JP2014523517A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 入射光放射を反射ビームおよび透過ビームに分割するビームスプリッターを有する走査干渉計と、基準ビームを前記ビームスプリッターの第１の表面に最初に入射するように第１伝播経路に沿って前記干渉計に向かって発射する単色光放射源と、観測ビームを前記ビームスプリッターの前記第１表面に最初に入射し、かつ、前記第１表面において前記基準ビームと重なるように第２の伝播経路に沿って前記干渉計に向かって発射する観測光放射源とを備え、前記放射光源が協力して、前記第１表面においてそれぞれの第１伝播経路と第２伝播経路との間に、前記観測ビームの発散半角より大きい第１の角を形成することを特徴とする分光装置。
2. 請求項１に記載の分光装置において、発射された前記基準ビームから生成された基準インターフェログラムを検出する基準検出器と、発射された前記観測ビームから観測インターフェログラムを検出する観測検出器とをさらに備え、各検出装置が他方のビームの前記ビーム経路の外に配置されることを特徴とする分光装置。
3. 請求項２に記載の分光装置において、前記検出されたインターフェログラムに対応する前記検出装置のそれぞれからの出力を受信するために動作可能なように接続されるデータ処理装置をさらに備え、前記基準ビームを前記第１角で発射した結果として前記観察検出器により検出された前記観察インターフェログラムから抽出されたスペクトル情報における誤差を修正するために、前記受信した出力を処理するように前記データ処理装置が特別に適合されることを特徴とする分光装置。
4. 請求項３に記載の分光装置において、前記基準ビームがビーム直径を有し、かつ、前記ミラーが並進するときに前記基準検出器からの出力が前記データ処理装置内における前記基準インターフェログラムからの周期的に繰り返される特徴の決定を可能にするのに十分な最低信号対雑音比を有するように選択された前記ビームスプリッターの前記第１表面におけるある程度の重なりを実現するために、前記ビーム直径に相関する前記第１角で前記基準ビームを発射するように単色放射光源が構成されることを特徴とする分光装置。
5. 前記単色放射光源からの基準ビームおよび前記観測光放射源からの発散観測ビームを、それぞれの伝播経路に沿って前記干渉計の前記ビームスプリッターの前記第１表面に向かって同時に発射するステップを含み、前記基準ビームが前記観測ビームの前記伝播経路に対して前記観測ビームの発散半角より大きい第１の角で前記第１表面に入射するようにその伝播経路に沿って発射されることを特徴とする、請求項１に記載の分光装置を動作させる方法。
6. 請求項５に記載の方法において、前記観測ビームから得たインターフェログラムをデータ処理装置において処理して、それから抽出されたスペクトル情報を前記基準ビームを前記第１角で発射したことに起因する誤差について修正するステップをさらに含むことを特徴とする方法。
7. 請求項６に記載の方法において、前記修正が実際の波長から第１角の余弦倍だけ異なる見掛けの波長を有する前記基準ビームの補償を含むことを特徴とする方法。
8. 請求項５に記載の方法において、
   前記観測ビームに試料物質を通過させるステップと、前記観測ビームから得た前記インターフェログラムを前記データ処理装置において処理して前記試料物質のスペクトル情報特性を抽出するステップとをさらに含むことを特徴とする方法。