JP2008233063A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 参照光と測定光との干渉光を検出して得られた干渉信号の信号処理装置であって、
   前記干渉信号を用いて、各波長に対する前記干渉光の振幅の分布を算出する手段と、
   前記振幅の分布を変更する手段と、
   変更後の振幅の分布を有する干渉光に対応する信号を算出する手段とを有することを特徴とする信号処理装置。
2. 前記干渉信号をフーリエ変換することにより前記振幅の分布を算出することを特徴とする請求項１に記載の信号処理装置。
3. 前記変更する手段による変更後の振幅の分布を有する干渉光に対応する信号は、前記変更後の振幅の分布及び前記干渉信号をフーリエ変換することにより算出される位相分布を用いて逆フーリエ変換して得られた信号であることを特徴とする請求項１又は２に記載の信号処理装置。
4. 前記変更する手段は、前記振幅の分布が平坦部を有するように前記振幅の分布を変更することを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の信号処理装置。
5. 前記変更する手段は、前記干渉信号をフーリエ変換することにより算出される位相分布の線形性が基準値より高い周波数領域において平坦化された振幅の分布が形成されるように前記振幅の分布を変更することを特徴とする請求項４に記載の信号処理装置。
6. 参照光と測定光との干渉光を検出して得られた干渉信号の信号処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
   前記干渉信号を用いて、各波長に対する前記干渉光の振幅の分布を算出するステップと、
   前記振幅の分布を変更するステップと、
   変更後の振幅の分布を有する干渉光に対応する信号を算出するステップと
   をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
7. 参照光と被測定物からの測定光との干渉光を検出して、検出した干渉光に基づいて前記被測定物の構造を算出する計測装置であって、
   前記参照光と前記測定光との干渉光を検出して得られた干渉信号を用いて、各波長に対する前記干渉光の振幅の分布を算出する手段と、
   前記振幅の分布を変更する手段と、
   変更後の振幅の分布を有する干渉光に対応する信号を算出する手段と、
   前記信号を用いて前記被測定物の構造を算出する手段と
   を有することを特徴とする計測装置。
8. 参照光と被測定物からの測定光との干渉光を検出して得られた干渉信号を用いて前記被測定物の構造をコンピュータに算出させるためのプログラムであって、
   前記干渉信号を用いて、各波長に対する前記干渉光の振幅の分布を算出するステップと、
   前記振幅の分布を変更するステップと、
   変更後の振幅の分布を有する干渉光に対応する信号を算出し、前記信号を用いて前記被測定物の構造を算出するステップと
   をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
9. 前記振幅の分布を算出するステップでは、前記干渉信号をフーリエ変換することにより前記振幅の分布を算出することを特徴とする請求項８に記載のプログラム。
10. 前記信号は、前記変更後の振幅の分布及び前記干渉信号をフーリエ変換することにより算出される位相分布を用いて逆フーリエ変換して得られた信号であることを特徴とする請求項８又は９に記載のプログラム。
11. 前記振幅の分布を変更するステップでは、前記振幅の分布が平坦部を有するように前記振幅の分布を変更することを特徴とする請求項８乃至１０の何れか１項に記載のプログラム。
12. 前記振幅の分布を変更するステップでは、前記干渉信号をフーリエ変換することにより算出される位相分布の線形性が基準値より高い周波数領域において平坦化された振幅の分布が形成されるように前記振幅の分布を変更することを特徴とする請求項１１に記載のプログラム。