JP5591305B2 - 紫外線発光モジュール及び紫外線照射装置 - Google Patents

紫外線発光モジュール及び紫外線照射装置 Download PDF

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Description

本発明は、新規な紫外線発光モジュール及び該紫外線発光モジュールを用いた新規な紫外線照射装置に関する。
バックライト照明、紫外線硬化樹脂の光硬化、殺菌、洗浄、半導体の製造過程等において使用されている紫外線照射装置の光源としては、従来、主として、高圧水銀、メタルハライドまたはキセノン等の放電ランプが用いられてきた。これら放電ランプからなる光源から放射される光には、紫外線領域のみならず、深紫外から遠赤外までの広範囲の波長領域の光が含まれるため、照射領域の温度上昇抑制あるいは必要な紫外線を有効利用するために、コールドフィルタなどを使用する必要があった。
これに対し、紫外線発光ダイオード（以下、紫外線ＬＥＤという。）は、特定波長の紫外線を選択的に放射できるという特徴を有するため、コールドフィルタの使用を省略することができる。しかしながら、紫外線ＬＥＤの放射強度（ＵＶ強度）は小さいため、樹脂硬化やバックライトやその他の用途に使用するための光源として紫外線ＬＥＤを採用する場合には、多数の紫外線ＬＥＤを使用しなければならなかった。多数の紫外線ＬＥＤを使用してＵＶ強度を高め、しかも光源をできるだけコンパクトにした紫外線発光装置としては、次のようなものが知られている。すなわち、１つの平面を形成するようにかつ装置主光軸から同心円上で互いに等間隔となるように並べられた紫外線を出射する複数の発光ダイオードと、各発光ダイオードに対応させて光の出射側に配置した発光ダイオードの数と同一の数のコリメート光学系と、複数の発光ダイオードおよび複数のコリメート光学系を保持する１つの光源筐体と、を有し、これらコリメート光学系の直後にそれらをカバーする１つのフィールドレンズを配置した紫外線発光装置が知られている（特許文献１参照）。
特開２００５−２０３４８１号公報
前記特許文献１に開示される紫外線発光装置によれば、小型軽量化と同時に、狭い領域に高強度の紫外線を照射することが可能となる。しかしながら、該紫外線発光装置では、紫外線ＬＥＤは、１つの平面を形成するようにかつ装置主光軸から同心円上で互いに等間隔となるように並べられるため、紫外線強度をより高めようとすると、多くの紫外線ＬＥＤを同一平面上に配置しなければならず、光源の平面的な大型化が避けられず、それに伴い、紫外線を集光するために必要なフィールドレンズの口径も大きくしなければならないという課題があった。
本発明は、光源内の空間をより有効に利用できるように紫外線ＬＥＤを配置してモジュール化すると共に、紫外線照射装置において、該モジュール化された光源と、該光源から放射される紫外線を有効に集光する集光装置と組み合わせることにより上記課題を解決したものである。
即ち、第一の本発明は、円筒状若しくは多角柱状の基体の側面上に複数の紫外線発光素子を、各紫外線発光素子の光軸が前記円筒状若しくは多角柱状の基体の中心軸を通るように配置して、紫外線が前記中心軸に対して放射状に出射されるようにした紫外線発光素子配置基体と、紫外線透過性材料から形成されるカバーと、を有し、当該カバーは、前記紫外線発光素子配置基体を覆うと共に内部に不活性ガス又は乾燥空気を封入するようにして前記紫外線発光素子配置基体に気密に装着されており、前記円筒状若しくは多角柱状の基体の内部に冷却用媒体用流路を形成して当該冷却用媒体用流路に冷却用媒体を流通させるようにしたことを特徴とする紫外線発光モジュールである。
また、第二の本発明は、紫外線を出射する光源と、該光源から出射された紫外線を集光する集光装置を有する紫外線照射装置であって、前記光源が、球状若しくは多面体状の基体の表面上に、複数の紫外線発光素子を、各紫外線発光素子の光軸が前記球状若しくは多面体状の基体の中心を通るように配置して紫外線が該中心に対して放射状に出射されるようにした球状光源、又は円筒状若しくは多角柱状の基体の側面上に、複数の紫外線発光素子を、各紫外線発光素子の光軸が前記円筒状若しくは多角柱状の基体の中心軸を通るように配置して紫外線が該中心軸に対して放射状に出射されるようにした棒状光源からなることを特徴とする紫外線照射装置である。
本発明の紫外線照射装置においては、前記光源における前記球状若しくは多面体状の基体又は円筒状若しくは多角体柱状の基体の内部に冷却媒体用流路を形成することが好ましい。
また、本発明の紫外線発光装置としては、前記集光装置が、回転楕円反射ミラー又は長楕円反射ミラーからなる出射側反射ミラーを有し、該出射側反射ミラーが回転楕円反射ミラーである場合にはその焦点上に前記球状光源を配置し、該出射側反射ミラーが長楕円反射ミラーである場合にはその焦点軸上に前記棒状光源を配置し、該出射側反射ミラーの集光点の近傍又は集光軸の近傍に紫外線出射用開口部を設けた態様であることが好ましい。
上記態様の本発明の紫外線発光装置の中でも集光効率を高くすることが出来るという理由から、前記集光装置が、前記出射側反射ミラーと同形状の回転楕円反射ミラー又は長楕円反射ミラーからなり、当該回転楕円反射ミラー又は長楕円反射ミラーの焦点又は焦点軸の近傍に紫外線出射用開口部を設けてなる集光側反射ミラーを更に有し、前記出射側反射ミラーと該集光側反射ミラーとを、前記出射側反射ミラーの集光点又は集光軸が該集光側反射ミラーの焦点又は焦点軸と一致するように対向させて接続させた構造を有することが特に好ましい。
また、前記紫外線出射用開口部には、“集光された紫外線を平行若しくは略平行な光束に変換するコリメート光学系”又は“前記集光装置で集光された紫外線を取り込む光入射部と取り込んだ紫外線を伝送する伝送部と伝送された紫外線を出射する光出射部とを有する光伝送系の光入射部”を配置することが好ましい。
従来の紫外線発光モジュールでは紫外線発光素子の光軸が全て同じ方向を向くように全ての紫外線発光素子を同一平面状に配置する必要があった。このため、モジュール内に配置する紫外線発光素子の数を増やした場合には大面積を要した。これに対し、本発明の紫外線発光モジュールは、発光強度を高めるためにその内部に多数の紫外線発光素子を配置するが、紫外線が放射状に出射されるように球状或いは円筒状の基体の曲面上に配置される。そのため、モジュール内の空間を有効に利用することができ、モジュールのコンパクト化を図ることができる。また、本発明のモジュールでは、基体を金属などの熱伝導率の高い材料で構成し、更にその内部に冷却媒体用流路を形成し、該流路内に冷却水などの冷却媒体を流通させることにより、紫外線発光素子より放出される熱を効率的に冷却することができる。更にまた、本発明のモジュールでは、石英などの紫外線透過性材料から形成されるカバーを、シール部材を用いて気密又は水密に基体に装着し、その内部に窒素などの不活性ガスを封入することにより、紫外線発光素子の劣化を防止することができ、寿命を更に長くすることができる。
本発明の紫外線発光装置では、原理的には、球状又は棒状光源から放射状に出射される紫外線の全てを集光側反射ミラーの焦点軸上に集光でき、紫外線出射用開口部方向に向かわない方向（たとえば反対方向や横方法）に出射された紫外線をも有効利用することができる。したがって、光源では、単位空間当たりに配置する紫外線発光素子の数を大幅に増やすことができ、紫外線発光装置では、より強い強度の紫外線を出射することができる。また、大口径のフィールドレンズを使用する必要もない。更に本発明の紫外線発光装置では、照射領域は狭いスポット状ではなく長辺が長い長方形領域に均一な強度の紫外線を照射することもでき、照射領域の面積や紫外線強度を調整することもできる。さらにまた、紫外線を平行なコリメートされた光束として出射することができるので、被照射体との距離が長くてもその強度が低下し難い。
本図は、本発明で使用する代表的な棒状光源（棒状紫外線発光モジュール）１１０の横断面及び縦断面を示す図である。 本図は、代表的な本発明の紫外線発光装置１００の横断面図である。 本図は、代表的な本発明の紫外線発光装置１００の側面図である。
前記第二の本発明の紫外線照射装置は、紫外線を出射する光源と、該光源から出射された紫外線を集光する集光装置を有する紫外線照射装置であって、前記光源が、球状若しくは多面体状の基体の表面上に、複数の紫外線発光素子を、各紫外線発光素子の光軸が前記球状若しくは多面体状の基体の中心を通るように配置して紫外線が該中心に対して放射状に出射されるようにした球状光源、又は円筒状若しくは多角柱状の基体の側面上に、複数の紫外線発光素子を、各紫外線発光素子の光軸が前記円筒状若しくは多角柱状の基体の中心軸を通るように配置して紫外線が該中心軸に対して放射状に出射されるようにした棒状光源からなることを特徴とする。
ここで、前記第一の本発明の紫外線発光モジュールは、上記第二の本発明における棒状光源でもある。したがって、該モジュールについては、本発明の紫外線照射装置における光源として説明する。
以下、棒状光源（棒状紫外線発光モジュール）１１０を後いた紫外線照射装置１００を例に、本発明の紫外線照射装置について図面を参照して説明する。
図１には、棒状光源（棒状紫外線発光モジュール）１１０の（Ｘ−Ｘ´面で切断したときの）横断面図および縦断面図を示した。これら図に示されるように、棒状光源１１０は円筒状基体１１１の表面上に複数の紫外線発光素子１１２が整列配置されており、該円筒状基体の内部には冷却媒体用流路１１３が形成されている。また、紫外線発光素子１１２が搭載された円筒状基体１１１は、石英などの紫外線透過性材料から形成されるカバー１１６で覆われている。該カバー１１６は封止剤やパッキン、ｏ−リング等のシール部材１１７を用いて気密又は水密に円筒状基体に装着され、その内部には窒素などの不活性ガス、乾燥空気などのガスが封入されている。また、カバー内部には、カバー内部の水分量（湿度）を低く保つために乾燥剤（図示せず）を入れておいてもよい。こうすることにより紫外線発光素子の耐久性を高くすることができる。図には、石英管をカバーとして用いその内部に紫外線発光素子が搭載された円筒状基体を挿入した態様を示した。
紫外線発光素子１１２としては、紫外線ＬＥＤを使用することが好適である。なかでも発光効率を高くすることが困難であり、本発明の紫外線発行装置に適用することによる紫外線高強度化のメリットか大きいと言う理由から、深紫外線を発光するＬＥＤ（深紫外線発光ＬＥＤ）を使用することが特に好ましい。紫外線ＬＥＤは、素子がサブマウントに搭載された状態またはパッケージに収容された状態で配置され、更に一定方向に向かって紫外線が出射されるようにされていることが好ましい。なお、図示しないが、サブマウント又はパッケージには、外部から前記紫外線発光素子に電力を供給するための配線や紫外線発光素子を正常に作動させるための回路等が形成されており、該配線や回路への電力の供給は円筒状基体１１１の表面上又は内部に形成された配線を介して行なわれるようになっている。
円筒状基体１１１は、紫外線発光素子１１２を固定・保持するための支持体として機能するほか、ヒートシンクとしての機能も有し、内部の冷却媒体用流路１１３に冷却水や冷却用エアーなどの冷却媒体１１８を流通することにより紫外線発光素子からの放熱による温度上昇を防止して、素子の安定作動を可能にしたり、素子寿命を長くしたりすることが可能となる。
本発明では、後述するように円筒状基体１１１の表面上に多数の紫外線発光素子が密に搭載されるため、紫外線発光素子で発生した熱を効率よく除去することが特に重要である。そのため、円筒状基体１１１は、主として銅、アルミニウムなどの熱導電性の高い金属やセラミックスなどで構成されていることが好ましく、また、冷却媒体の接触面積を増大させるために冷却媒体用流路の内壁面には溝加工を施すことが好ましい。さらに、円筒状基体１１１を金属材料で構成する場合には、外部電源から紫外線発光素子に電力を供給するための銅線または回路との絶縁を図るための絶縁層が形成されていることが好ましい。
円筒状基体１１１の側面には、該基体の周方向に沿って、複数の紫外線発光素子１１２が、各紫外線発光素子１１２の光軸１１５が該基体１１１の中心軸１１４を通るように配置されている。その結果、紫外線発光素子から出射される紫外線は、該中心軸１１４に対して放射状に出射されることになる。なお、紫外線発光素子１１２の光軸１１５とは、紫外線発光素子から出射される光芒の中心軸を意味し、該光芒の進行方向とほぼ同義である。また、ここで、“光軸１１５が該基体１１１の中心軸１１４を通るように配置する”とは、なるべくこのような状態を実現するように配置するという意味であり、その状態から僅かに傾いていても問題はない。
図１には、基体の周方向に４個の紫外線発光素子を配置した例を示したが、これに限定されるものではなく、円筒状基体１１１の外径に応じて適宜変更できる。周方向に配置する紫外線発光素子の数は、通常３〜２０個、好ましくは４〜１２個の範囲であるが、周方向に配置する紫外線発光素子の数が多いほど本発明の紫外線照射装置から出射される紫外線の強度（光量子束密度）は高くなるので、より高強度の紫外光が必要な場合には、円筒状基体１１１の径を大きくし、上記範囲を超えて周方向に配置する紫外線発光素子の数を多くすればよい。
紫外線発光素子１１２は、図１の縦断面図に示すように円筒状基体１１１の長さ方向に列を形成するように配置することが好ましい。該長さ方向の配列長が長いほど紫外線照射領域の長さを長くすることができる。このとき、紫外線発光素子の配列の仕方は、紫外線照射領域における強度が均一になるように密に規則正しく配列することが好ましい。
図２及び図３には、前記棒状光源１１０を用いた本発明の紫外線発光装置１００の横断面図及び側面図を示した。該紫外線発光装置１００は、内面が長楕円反射ミラーからなる出射側反射ミラー１２０となっている出射側筐体１２５と、内面が長楕円反射ミラーらなる集光側反射ミラー１２３となっていると共に紫外線出射用開口部１３０が形成されている集光側筐体１２６と、紫外線出射用開口部１３０に配置されたコリメート光学系１４０からなる本体１５０を有し、該本体１５０の内部に前記棒状光源１１０が配置されている。本体１５０において出射側筐体１２５と集光側筐体筐体１２６とは互いに着脱可能に又はヒンジ等を用いて開閉可能とされていることが好ましい。また、本体１５０の図３における上下両端開口部には、紫外線が外部に漏れ出るのを防止するためのカバー（図示せず）が設けられている。
図に示す態様では、出射側反射ミラー１２０と集光側反射ミラー１２３とは実質的に同形状の長楕円反射ミラーであるので、本体１５０において、出射側筐体１２５と集光側筐体１２６とが結合されて形成される内部空間の形状は、出射側反射ミラーの焦点軸１２１及び出射側反射ミラーの集光軸１２２の２軸をそれぞれ焦点軸とする楕円形の断面（ただし、開口部１３０に相当する部分が欠損している。）を有する柱状体となる。出射側反射ミラー１２０および集光側反射ミラー１２３の表面は、紫外線に対す反射率が大きい材質、たとえばＲｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔ等の白金族金属、Ａｌ、Ａｇ、Ｔｉ、これらの金属の少なくも一種を含む合金、又は酸化マグネシウムで構成されることが好ましく、反射率が特に高いという理由から、Ａｌ、白金族金属又は白金族金属を含む合金、又は酸化マグネシウムで形成されていることが特に好ましい。
集光側反射ミラー１２３及び集光側筐体１２６には、スリット状に紫外線出射用開口部１３０が設けられ、該開口部１３０には、集光された紫外線を平行若しくは略平行な光束に変換するコリメート光学系１４０が配置されている。コリメート光学系１４０は合成又は天然石英、サファイア、紫外線透過性樹脂等の紫外線透過性の高い材質で構成されることが好ましい。該コリメート光学系１４０は紫外線出射用開口部１３０に脱着可能に取り付けられていることが好ましい。図にはコリメート光学系として１つの円筒平面凸レンズを使用したものを示しているが、これに限定されず、互いに異なる所定の光量子束密度を有する平行な光束又は互いに異なる所定の照射面積を有する平行な光束に変換する複数のコリメート光学系を準備し、当該複数のコリメート光学系の内の一つを前記紫外線出射用開口部に切り替え可能に設置して、該紫外線照射装置から出射される紫外線光束の光量子束密度又は照射面積を調節できるようにすることもできる。たとえば、円筒平面凸レンズの前方（光が進行する方向側）に複数のレンズを組み合わせて配置し、ビームエキスパンダーを構成してもよい。また、集光側反射ミラー１２３及び集光側筐体１２６の一部を輪切りにして切り取ったようなアタッチメントであって、広い方の開口部が紫外線出射用開口部１３０に適合し、狭い方の開口部がコリメート光学系１４０に適合するようにしたアタッチメントを夫々幅の異なるコリメート系に応じて準備して、各アタッチメントとコリメート系とを組み合わせた複数のアセンブリーを作成し、該アセンブリーを紫外線出射用開口部１３０に交換可能に取り付けることにより、このような調節を行なうことができる。
紫外線発光装置１００において、棒状光源１１０は、その中心軸１１４が出射側反射ミラーの焦点軸１２１と一致するように配置される。このような位置に棒状光源１１０が配置されるので、該棒状光源１１０から放射状に出射される紫外線は出射側反射ミラーおよび集光側反射ミラーで反射されて集光側反射ミラーの焦点軸上に収斂するように集光され、集光された紫外線は紫外線出射用開口部１３０から外部に向けて出射される。
このように、紫外線発光装置１００では、原理的には、棒状光源１１０から放射状に出射される紫外線の全てを集光側反射ミラーの焦点軸上に集光でき、紫外線出射用開口部１３０方向に向かわない方向（たとえば反対方向や横方法）に出射された紫外線をも有効利用することができる。別言すれば、光源において、光軸が紫外線出射用開口部１３０方向に向かうように光発光素子の全てを同一平面上に配置する必要はなく、横方向や反対方向に向けて配置することも可能となる。したがって、棒状光源１１０では、単位空間当たりに配置する紫外線発光素子の数を大幅に増やすことができ、紫外線発光装置１００では、より強い強度の紫外線を出射することができる。また、紫外線発光装置１００では大口径のフィールドレンズを使用する必要もない。更に紫外線発光装置１００では、照射領域は狭いスポット状ではなく長辺が長い長方形領域に均一な強度の紫外線を照射することができ、照射領域の面積や紫外線強度を調整することもできる。さらにまた、紫外線を平行なコリメートされた光束として出射することができるので、被照射体との距離が長くてもその強度が低下し難い。
以上、図に示した紫外線発光装置１００を例に説明したが、本発明の紫外線発光装置は、これに限定されるものではない。たとえば、集光側反射ミラーとしては、紫外線を外部に漏らすことなく出射側反射ミラー側に反射できるものであれば、出射側反射ミラーとして用いた長楕円反射ミラーと異なる形状のものを使用することもできる。また、コリメート光学系に替えて“集光された紫外線を取り込む光入射部と、取り込んだ紫外線を伝送する伝送部と、伝送された紫外線を出射する光出射部と、を有する光伝送系”を使用することもできる。
さらに、棒状光源に替えて、球状若しくは多面体状の基体の表面上に、複数の紫外線発光素子を、各紫外線発光素子の光軸が前記球状若しくは多面体状の基体の中心を通るように配置して紫外線が該中心に対して放射状に出射されようにした球状光源を用い、出射側反射ミラー及び集光側反射ミラーを夫々回転楕円反射ミラーとしてもよい。但し、この場合には、本体内部の空間の形状は楕円球状となり、光源は出射側反射ミラーとなる長楕円反射ミラーの焦点位置に設置され、紫外線は集光側反射ミラーとなる長楕円反射ミラーの焦点に収斂するように集光される。したがって、紫外線出射用開口部の形状はスリット状ではなく円形状となり、コリメート系としては平凸レンズが好適に使用される。
１００・・・紫外線発光装置
１１０・・・棒状光源
１１１・・・円筒状基体
１１２・・・紫外線発光素子
１１３・・・冷却媒体用流路
１１４・・・円筒状基体の中心軸
１１５・・・紫外線発光素子の光軸
１１６・・・カバー
１１７・・・シール部材
１１８・・・冷却媒体
１２０・・・長楕円反射ミラーからなる出射側反射ミラー
１２１・・・出射側反射ミラーの焦点軸
１２２・・・出射側反射ミラーの集光軸
１２３・・・長楕円反射ミラーらなる集光側反射ミラー
１２４・・・集光側反射ミラーの焦点軸
１２５・・・出射側筐体
１２６・・・集光側筐体
１３０・・・紫外線出射用開口部
１４０・・・コリメート光学系
１５０・・・本体

Claims (8)

  1. 紫外線を出射する光源と、該光源から出射された紫外線を集光する集光装置を有する紫外線照射装置であって、前記光源が、球状若しくは多面体状の基体の表面上に、複数の紫外線発光素子を、各紫外線発光素子の光軸が前記球状若しくは多面体状の基体の中心を通るように配置して紫外線が該中心に対して放射状に出射されるようにした球状光源、又は円筒状若しくは多角柱状の基体の側面上に、複数の紫外線発光素子を、各紫外線発光素子の光軸が前記円筒状若しくは多角柱状の基体の中心軸を通るように配置して紫外線が該中心軸に対して放射状に出射されるようにした棒状光源からなることを特徴とする紫外線照射装置。
  2. 前記棒状光源が、円筒状若しくは多角柱状の基体の側面上に複数の紫外線発光素子を、各紫外線発光素子の光軸が前記円筒状若しくは多角柱状の基体の中心軸を通るように配置して、紫外線が前記中心軸に対して放射状に出射されるようにした紫外線発光素子配置基体と、紫外線透過性材料から形成されるカバーと、を有し、当該カバーは、前記紫外線発光素子配置基体を覆うと共に内部に不活性ガス又は乾燥空気を封入するようにして前記紫外線発光素子配置基体に気密に装着されており、前記円筒状若しくは多角柱状の基体の内部に冷却用媒体用流路を形成して当該冷却用媒体用流路に冷却用媒体を流通させるようにした紫外線発光モジュールからなることを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射装置。
  3. 前記集光装置が、回転楕円反射ミラー又は長楕円反射ミラーからなる出射側反射ミラーを有し、該出射側反射ミラーが回転楕円反射ミラーである場合にはその焦点上に前記球状光源を配置し、該出射側反射ミラーが長楕円反射ミラーである場合にはその焦点軸上に前記棒状光源を配置し、該出射側反射ミラーの集光点の近傍又は集光軸の近傍に紫外線出射用開口部を設けたことを特徴とする請求項１又は２に記載の紫外線照射装置。
  4. 前記集光装置が、前記出射側反射ミラーと同形状の回転楕円反射ミラー又は長楕円反射ミラーからなり、当該回転楕円反射ミラー又は長楕円反射ミラーの焦点又は焦点軸の近傍に紫外線出射用開口部を設けてなる集光側反射ミラーを更に有し、前記出射側反射ミラーと該集光側反射ミラーとを、前記出射側反射ミラーの集光点又は集光軸が該集光側反射ミラーの焦点又は焦点軸と一致するように対向させて接続させた構造を有することを特徴とする請求項３に記載の紫外線照射装置。
  5. 集光された紫外線を平行若しくは略平行な光束に変換するコリメート光学系を前記紫外線出射用開口部に配置したことを特徴とする請求項３又は４に記載の紫外線照射装置。
  6. 互いに異なる所定の光量子束密度を有する平行な光束又は互いに異なる所定の照射面積を有する平行な光束に変換する複数のコリメート光学系を有し、当該複数のコリメート光学系の内の一つを前記紫外線出射用開口部に切り替え可能に設置して、該紫外線照射装置から出射される紫外線光束の光量子束密度又は照射面積を調節できるようにしたことを特徴とする請求項５に記載の紫外線照射装置。
  7. 前記集光装置で集光された紫外線を取り込む光入射部と、取り込んだ紫外線を伝送する伝送部と、伝送された紫外線を出射する光出射部と、を有する光伝送系を更に有し、当該光伝送系の光入射部を前記紫外線出射用開口部に配置したことを特徴とする請求項３又は４に記載の紫外線照射装置。
  8. 円筒状若しくは多角柱状の基体の側面上に複数の紫外線発光素子を、各紫外線発光素子の光軸が前記円筒状若しくは多角柱状の基体の中心軸を通るように配置して、紫外線が前記中心軸に対して放射状に出射されるようにした紫外線発光素子配置基体と、紫外線透過性材料から形成されるカバーと、を有し、当該カバーは、前記紫外線発光素子配置基体を覆うと共に内部に不活性ガス又は乾燥空気を封入するようにして前記紫外線発光素子配置基体に気密に装着されており、前記円筒状若しくは多角柱状の基体の内部に冷却用媒体用流路を形成して当該冷却用媒体用流路に冷却用媒体を流通させるようにしたことを特徴とする紫外線発光モジュール。
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