JP5024140B2 - 流体吐出装置及びノズル検査方法 - Google Patents
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複数のノズル群を有し該ノズル群を構成するノズルからターゲットに流体を吐出可能な吐出手段と、
同じノズル群を構成するノズルから吐出される流体を受けるよう前記吐出手段に対して前記ノズル群の数だけ設けられた複数の流体受け手段と、
各流体受け手段に所定の電圧を印加可能な電圧印加手段と、
電気的変化を検出する電気的変化検出手段と、
前記電気的変化検出手段と前記複数の流体受け手段との間に設けられ、前記電気的変化検出手段と前記複数の流体受け手段のいずれか一つとの電気的接続を切り替え可能な切替手段と、
前記ノズルから前記流体が吐出され得るか否かを検査するノズル検査を実行するときには、検査対象のノズルから吐出される流体を受けることが可能な流体受け手段と前記電気的変化検出手段とが電気的に接続されるよう前記切替手段を制御し、該流体受け手段に前記所定の電圧が印加された状態で前記流体が前記検査対象のノズルから吐出されるよう前記吐出手段を制御し、前記電気的変化検出手段により検出された電気的変化に基づいて前記流体が吐出されたか否かを判定する制御手段と、
を備えたものである。
複数のノズル群を有し該ノズル群を構成するノズルからターゲットに流体を吐出可能な吐出手段と、同じノズル群を構成するノズルから吐出される流体を受けるよう前記吐出手段に対して前記ノズル群の数だけ設けられた複数の流体受け手段と、各流体受け手段に所定の電圧を印加可能な電圧印加手段と、電気的変化を検出する電気的変化検出手段と、前記電気的変化検出手段と前記複数の流体受け手段との間に設けられ、前記電気的変化検出手段と前記複数の流体受け手段のいずれか一つとの電気的接続を切り替え可能な切替手段と、を備えた流体吐出装置の前記ノズルから前記流体が吐出され得るか否かを検査するノズル検査方法であって、
前記ノズル検査を実行するときには、検査対象のノズルから吐出される流体を受けることが可能な流体受け手段と前記電気的変化検出手段とが電気的に接続されるよう前記切替手段を制御し、該流体受け手段に前記所定の電圧が印加された状態で前記流体が前記検査対象のノズルから吐出されるよう前記吐出手段を制御し、前記電気的変化検出手段により検出された電気的変化に基づいて前記流体が吐出されたか否かを判定するものである。
Claims (5)
- 複数のノズル群を有し該ノズル群を構成するノズルからターゲットに流体を吐出可能な吐出手段と、
同じノズル群を構成するノズルから吐出される流体を受けるよう前記吐出手段に対して前記ノズル群の数だけ設けられた複数の流体受け手段と、
各流体受け手段に所定の電圧を印加可能な電圧印加手段と、
電気的変化を検出する電気的変化検出手段と、
前記電気的変化検出手段と前記複数の流体受け手段との間に設けられ、前記電気的変化検出手段と前記複数の流体受け手段のいずれか一つとの電気的接続を切り替え可能な切替手段と、
前記ノズルから前記流体が吐出され得るか否かを検査するノズル検査を実行するときには、検査対象のノズルから吐出される流体を受けることが可能な流体受け手段と前記電気的変化検出手段とが電気的に接続されるよう前記切替手段を制御し、該流体受け手段に前記所定の電圧が印加された状態で前記流体が前記検査対象のノズルから吐出されるよう前記吐出手段を制御し、前記電気的変化検出手段により検出された電気的変化に基づいて前記流体が吐出されたか否かを判定する制御手段と、
を備えた流体吐出装置。 - 前記電圧印加手段は、前記切替手段と前記電気的変化検出手段との間の点に抵抗を介して接続され、前記切替手段によって前記電気的変化検出手段と接続された前記流体受け手段に電圧を印加する、
請求項1に記載の流体吐出装置。 - 各流体受け手段は、前記複数のノズル群と1対1に対応して設けられ、対応するノズル群に含まれるノズルのクリーニング時に該ノズル群を覆い密閉空間を形成可能なクリーニングボックスである、
請求項1又は2に記載の流体吐出装置。 - 前記クリーニングボックスは、前記吐出手段のすべてのノズル群を覆うクリーニングキャップの内部を仕切壁によって仕切ることにより形成されている、
請求項3に記載の流体吐出装置。 - 複数のノズル群を有し該ノズル群を構成するノズルからターゲットに流体を吐出可能な吐出手段と、同じノズル群を構成するノズルから吐出される流体を受けるよう前記吐出手段に対して前記ノズル群の数だけ設けられた複数の流体受け手段と、各流体受け手段に所定の電圧を印加可能な電圧印加手段と、電気的変化を検出する電気的変化検出手段と、前記電気的変化検出手段と前記複数の流体受け手段との間に設けられ、前記電気的変化検出手段と前記複数の流体受け手段のいずれか一つとの電気的接続を切り替え可能な切替手段と、を備えた流体吐出装置の前記ノズルから前記流体が吐出され得るか否かを検査するノズル検査方法であって、
前記ノズル検査を実行するときには、検査対象のノズルから吐出される流体を受けることが可能な流体受け手段と前記電気的変化検出手段とが電気的に接続されるよう前記切替手段を制御し、該流体受け手段に前記所定の電圧が印加された状態で前記流体が前記検査対象のノズルから吐出されるよう前記吐出手段を制御し、前記電気的変化検出手段により検出された電気的変化に基づいて前記流体が吐出されたか否かを判定する、
ノズル検査方法。
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