定させて、光学部品や電気部品等のワーク表面の処理を
効率よく且つ安定した処理を行うことができ、さらにラ
ンプ寿命を維持することができる特別な効果を有する。
【図１】本発明に係る洗浄改質装置の正面図
【図２】図１の洗浄改質装置の側面図
【図３】図１に示す洗浄改質装置の放電ランプの冷却構
造の拡大平面図
造の拡大平面図
【図４】図３に示す洗浄改質装置の放電ランプの冷却構
造の平面図
造の平面図
【図５】従来の洗浄改質装置の正面図
１１ 洗浄改質装置本体 １２ 放電ランプ １４ 反射鏡 １５ 遮光膜 １６ ワーク配置部 １７ トレー ２０ 覆体 ２１ サーモモジュール ２２ 放熱フィン ３１ オゾン排気筒 ３２ オゾン排気筒
Claims (1)
- 【請求項１】洗浄改質装置本体の内部に、放電ランプを
収納し、また同放電ランプの下側のワーク収納部を放電
ランプから照射される紫外線により生成されるオゾンに
より、オゾン雰囲気とすると共に紫外線を照射し得るよ
うに構成してなる洗浄改質装置において、放電ランプの
封止部を熱伝導性の良好な覆体で覆い、また同覆体の外
側面にサーモモジュールを配置し、さらに同サーモモジ
ュールの外側面に放熱フィンを配置し、放電ランプの電
極部を一定範囲の温度に保つように構成したことを特徴
とする洗浄改質装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14568398A JPH11333289A (ja) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | 洗浄改質装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14568398A JPH11333289A (ja) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | 洗浄改質装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11333289A true JPH11333289A (ja) | 1999-12-07 |
Family
ID=15390682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14568398A Pending JPH11333289A (ja) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | 洗浄改質装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11333289A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008071680A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Iwasaki Electric Co Ltd | 紫外線照射装置 |
-
1998
- 1998-05-27 JP JP14568398A patent/JPH11333289A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008071680A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Iwasaki Electric Co Ltd | 紫外線照射装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5971565A (en) | Lamp system with conditioned water coolant and diffuse reflector of polytetrafluorethylene(PTFE) | |
| JP5591305B2 (ja) | 紫外線発光モジュール及び紫外線照射装置 | |
| US3949258A (en) | Method and means for suppressing ozone generated by arc lamps | |
| EP3961674A1 (en) | Device for emitting ultraviolet light | |
| JP3522333B2 (ja) | 紫外線照射装置 | |
| JP2011107264A (ja) | 紫外線照射装置 | |
| JPH11333289A (ja) | 洗浄改質装置 | |
| JP2009004234A (ja) | エキシマ光照射装置 | |
| JP4126892B2 (ja) | 光照射装置 | |
| JP4917993B2 (ja) | 紫外線照射装置 | |
| JPH1110101A (ja) | 光洗浄装置 | |
| JPS6111401B2 (ja) | ||
| JP2000279903A (ja) | 洗浄改質装置 | |
| JP2002191965A (ja) | 紫外線照射装置 | |
| KR20090094746A (ko) | 자외선 조사용 광원 | |
| KR101401704B1 (ko) | 자외선 조사 장치 | |
| CN220526865U (zh) | 紫外线照射装置 | |
| JP2023110196A (ja) | 光照射装置 | |
| JP7459673B2 (ja) | 紫外線照射装置 | |
| JP2005050705A (ja) | 除電装置 | |
| JP2002263596A (ja) | 紫外光照射装置 | |
| JP2785696B2 (ja) | 高出力型低圧水銀ランプ | |
| JPS6041969Y2 (ja) | 紫外線洗浄装置 | |
| JPH09302326A (ja) | 耐紫外線材料、紫外線照射装置および紫外線処理装置 | |
| JPH11277053A (ja) | 紫外線照射装置 |