JP5013968B2 - 信号処理装置、プログラムおよび計測装置 - Google Patents
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Description
W(f)=1 : fs≦f≦fe
W(f)=EXP(−(f−fe)2/σ) : f>fs
σは、ガウス関数の収束する速さを規定するものであり、ここでは、周波数のピッチの5倍の値とした。
本発明は、複数の透明膜(多層膜)で構成される縦構造(積層構造)における特定の面を計測することにも適している。
本発明は、被測定面に対してほぼ垂直に広帯域光を入射させる構成に限定されず、図19に例示するように、被測定面に対して斜めに広帯域光を入射させる干渉系にも適用可能である。
斜入射でかつ複数の反射面を有する場合(例えば、第1実施例における構成で得られる干渉信号を「リソグラフィーへの応用例」に示す方法で処理する場合)においても本発明を適用することで高精度な計測が可能となる。
本発明の第3実施例について詳細に説明する。第3実施例の特徴は、図1を参照して説明した振幅分布の整形工程130にある。図3を参照して説明例では、位相分布の線形成の良い周波数領域を整形対象の周波数領域とし、その整形対象の周波数領域の振幅を平坦化する。
本発明の第4実施例について詳細に説明する。第3実施例では異常周波数領域の判断に位相分布を用いる。一方、第4実施例では、振幅分布に基づいて異常周波数領域を判断する。図28と図29を参照して説明したように、反射位相の変化が急激な周波数領域と反射強度の急激な低下とは相関を有するので、第4実施例では、位相分布を用いる代わりに振幅分布を用いる。
第3実施例と第4実施例では、位相分布から判断した異常周波数領域と振幅分布から判断した異常周波数領域が同じになる例を示したが、両者の間で異常周波数領域が異なる場合もある。
第3実施例、第4実施例、第5実施例では、異常周波数を干渉信号から求めた。第6実施例では、計測対象物の構造に基づいた基板表面の分光反射特性(例えば、分光反射率分布)から異常周波数領域を求める。
或いは、まず、計測対象物の構造に基づいてS偏光、P偏光の分光反射率を計算し、次に、S偏光とP偏光の分光反射率のそれぞれに基づいて反射率が極小値となる波長近傍を異常周波数領域としてもよい。
図26は、本発明の第7の実施例に係る露光装置の概略構成を示す図である。本発明の第7の実施例に係る露光装置500は、レジストが塗布された基板550の該レジストに潜像パターンを形成するように構成されている。露光装置500は、基板550を保持する基板ステージ560と、原版530を保持する原版ステージ520と、基板550に原版530のパターンを投影する投影光学系540とを備える。露光装置500は、更に、基板550の表面形状(典型的には、レジストの表面形状)を測定するように構成された前述の形状測定装置200とを備える。
100 コンピュータ
200 形状測定装置
Claims (7)
- 参照光と測定光との干渉光を検出して得られた干渉信号の信号処理装置であって、
前記干渉信号を用いて、各波長に対する前記干渉光の振幅の分布を算出する手段と、
前記振幅の分布が平坦部を有するように前記振幅の分布を変更する手段と、
変更後の振幅の分布を有する干渉光に対応する信号を算出する手段とを有することを特徴とする信号処理装置。 - 前記干渉信号をフーリエ変換することにより前記振幅の分布を算出することを特徴とする請求項1に記載の信号処理装置。
- 前記変更する手段による変更後の振幅の分布を有する干渉光に対応する信号は、前記変更後の振幅の分布及び前記干渉信号をフーリエ変換することにより算出される位相分布を用いて逆フーリエ変換して得られた信号であることを特徴とする請求項1又は2に記載の信号処理装置。
- 前記変更する手段は、前記干渉信号をフーリエ変換することにより算出される位相分布の線形性が基準値より高い周波数領域において平坦化された振幅の分布が形成されるように前記振幅の分布を変更することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の信号処理装置。
- 参照光と測定光との干渉光を検出して得られた干渉信号の信号処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記干渉信号を用いて、各波長に対する前記干渉光の振幅の分布を算出するステップと、
前記振幅の分布が平坦部を有するように前記振幅の分布を変更するステップと、
変更後の振幅の分布を有する干渉光に対応する信号を算出するステップと
をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。 - 参照光と被測定物からの測定光との干渉光を検出して、検出した干渉光に基づいて前記被測定物の構造を算出する計測装置であって、
前記参照光と前記測定光との干渉光を検出して得られた干渉信号を用いて、各波長に対する前記干渉光の振幅の分布を算出する手段と、
前記振幅の分布が平坦部を有するように前記振幅の分布を変更する手段と、
変更後の振幅の分布を有する干渉光に対応する信号を算出する手段と、
前記信号を用いて前記被測定物の構造を算出する手段と
を有することを特徴とする計測装置。 - 参照光と被測定物からの測定光との干渉光を検出して得られた干渉信号を用いて前記被測定物の構造をコンピュータに算出させるためのプログラムであって、
前記干渉信号を用いて、各波長に対する前記干渉光の振幅の分布を算出するステップと、
前記振幅の分布が平坦部を有するように前記振幅の分布を変更するステップと、
変更後の振幅の分布を有する干渉光に対応する信号を算出し、前記信号を用いて前記被測定物の構造を算出するステップと
をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
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