JPH11333289A - 洗浄改質装置 - Google Patents

洗浄改質装置

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Publication number
JPH11333289A
JPH11333289A JP14568398A JP14568398A JPH11333289A JP H11333289 A JPH11333289 A JP H11333289A JP 14568398 A JP14568398 A JP 14568398A JP 14568398 A JP14568398 A JP 14568398A JP H11333289 A JPH11333289 A JP H11333289A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
discharge lamp
cleaning
work
reforming apparatus
ozone
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14568398A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshinao Totani
義尚 戸谷
Akiji Ogawa
明示 小川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Iwasaki Denki KK
Original Assignee
Iwasaki Denki KK
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Publication date
Application filed by Iwasaki Denki KK filed Critical Iwasaki Denki KK
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置を簡単に構成することができ、さらに放
電ランプの出力を安定させて、光学部品や電気部品等の
ワークの表面の処理を効率よく行うことができる洗浄改
質装置を提供することを課題とする。 【解決手段】 洗浄改質装置本体11の内部に、直管形
の放電ランプ12を収納し、また同放電ランプの下端に
ワーク収納部を構成し、同ワーク収納部をオゾン雰囲気
とすると共に紫外線を照射するように構成し、また放電
ランプの封止部を熱伝導性の覆体20で覆い、また同熱
伝導性の覆体の外側面にサーモモジュール21を配置
し、さらにサーモモジュールの外側面に放熱フィン22
を配置し、放電ランプの電極部を一定範囲の温度以内に
保つように構成してある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は洗浄改質装置の改良
に関する。
【0002】
【従来の技術】通常レンズ等の光学部品あるいはキーボ
ード等の電気部品の表面には有機汚染物質が付着してい
る。光学部品や電気部品の表面に有機汚染物質が付着し
ていると、例えばコーティング膜との密着性が悪くな
る。
【0003】そこで従来、紫外線の作用で発生するオゾ
ンから分離した活性酸素の働きで、光学部品や電気部品
の表面に付着している有機汚染物質を洗浄すると共に改
質することが行われている。従来の洗浄改質装置として
は、例えば図5に示すように、洗浄改質装置本体1の内
部に、U字形の放電ランプ2を収納し、また同放電ラン
プ2の下側にワーク収納部3を構成し、同ワーク収納部
3に出し入れ自在に構成してなる光学部品や電気部品等
のワーク表面の有機汚染物質を活性酸素の働きで洗浄改
質している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した洗
浄改質装置では、例えば350ワットの高容量の放電ラ
ンプを3本程度組み合わせて使用するので高熱となる。
そこで同洗浄改質装置では、水冷構造として放電ランプ
の電極部を冷却する必要があり構造が複雑となる欠点が
ある。また水冷構造とすると、放電ランプの電極部の温
度を一定に保つことが難しく、放電ランプの出力に差異
が生じることがあり、光学部品や電気部品等のワーク表
面の有機汚染物質の処理効果が一定しない欠点がある。
【0005】本発明は上記した諸点に鑑み発明したもの
であって、装置を簡単に構成することができ、さらに放
電ランプの出力を安定させて、光学部品や電気部品等の
ワーク表面を効率よく処理することができる洗浄改質装
置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、請求項1に記載の本発明は次の構成とする。つ
まり洗浄改質装置本体の内部に、放電ランプを収納し、
また同放電ランプの下側のワーク収納部を放電ランプか
ら照射される紫外線により生成されるオゾンにより、オ
ゾン雰囲気とすると共に紫外線を照射し得るように構成
してなる洗浄改質装置に関する。また放電ランプの封止
部を熱伝導体で覆い、同熱伝導体の外側面にサーモモジ
ュールを配置し、さらに同サーモモジュールの外側面に
放熱フィンを配置して構成してある。そして放電ランプ
の電極部を一定範囲の温度以内に保つように構成してあ
る。
【0007】
【発明の実施の形態】以下本発明を図1乃至図4につい
て説明する。図1及び図2において、11は洗浄改質装
置本体であって、鋼板で構成してある。12は洗浄改質
装置本体11の内部に収納してなるU字形の放電ランプ
であって、350ワットの高出力の放電ランプを3本収
納して構成してある。また同放電ランプ3本は横方向に
併置して配置してある。14は同放電ランプ12を覆っ
てなる反射鏡である。15は反射鏡14の下面に配置し
てなる遮光膜であって、例えばフッ素樹脂で構成してあ
る。同遮光膜15は処理したワークを引き出すときに、
放電ランプ12を収納している部屋と、ワーク配置部の
間に突出して構成され、オゾンが外部に流出しないよう
に構成してある。また同遮光膜15はワークを処理して
いるときは支持棒に巻き取られて構成してある。16は
放電ランプ12の下面に構成してなるワーク配置部であ
って、ワークをトレー17に収納し、出し入れ自在に構
成してある。
【0008】図3と図4において、20は放電ランプ1
2の封止部を覆ってなる熱伝導性の良好な覆体であっ
て、例えばアルミニュウムで角型に構成してある。21
は覆体20の外側面に接触して配置してなるサーモモジ
ュールであって、冷却面を覆体20に接触して構成して
ある。また同サーモモジュール21の外表面は高温に構
成してある。また同サーモモジュール21は、覆体20
の二面に対応して二個配置して構成してある。22はサ
ーモモジュールの外側面に内面を接触して配置してなる
放熱フィンであって、熱伝導性の優れたアルミニュウム
で構成してある。また放熱フィン22は同サーモモジュ
ール21より大きく構成してある。また同サーモモジュ
ール21は放電ランプ12の封止部の温度が36度±1
度以内になるように設定してある。
【0009】図2において、31は放電ランプ12を収
納している部屋の側部に配置してなるオゾン排気筒であ
って、オゾン濃度が一定以上になったときに、オゾンの
一部を排出するように構成してある。32はワークを配
置する部屋の上方側面方向に構成してなるオゾン排気筒
であって、ワークの洗浄改質処理が終了したときに、オ
ゾンをオゾン分解室(図示せず)に送るように構成して
ある。
【0010】次に上記した洗浄改質装置による光学部品
や電気部品等のワークの洗浄改質について説明する。 放電ランプ12のスイッチを投入し、放電ランプ12
を収納している部屋と、ワーク配置部を一定のオゾン濃
度とする。この時間は4秒乃至5秒程度である。このと
き放電ランプ12を点灯すると、放電ランプ12からの
紫外線が酸素と結合して、オゾンが発生し、さらにオゾ
ンから分離した活性酸素が発生する。 この活性酸素の働きで、光学部品や電気部品の表面に
付着している有機汚染物質を洗浄すると共に改質するこ
とが行われる。この処理時間はワークの大きさ、厚さあ
るいは洗浄程度によって異なるが、例えば光学レンズの
処理は5分乃至10分である。 また放電ランプの封止部を熱伝導体の良好な覆体で覆
い、同覆体の外側面にサーモモジュールを配置し、さら
に同サーモモジュールの外側面に放熱フィンを配置して
構成してあるので、ランプの封止部の放熱効果は大き
く、さらにランプの封止部の温度が上昇すると、サーモ
モジュールを作動させてランプの封止部の温度を36度
±1度の範囲に調整するので、放電ランプの出力は一定
し、たえず安定した濃度のオゾンでワークを処理するこ
とができる。 ワークの処理が終了すると、遮光膜15を放電ランプ
12を収納している部屋と、ワーク配置部の間に突出さ
せ、オゾンが外部へ流出しないように構成して、処理し
たワークを引き出し、ワークの洗浄と改質を行うことが
できる。 さらに、次のワークを処理するときは、上記と同様の
作業を繰り返す。
【0011】
【発明の効果】本発明は上記したように、水冷装置を用
いることなく装置を簡単に構成することができ、さらに
放電ランプの封止部の温度を一定にしてランプ出力を安
定させて、光学部品や電気部品等のワーク表面の処理を
効率よく且つ安定した処理を行うことができ、さらにラ
ンプ寿命を維持することができる特別な効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る洗浄改質装置の正面図
【図2】図1の洗浄改質装置の側面図
【図3】図1に示す洗浄改質装置の放電ランプの冷却構
造の拡大平面図
【図4】図3に示す洗浄改質装置の放電ランプの冷却構
造の平面図
【図5】従来の洗浄改質装置の正面図
【符号の説明】
11 洗浄改質装置本体 12 放電ランプ 14 反射鏡 15 遮光膜 16 ワーク配置部 17 トレー 20 覆体 21 サーモモジュール 22 放熱フィン 31 オゾン排気筒 32 オゾン排気筒

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】洗浄改質装置本体の内部に、放電ランプを
    収納し、また同放電ランプの下側のワーク収納部を放電
    ランプから照射される紫外線により生成されるオゾンに
    より、オゾン雰囲気とすると共に紫外線を照射し得るよ
    うに構成してなる洗浄改質装置において、放電ランプの
    封止部を熱伝導性の良好な覆体で覆い、また同覆体の外
    側面にサーモモジュールを配置し、さらに同サーモモジ
    ュールの外側面に放熱フィンを配置し、放電ランプの電
    極部を一定範囲の温度に保つように構成したことを特徴
    とする洗浄改質装置。
JP14568398A 1998-05-27 1998-05-27 洗浄改質装置 Pending JPH11333289A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14568398A JPH11333289A (ja) 1998-05-27 1998-05-27 洗浄改質装置

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JP14568398A JPH11333289A (ja) 1998-05-27 1998-05-27 洗浄改質装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11333289A true JPH11333289A (ja) 1999-12-07

Family

ID=15390682

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14568398A Pending JPH11333289A (ja) 1998-05-27 1998-05-27 洗浄改質装置

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JP (1) JPH11333289A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008071680A (ja) * 2006-09-15 2008-03-27 Iwasaki Electric Co Ltd 紫外線照射装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008071680A (ja) * 2006-09-15 2008-03-27 Iwasaki Electric Co Ltd 紫外線照射装置

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