JP2013217670A5 - - Google Patents

Description

本発明の１つの側面は、被計測物で反射された計測光と参照面で反射された参照光との干渉光を検出して前記被計測物の面位置を計測する計測装置であって、前記干渉光を検出して干渉信号を出力する検出器と、前記検出器から出力された干渉信号から得られる、前記計測光と前記参照光との光路長差に対応する位相を有するサイン信号及びコサイン信号に基づいて前記面位置を求める処理部と、を備え、前記処理部は、前記サイン信号及びコサイン信号に含まれる周波数ノイズ成分を低減するように前記サイン信号及びコサイン信号を補正する補正処理部を含む、ことを特徴とする。

Claims (12)

1. 被計測物で反射された計測光と参照面で反射された参照光との干渉光を検出して前記被計測物の面位置を計測する計測装置であって、
   前記干渉光を検出して干渉信号を出力する検出器と、
   前記検出器から出力された干渉信号から得られる、前記計測光と前記参照光との光路長差に対応する位相を有するサイン信号及びコサイン信号に基づいて前記面位置を求める処理部と、
   を備え、
   前記処理部は、前記サイン信号及びコサイン信号に含まれる周波数ノイズ成分を低減するように前記サイン信号及びコサイン信号を補正する補正処理部を含む、
   ことを特徴とする計測装置。
2. 前記処理部は、前記被計測物の面形状の設計値、前記検出器から出力された干渉信号の強度のばらつき、及び、前記干渉信号から得られた信号の強度のばらつきの少なくともいずれかに基づいて前記補正処理部による補正を行うか否かの判定を行い、
   前記補正を行うと判定された場合に、前記補正処理部は、前記サイン信号及びコサイン信号を補正し、前記処理部は、補正されたサイン信号及びコサイン信号に基づいて前記面位置を求める、
   ことを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
3. 被計測物で反射された計測光と参照面で反射された参照光との干渉光を検出して前記被計測物の面位置を計測する計測装置であって、
   前記干渉光を検出して干渉信号を出力する検出器と、
   前記検出器から出力された干渉信号から得られる、前記計測光と前記参照光との光路長差に対応する位相を有するサイン信号及びコサイン信号に基づいて前記面位置を求める処理部と、
   を備え、
   前記処理部は、前記干渉信号に含まれる周波数ノイズ成分を低減するように前記干渉信号を補正する補正処理部を含む、
   ことを特徴とする計測装置。
4. 前記処理部は、前記被計測物の面形状の設計値、前記器から出力された検出された干渉信号の強度のばらつき、及び、前記干渉信号から得られた信号の強度のばらつきの少なくともいずれかに基づいて前記補正処理部による補正を行うか否かの判定を行い、
   前記補正を行うと判定された場合に、前記補正処理部は前記干渉信号を補正し、前記処理部は、補正された干渉信号から導き出されたサイン信号及びコサイン信号に基づいて前記面位置を求める、
   ことを特徴とする請求項３に記載の計測装置。
5. 前記補正処理部は、前記周波数ノイズ成分を低減する少なくとも１つのフィルタを含むことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか1項に記載の計測装置。
6. 前記補正処理部は、互いに周波数特性が異なる複数のフィルタを含み、前記処理部は、前記被計測物の面形状の設計値、前記検出された干渉信号の強度のばらつき、及び、前記干渉信号から得られた信号の強度のばらつきの少なくともいずれかに基づいて前記周波数ノイズ成分の低減に使用するフィルタを切り替えることを特徴とする請求項５に記載の計測装置。
7. 被計測物で反射された計測光と参照面で反射された参照光との干渉光を検出して前記被計測物の面位置を計測する計測装置であって、
   第１波長の第１光を生成する第１光源と、
   第２波長の第２光を生成する第２光源と、
   前記第１光を用いて生成された第１干渉光を検出して第１干渉信号を出力する第１検出器と、
   前記第２光を用いて生成された第２干渉光を検出して第２干渉信号を出力する第２検出器と、
   前記第１干渉信号及び前記第２干渉信号に基づいて前記面位置を求める処理部と、
   を備え、
   前記処理部は、前記第１干渉信号及び前記第２干渉信号から前記第１波長及び前記第２波長の合成波長に対応する干渉信号の位相を有するサイン信号及びコサイン信号を求め、求められたサイン信号及びコサイン信号に含まれる周波数ノイズ成分を低減するように前記サイン信号及びコサイン信号を補正し、補正されたサイン信号及びコサイン信号を用いて前記面位置を求め、
   前記合成波長は、前記第１波長及び前記第２波長よりも長い、
   ことを特徴とする計測装置。
8. 被計測物で反射された計測光と参照面で反射された参照光との干渉光を検出して前記被計測物の面位置を計測する計測方法であって、
   前記干渉光を検出して干渉信号を出力する工程と、
   前記出力された干渉信号から得られる、前記計測光と前記参照光との光路長差に対応する位相を有するサイン信号及びコサイン信号を、前記サイン信号及びコサイン信号に含まれる周波数ノイズ成分を低減するように補正する工程と、
   補正されたサイン信号及びコサイン信号に基づいて前記面位置を求める工程と、
   を含むことを特徴とする計測方法。
9. 被計測物で反射された計測光と参照面で反射された参照光との干渉光を検出して前記被計測物の面位置を計測する計測方法であって、
   前記干渉光を検出して干渉信号を出力する工程と、
   前記出力された前記干渉信号に含まれる周波数ノイズ成分を低減するように前記干渉信号を補正する工程と、
   前記補正された干渉信号から前記計測光と前記参照光との光路長差に対応する位相を有するサイン信号及びコサイン信号を求め、求められたサイン信号及びコサイン信号に基づいて前記面位置を求める工程と、
   含むことを特徴とする計測方法。
10. 被計測物で反射された計測光と参照面で反射された参照光との干渉光を検出して前記被計測物の面位置を計測する計測方法であって、
    第１波長の第１光を用いて生成された第１干渉光を検出して第１干渉信号を出力する工程と、
    第２波長の第２光を用いて生成された第２干渉光を検出して第２干渉信号を出力する工程と、
    前記第１干渉信号及び前記第２干渉信号に基づいて前記面位置を求める工程と、
    を有し、
    前記面位置を求める工程では、前記第１干渉信号及び前記第２干渉信号から前記第１波長及び前記第２波長の合成波長に対応する干渉信号の位相を有するサイン信号及びコサイン信号を求め、求められたサイン信号及びコサイン信号に含まれる周波数ノイズ成分を低減するように前記サイン信号及びコサイン信号を補正し、補正されたサイン信号及びコサイン信号を用いて前記面位置を求め、
    前記合成波長は、前記第１波長及び前記第２波長よりも長い、
    ことを特徴とする計測方法。
11. 前記周波数ノイズ成分は、高周波ノイズ成分であることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の計測装置。
12. 前記周波数ノイズ成分は、ビート周波数以外の周波数のノイズ成分であることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の計測装置。