JPH07286902A - フーリエ分光器 - Google Patents
フーリエ分光器Info
- Publication number
- JPH07286902A JPH07286902A JP7864694A JP7864694A JPH07286902A JP H07286902 A JPH07286902 A JP H07286902A JP 7864694 A JP7864694 A JP 7864694A JP 7864694 A JP7864694 A JP 7864694A JP H07286902 A JPH07286902 A JP H07286902A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sampling signal
- light
- output
- interference
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ａ／Ｄ変換に伴うノイズを低減することがで
きるフーリエ分光器を実現する。 【構成】 光源の出力光を干渉計で干渉させ、この干渉
光に基づきサンプリング信号を発生させるフーリエ分光
器において、被測定光を発生させる被測定光源と、光源
と被測定光源との出力光が入射される干渉計と、干渉計
の出力光の内光源の干渉光に基づき干渉周波数よりも周
波数の高いサンプリング信号を出力するサンプリング信
号発生手段と、このサンプリング信号発生手段の出力に
基づき干渉計の出力光の内被測定光源の干渉光を測定演
算するデータ処理手段とを設ける。
きるフーリエ分光器を実現する。 【構成】 光源の出力光を干渉計で干渉させ、この干渉
光に基づきサンプリング信号を発生させるフーリエ分光
器において、被測定光を発生させる被測定光源と、光源
と被測定光源との出力光が入射される干渉計と、干渉計
の出力光の内光源の干渉光に基づき干渉周波数よりも周
波数の高いサンプリング信号を出力するサンプリング信
号発生手段と、このサンプリング信号発生手段の出力に
基づき干渉計の出力光の内被測定光源の干渉光を測定演
算するデータ処理手段とを設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フーリエ分光器に関
し、特にＡ／Ｄ変換時のノイズを低減したフーリエ分光
器に関する。
し、特にＡ／Ｄ変換時のノイズを低減したフーリエ分光
器に関する。
【０００２】
【従来の技術】フリーエ分光器は、マイケルソン型の干
渉計の移動鏡の位置を走査し、測定光の干渉光を測定
し、この測定結果をコンピュータ等の演算手段によりフ
ーリエ変換することにより測定光のスペクトルを求め
る。
渉計の移動鏡の位置を走査し、測定光の干渉光を測定
し、この測定結果をコンピュータ等の演算手段によりフ
ーリエ変換することにより測定光のスペクトルを求め
る。
【０００３】図４は特開昭６０−２０９１２３号公報に
記載された従来のフーリエ分光器の一例を示す構成ブロ
ック図である。図４において１はビームスプリッタ２、
固定鏡３及び移動鏡４から構成されるマイケルソン型干
渉計、５は被測定光である赤外線光源、６はヘリウムネ
オンレーザ、７及び８は光検出器、９は増幅器、１０は
サンプルホールド回路、１１はＡ／Ｄ変換器、１２はＣ
ＰＵ、１３はＮＡＮＤ回路１５及び１６とインバータ１
７とから構成される選択回路、１４は操作部、１８は発
振回路、１９は出力インターフェース、２０はＣＲＴ、
２１はチャートレコーダである。
記載された従来のフーリエ分光器の一例を示す構成ブロ
ック図である。図４において１はビームスプリッタ２、
固定鏡３及び移動鏡４から構成されるマイケルソン型干
渉計、５は被測定光である赤外線光源、６はヘリウムネ
オンレーザ、７及び８は光検出器、９は増幅器、１０は
サンプルホールド回路、１１はＡ／Ｄ変換器、１２はＣ
ＰＵ、１３はＮＡＮＤ回路１５及び１６とインバータ１
７とから構成される選択回路、１４は操作部、１８は発
振回路、１９は出力インターフェース、２０はＣＲＴ、
２１はチャートレコーダである。
【０００４】赤外線光源５及びヘリウムネオンレーザ６
の出力光はマイケルソン型干渉計１にそれぞれ入射さ
れ、赤外線光源５及びヘリウムネオンレーザ６の出力光
に対応するマイケルソン型干渉計１からの干渉光は光検
出器７及び８にそれぞれ入射される。
の出力光はマイケルソン型干渉計１にそれぞれ入射さ
れ、赤外線光源５及びヘリウムネオンレーザ６の出力光
に対応するマイケルソン型干渉計１からの干渉光は光検
出器７及び８にそれぞれ入射される。
【０００５】光検出器７の出力は増幅器９を介してサン
プルホールド回路１０に接続され、サンプルホールド回
路１０の出力はＡ／Ｄ変換器１１に接続される。一方、
光検出器８の出力は波形整形回路を介して選択回路１３
に接続され、選択回路１３の出力はサンプリング信号と
してサンプルホールド回路１０及びＡ／Ｄ変換器１１に
接続される。
プルホールド回路１０に接続され、サンプルホールド回
路１０の出力はＡ／Ｄ変換器１１に接続される。一方、
光検出器８の出力は波形整形回路を介して選択回路１３
に接続され、選択回路１３の出力はサンプリング信号と
してサンプルホールド回路１０及びＡ／Ｄ変換器１１に
接続される。
【０００６】また、操作部１４の出力は選択回路１３、
発振回路１８及び出力インターフェース１９にそれぞれ
接続され、発振回路１８の出力は選択回路１３に接続さ
れる。
発振回路１８及び出力インターフェース１９にそれぞれ
接続され、発振回路１８の出力は選択回路１３に接続さ
れる。
【０００７】Ａ／Ｄ変換器１１はＣＰＵ１２と相互に接
続され、ＣＰＵ１２と出力インターフェース１９も相互
に接続される。さらに、出力インターフェース１９の２
つの出力はＣＲＴ２０及びチャートレコーダ２１にそれ
ぞれ接続される。
続され、ＣＰＵ１２と出力インターフェース１９も相互
に接続される。さらに、出力インターフェース１９の２
つの出力はＣＲＴ２０及びチャートレコーダ２１にそれ
ぞれ接続される。
【０００８】ここで、図４に示す従来例の動作を図５を
用いて説明する。図５はインターフェログラム、サンプ
リング信号等を示すタイミング図である。
用いて説明する。図５はインターフェログラム、サンプ
リング信号等を示すタイミング図である。
【０００９】被測定光である赤外線光源５の出力光はマ
イケルソン型干渉計１において干渉光になり光検出器７
で検出される。一方、ヘリウムネオンレーザ６の出力光
もマイケルソン型干渉計１において干渉光になり光検出
器８で検出される。
イケルソン型干渉計１において干渉光になり光検出器７
で検出される。一方、ヘリウムネオンレーザ６の出力光
もマイケルソン型干渉計１において干渉光になり光検出
器８で検出される。
【００１０】通常測定時には光検出器８で検出した干渉
光に基づきサンプリング信号を発生させ、このサンプリ
ング信号によりサンプルホールド回路１０及びＡ／Ｄ変
換器１１で光検出器７の出力のサンプリングを行う。
光に基づきサンプリング信号を発生させ、このサンプリ
ング信号によりサンプルホールド回路１０及びＡ／Ｄ変
換器１１で光検出器７の出力のサンプリングを行う。
【００１１】図５（Ａ）は実際に測定される真のインタ
ーフェログラムであり、図５（Ｃ）は上記サンプリング
信号、図５（Ｂ）はこのサンプリング信号でサンプリン
グした波形である。
ーフェログラムであり、図５（Ｃ）は上記サンプリング
信号、図５（Ｂ）はこのサンプリング信号でサンプリン
グした波形である。
【００１２】光学系調整時にはより詳細なインターフェ
ログラムを見ながら光学系を調整する必要があるため発
振回路１８により前記サンプリング信号よりも細かいサ
ンプリング信号を発生させ、選択回路１３によりサンプ
ルホールド回路１０及びＡ／Ｄ変換器１１に供給する。
ログラムを見ながら光学系を調整する必要があるため発
振回路１８により前記サンプリング信号よりも細かいサ
ンプリング信号を発生させ、選択回路１３によりサンプ
ルホールド回路１０及びＡ／Ｄ変換器１１に供給する。
【００１３】図５（Ｅ）は細かいサンプリング信号であ
り、図５（Ｄ）はこのサンプリング信号でサンプリング
した波形である。この結果、図５（Ｂ）と比較してより
詳細なインターフェログラムを得ることが可能になる。
り、図５（Ｄ）はこのサンプリング信号でサンプリング
した波形である。この結果、図５（Ｂ）と比較してより
詳細なインターフェログラムを得ることが可能になる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図４に示す従
来例のＡ／Ｄ変換器１１ではＡ／Ｄ変換する際に最小ビ
ット以下の値が切り捨て等に起因してノイズが生じてし
まう。一般に、このノイズはビット数の大きいＡ／Ｄ変
換器を用いるか、多数回測定を行いその結果を平均化処
理すること等によって改善することができる。
来例のＡ／Ｄ変換器１１ではＡ／Ｄ変換する際に最小ビ
ット以下の値が切り捨て等に起因してノイズが生じてし
まう。一般に、このノイズはビット数の大きいＡ／Ｄ変
換器を用いるか、多数回測定を行いその結果を平均化処
理すること等によって改善することができる。
【００１５】但し、図４に示す従来例では移動鏡４の１
回の走査によって１つのインターフェログラムしか得ら
れない為、前記平均化処理を行う場合には移動鏡４の走
査が数回必要になり、高速測定には適さないと言った問
題点がある。従って本発明の目的は、Ａ／Ｄ変換に伴う
ノイズを低減することができるフーリエ分光器を実現す
ることにある。
回の走査によって１つのインターフェログラムしか得ら
れない為、前記平均化処理を行う場合には移動鏡４の走
査が数回必要になり、高速測定には適さないと言った問
題点がある。従って本発明の目的は、Ａ／Ｄ変換に伴う
ノイズを低減することができるフーリエ分光器を実現す
ることにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明では、光源の出力光を干渉計で干渉さ
せ、この干渉光に基づきサンプリング信号を発生させる
フーリエ分光器において、被測定光を発生させる被測定
光源と、前記光源と前記被測定光源との出力光が入射さ
れる前記干渉計と、前記干渉計の出力光の内前記光源の
前記干渉光に基づき干渉周波数よりも周波数の高いサン
プリング信号を出力するサンプリング信号発生手段と、
このサンプリング信号発生手段の出力に基づき前記干渉
計の出力光の内前記被測定光源の干渉光を測定演算する
データ処理手段とを備えたことを特徴とするものであ
る。
るために、本発明では、光源の出力光を干渉計で干渉さ
せ、この干渉光に基づきサンプリング信号を発生させる
フーリエ分光器において、被測定光を発生させる被測定
光源と、前記光源と前記被測定光源との出力光が入射さ
れる前記干渉計と、前記干渉計の出力光の内前記光源の
前記干渉光に基づき干渉周波数よりも周波数の高いサン
プリング信号を出力するサンプリング信号発生手段と、
このサンプリング信号発生手段の出力に基づき前記干渉
計の出力光の内前記被測定光源の干渉光を測定演算する
データ処理手段とを備えたことを特徴とするものであ
る。
【００１７】
【作用】ヘリウムネオンレーザの干渉光に基づき干渉周
波数よりも周波数の高いサンプリング信号を発生させて
サンプリングすることにより、移動鏡の１回の走査で複
数のインターフェログラムが得られる。
波数よりも周波数の高いサンプリング信号を発生させて
サンプリングすることにより、移動鏡の１回の走査で複
数のインターフェログラムが得られる。
【００１８】
【実施例】以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明に係るフーリエ分光器の一実施例を示す構
成ブロック図である。ここで、２〜４，６〜８，１０及
び１１は図４と同一符号を付してある。
図１は本発明に係るフーリエ分光器の一実施例を示す構
成ブロック図である。ここで、２〜４，６〜８，１０及
び１１は図４と同一符号を付してある。
【００１９】図１において５ａは光源、２２はハイパス
フィルタ、２３は絶対値回路、２４及び２５は比較器、
２６は論理和回路、２７及び２８は記憶回路である。ま
た、２〜４はマイケルソン型干渉計５０を、８及び２２
〜２６はサンプリング信号発生手段５１を、７，１０，
１１，２７及び２８はデータ処理手段５２をそれぞれ構
成している。
フィルタ、２３は絶対値回路、２４及び２５は比較器、
２６は論理和回路、２７及び２８は記憶回路である。ま
た、２〜４はマイケルソン型干渉計５０を、８及び２２
〜２６はサンプリング信号発生手段５１を、７，１０，
１１，２７及び２８はデータ処理手段５２をそれぞれ構
成している。
【００２０】光源５ａ及びヘリウムネオンレーザ６の出
力光はマイケルソン型干渉計５０にそれぞれ入射され、
光源５ａ及びヘリウムネオンレーザ６の出力光に対応す
るマイケルソン型干渉計５０のから干渉光は光検出器７
及び８にそれぞれ入射される。
力光はマイケルソン型干渉計５０にそれぞれ入射され、
光源５ａ及びヘリウムネオンレーザ６の出力光に対応す
るマイケルソン型干渉計５０のから干渉光は光検出器７
及び８にそれぞれ入射される。
【００２１】光検出器７の出力はサンプルホールド回路
１０に接続され、サンプルホールド回路１０の出力はＡ
／Ｄ変換器１１に接続される。また、Ａ／Ｄ変換器１１
の出力は記憶回路２７及び２８に接続される。
１０に接続され、サンプルホールド回路１０の出力はＡ
／Ｄ変換器１１に接続される。また、Ａ／Ｄ変換器１１
の出力は記憶回路２７及び２８に接続される。
【００２２】一方、光検出器８の出力はハイパスフィル
タ２２及び絶対値回路２３を介して比較器２４及び２５
にそれぞれ接続される。比較器２４の出力は論理和回路
２６の一方の入力端子及び記憶回路２７に、比較器２５
の出力は論理和回路２６の他方の入力端子及び記憶回路
２８にサンプリング信号としてそれぞれ接続される。
タ２２及び絶対値回路２３を介して比較器２４及び２５
にそれぞれ接続される。比較器２４の出力は論理和回路
２６の一方の入力端子及び記憶回路２７に、比較器２５
の出力は論理和回路２６の他方の入力端子及び記憶回路
２８にサンプリング信号としてそれぞれ接続される。
【００２３】ここで、図１に示す実施例の動作を図２を
用いて説明する。図２は干渉信号等を示すタイミング図
である。
用いて説明する。図２は干渉信号等を示すタイミング図
である。
【００２４】被測定光である光源５ａの出力光はマイケ
ルソン型干渉計１で干渉光となり、光検出器７で電気信
号に変換される。
ルソン型干渉計１で干渉光となり、光検出器７で電気信
号に変換される。
【００２５】一方、ヘリウムネオンレーザ６の出力光は
同様にマイケルソン型干渉計１で干渉光となり、光検出
器８で電気信号に変換される。図２（Ａ）はこの干渉信
号の一例を示すものである。
同様にマイケルソン型干渉計１で干渉光となり、光検出
器８で電気信号に変換される。図２（Ａ）はこの干渉信
号の一例を示すものである。
【００２６】図２（Ａ）の干渉信号はハイパスフィルタ
２２で直流成分をカットされ図２（Ｂ）に示すような波
形になる。さらに、絶対値回路２３で負側成分を折り返
されることにより、図２（Ｃ）に示すような波形にな
る。
２２で直流成分をカットされ図２（Ｂ）に示すような波
形になる。さらに、絶対値回路２３で負側成分を折り返
されることにより、図２（Ｃ）に示すような波形にな
る。
【００２７】ここで、比較器２４及び２５の閾値を図２
中”イ”及び”ロ”に示すように設定することにより、
図２（Ｄ）及び（Ｅ）に示すようなサンプリング信号が
得られる。
中”イ”及び”ロ”に示すように設定することにより、
図２（Ｄ）及び（Ｅ）に示すようなサンプリング信号が
得られる。
【００２８】さらに、論理和回路２６により図２（Ｄ）
及び（Ｅ）に示すサンプリング信号は加算され図２
（Ｆ）に示すようなサンプリング信号になる。
及び（Ｅ）に示すサンプリング信号は加算され図２
（Ｆ）に示すようなサンプリング信号になる。
【００２９】サンプルホールド回路１０及びＡ／Ｄ変換
器１１は図２（Ｆ）に示すサンプリング信号のタイミン
グで光検出器７の出力をサンプリングする。また、サン
プリングされた波形は図２（Ｄ）に示すタイミングで記
憶回路２７に格納され、図２（Ｅ）に示すタイミングで
記憶回路２８に格納される。
器１１は図２（Ｆ）に示すサンプリング信号のタイミン
グで光検出器７の出力をサンプリングする。また、サン
プリングされた波形は図２（Ｄ）に示すタイミングで記
憶回路２７に格納され、図２（Ｅ）に示すタイミングで
記憶回路２８に格納される。
【００３０】この結果、２つの比較器２４及び２５を用
いて位相の異なる２つのサンプリング信号を発生させ、
これを加算することによりヘリウムネオンレーザ６の干
渉信号よりも高い周波数のサンプリング信号を得ること
ができ、移動鏡４の１回の走査で２つのインターフェロ
グラムを得ることができる。
いて位相の異なる２つのサンプリング信号を発生させ、
これを加算することによりヘリウムネオンレーザ６の干
渉信号よりも高い周波数のサンプリング信号を得ること
ができ、移動鏡４の１回の走査で２つのインターフェロ
グラムを得ることができる。
【００３１】さらに、記憶回路２７及び２８に格納され
たインターフェログラムをデータ処理手段５２でフーリ
エ変換し、平均化処理することにより、Ａ／Ｄ変換に伴
うノイズを低減することができる。
たインターフェログラムをデータ処理手段５２でフーリ
エ変換し、平均化処理することにより、Ａ／Ｄ変換に伴
うノイズを低減することができる。
【００３２】また、図３は図１に示すサンプリング信号
発生手段５１の他の実施例を示す構成ブロック図であ
る。
発生手段５１の他の実施例を示す構成ブロック図であ
る。
【００３３】図３において２９は位相比較器、３０はロ
ーパスフィルタ、３１は増幅器、３２は電圧制御発振
器、３３はＮ進カウンタである。１００は光検出器８の
出力信号、１０１はサンプルホールド回路１０及びＡ／
Ｄ変換器１１に入力されるサンプリング信号である。ま
た、２９〜３３はサンプリング信号発生手段５１ａを構
成している。
ーパスフィルタ、３１は増幅器、３２は電圧制御発振
器、３３はＮ進カウンタである。１００は光検出器８の
出力信号、１０１はサンプルホールド回路１０及びＡ／
Ｄ変換器１１に入力されるサンプリング信号である。ま
た、２９〜３３はサンプリング信号発生手段５１ａを構
成している。
【００３４】出力信号１００は位相比較器２９の一方の
入力端子に接続され、位相比較器２９の出力はローパス
フィルタ３０に接続される。ローパスフィルタ３０の出
力は増幅器３１に接続され、増幅器３１の出力は電圧制
御発振器３２に接続される。
入力端子に接続され、位相比較器２９の出力はローパス
フィルタ３０に接続される。ローパスフィルタ３０の出
力は増幅器３１に接続され、増幅器３１の出力は電圧制
御発振器３２に接続される。
【００３５】電圧制御発振器３２の出力はサンプリング
信号１０１として出力されると共にＮ進カウンタ３３に
接続され、Ｎ進カウンタ３３の出力は位相比較器２９の
他方の入力端子に接続される。
信号１０１として出力されると共にＮ進カウンタ３３に
接続され、Ｎ進カウンタ３３の出力は位相比較器２９の
他方の入力端子に接続される。
【００３６】図３に示すサンプリング信号発生手段５１
ａはＰＬＬ回路を構成しており、周波数逓倍器として動
作する。例えば、Ｎ進カウンタ３３が２進カウンタであ
れば光検出器８で検出された干渉信号の２倍の周波数が
サンプリング信号１０１として出力される。
ａはＰＬＬ回路を構成しており、周波数逓倍器として動
作する。例えば、Ｎ進カウンタ３３が２進カウンタであ
れば光検出器８で検出された干渉信号の２倍の周波数が
サンプリング信号１０１として出力される。
【００３７】この結果、２倍の周波数を有するサンプリ
ング信号１０１でサンプルホールド回路１０及びＡ／Ｄ
変換器１１を動作させ、交互に記憶回路２７及び２８に
格納することにより、移動鏡４の１回の走査で２つのイ
ンターフェログラムが得られる。そして、この２つのイ
ンターフェログラムを平均化処理することにより、Ａ／
Ｄ変換に伴うノイズを低減することができる。
ング信号１０１でサンプルホールド回路１０及びＡ／Ｄ
変換器１１を動作させ、交互に記憶回路２７及び２８に
格納することにより、移動鏡４の１回の走査で２つのイ
ンターフェログラムが得られる。そして、この２つのイ
ンターフェログラムを平均化処理することにより、Ａ／
Ｄ変換に伴うノイズを低減することができる。
【００３８】なお、図１に示す実施例ではサンプリング
信号発生手段５１において２つの比較器２４及び２５を
用いて位相の異なる２つのサンプリング信号を発生さ
せ、これを加算することにより周波数の高いサンプリン
グ信号を得ているが、複数の比較器を用いることによ
り、移動鏡４の１回の走査で複数のインターフェログラ
ムを得ることができる。
信号発生手段５１において２つの比較器２４及び２５を
用いて位相の異なる２つのサンプリング信号を発生さ
せ、これを加算することにより周波数の高いサンプリン
グ信号を得ているが、複数の比較器を用いることによ
り、移動鏡４の１回の走査で複数のインターフェログラ
ムを得ることができる。
【００３９】また、図３に関する上述の説明ではＮ進カ
ウンタ３３を２進カウンタとして用いたが、Ｎ進として
用いることにより移動鏡４の１回の走査でＮ個のインタ
ーフェログラムを得ることができる。
ウンタ３３を２進カウンタとして用いたが、Ｎ進として
用いることにより移動鏡４の１回の走査でＮ個のインタ
ーフェログラムを得ることができる。
【００４０】また、サンプリング用の干渉信号を発生さ
せることができれば光源はヘリウムネオンレーザに限る
分けではなく、ＤＦＢ半導体レーザ等を用いることも可
能である。
せることができれば光源はヘリウムネオンレーザに限る
分けではなく、ＤＦＢ半導体レーザ等を用いることも可
能である。
【００４１】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。ヘリウムネオン
レーザの干渉光に基づき干渉周波数より高い周波数のサ
ンプリング信号を発生させてサンプリングすることによ
り、移動鏡の１回の走査で複数のインターフェログラム
を得ることができ、この複数のインターフェログラム平
均化処理をすることによりＡ／Ｄ変換に伴うノイズを低
減することができるフーリエ分光器を実現できる。
本発明によれば次のような効果がある。ヘリウムネオン
レーザの干渉光に基づき干渉周波数より高い周波数のサ
ンプリング信号を発生させてサンプリングすることによ
り、移動鏡の１回の走査で複数のインターフェログラム
を得ることができ、この複数のインターフェログラム平
均化処理をすることによりＡ／Ｄ変換に伴うノイズを低
減することができるフーリエ分光器を実現できる。
【図１】本発明に係るフーリエ分光器の一実施例を示す
構成ブロック図である。
構成ブロック図である。
【図２】干渉信号等を示すタイミング図である。
【図３】サンプリング信号発生手段の他の実施例を示す
構成ブロック図である。
構成ブロック図である。
【図４】従来のフーリエ分光器の一例を示す構成ブロッ
ク図である。
ク図である。
【図５】インターフェログラム、サンプリング信号等を
示すタイミング図である。
示すタイミング図である。
１ マイケルソン型干渉計 ２ ビームスプリッタ ３ 固定鏡 ４ 移動鏡 ５ 赤外線光源 ５ａ 光源 ６ ヘリウムネオンレーザ ７，８ 光検出器 ９，３１ 増幅器 １０ サンプルホールド回路 １１ Ａ／Ｄ変換器 １２ ＣＰＵ １３ 選択回路 １４ 操作部 １５，１６ ＮＡＮＤ回路 １７ インバータ １８ 発振回路 １９ 出力インターフェース ２０ ＣＲＴ ２１ チャートレコーダ ２２ ハイパスフィルタ ２３ 絶対値回路 ２４，２５ 比較器 ２６ 論理和回路 ２７，２８ 記憶回路 ２９ 位相比較器 ３０ ローパスフィルタ ３２ 電圧制御発振器 ３３ Ｎ進カウンタ ５０ マイケルソン型干渉計 ５１，５１ａ サンプリング信号発生手段 ５２ データ処理手段 １００ 出力信号 １０１ サンプリング信号
Claims (1)
- 【請求項１】光源の出力光を干渉計で干渉させ、この干
渉光に基づきサンプリング信号を発生させるフーリエ分
光器において、 被測定光を発生させる被測定光源と、 前記光源と前記被測定光源との出力光が入射される前記
干渉計と、 前記干渉計の出力光の内前記光源の前記干渉光に基づき
干渉周波数よりも周波数の高いサンプリング信号を出力
するサンプリング信号発生手段と、 このサンプリング信号発生手段の出力に基づき前記干渉
計の出力光の内前記被測定光源の干渉光を測定演算する
データ処理手段とを備えたことを特徴とするフーリエ分
光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7864694A JPH07286902A (ja) | 1994-04-18 | 1994-04-18 | フーリエ分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7864694A JPH07286902A (ja) | 1994-04-18 | 1994-04-18 | フーリエ分光器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07286902A true JPH07286902A (ja) | 1995-10-31 |
Family
ID=13667636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7864694A Pending JPH07286902A (ja) | 1994-04-18 | 1994-04-18 | フーリエ分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07286902A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1019774A (ja) * | 1996-07-09 | 1998-01-23 | Yokogawa Electric Corp | 近赤外分光分析計 |
| JP2012505421A (ja) * | 2008-10-13 | 2012-03-01 | サントル・ナシオナル・デテュード・スパシアル（セ・エヌ・ウ・エス） | 不規則にサンプリングされた狭帯域信号を復元するプロセス及び機器 |
| CN102759402A (zh) * | 2012-07-23 | 2012-10-31 | 北京理工大学 | 一种旋转式傅里叶变换干涉成像光谱仪 |
| JP2014523517A (ja) * | 2011-05-02 | 2014-09-11 | フォス アナリティカル アグシャセルスガーッブ | 分光装置 |
| CN104483022A (zh) * | 2014-11-25 | 2015-04-01 | 北京工业大学 | 基于等效相交镜的迈克尔逊干涉仪的傅里叶变换光谱仪 |
| US9261405B2 (en) | 2011-07-13 | 2016-02-16 | Konica Minolta, Inc. | Interferometer and spectrometer including same |
| JP2016183957A (ja) * | 2015-02-16 | 2016-10-20 | ライトハウス フォトニクス，ピーティーイー．リミテッド． | コンパクトな分光計 |
| JP2019052994A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-04 | 横河電機株式会社 | フーリエ分光分析装置 |
| US10663347B2 (en) | 2017-10-25 | 2020-05-26 | Yokogawa Electric Corporation | Optical measurement apparatus and recording medium |
-
1994
- 1994-04-18 JP JP7864694A patent/JPH07286902A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1019774A (ja) * | 1996-07-09 | 1998-01-23 | Yokogawa Electric Corp | 近赤外分光分析計 |
| JP2012505421A (ja) * | 2008-10-13 | 2012-03-01 | サントル・ナシオナル・デテュード・スパシアル（セ・エヌ・ウ・エス） | 不規則にサンプリングされた狭帯域信号を復元するプロセス及び機器 |
| JP2014523517A (ja) * | 2011-05-02 | 2014-09-11 | フォス アナリティカル アグシャセルスガーッブ | 分光装置 |
| US9261405B2 (en) | 2011-07-13 | 2016-02-16 | Konica Minolta, Inc. | Interferometer and spectrometer including same |
| CN102759402A (zh) * | 2012-07-23 | 2012-10-31 | 北京理工大学 | 一种旋转式傅里叶变换干涉成像光谱仪 |
| CN104483022A (zh) * | 2014-11-25 | 2015-04-01 | 北京工业大学 | 基于等效相交镜的迈克尔逊干涉仪的傅里叶变换光谱仪 |
| JP2016183957A (ja) * | 2015-02-16 | 2016-10-20 | ライトハウス フォトニクス，ピーティーイー．リミテッド． | コンパクトな分光計 |
| JP2019052994A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-04 | 横河電機株式会社 | フーリエ分光分析装置 |
| US10663347B2 (en) | 2017-10-25 | 2020-05-26 | Yokogawa Electric Corporation | Optical measurement apparatus and recording medium |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5923422A (en) | Method of obtaining an optical FT spectrum | |
| US4792230A (en) | Method and apparatus for measuring ultrashort optical pulses | |
| US9784561B2 (en) | Optical coherence tomography imaging system and method | |
| JPH07286902A (ja) | フーリエ分光器 | |
| JPH0350224B2 (ja) | ||
| JP5572067B2 (ja) | 計測装置 | |
| JP3211861B2 (ja) | フーリエ分光器 | |
| US4511986A (en) | Method and apparatus for simultaneously recording multiple FT-IR signals | |
| Vacher et al. | A fully stabilized Brillouin spectrometer with high contrast and high resolution | |
| EP3537120A1 (en) | Interference spectrophotometer and two-beam interferometer | |
| Huffman et al. | Generalized implementation of rapid-scan Fourier transform infrared spectroscopic imaging | |
| US5164788A (en) | Method and apparatus for controlling reciprocation of movable mirror for photoacoustic fourier transform spectroscopy | |
| JPH1090065A (ja) | フーリエ変換分光器のデータ処理方法及びデータ処理装置 | |
| US5253183A (en) | Obtaining a spectrogram from a single scanning of interference fringes | |
| US5039222A (en) | Apparatus and method for producing fourier transform spectra for a test object in fourier transform spectrographs | |
| JPS61260131A (ja) | 光スペクトル測定装置 | |
| JP3223789B2 (ja) | レーザ測長器 | |
| JP2889248B2 (ja) | 光スペクトラムアナライザ用光干渉計 | |
| WO2021261476A1 (ja) | 光信号検出システム、光信号検出装置及び光信号検出方法 | |
| JP2700319B2 (ja) | デジタルスペクトルアナライザ | |
| JPH09166491A (ja) | インターフェログラムの処理方法および処理回路 | |
| JP2000284008A (ja) | 周波数測定方法及び周波数測定装置 | |
| JP2628171B2 (ja) | 光スペクトルアナライザ | |
| JP2000146516A (ja) | レーザ測長装置 | |
| JP2000171302A (ja) | 干渉分光光度計 |