JPH09166491A - インターフェログラムの処理方法および処理回路 - Google Patents
インターフェログラムの処理方法および処理回路Info
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- JPH09166491A JPH09166491A JP21796996A JP21796996A JPH09166491A JP H09166491 A JPH09166491 A JP H09166491A JP 21796996 A JP21796996 A JP 21796996A JP 21796996 A JP21796996 A JP 21796996A JP H09166491 A JPH09166491 A JP H09166491A
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- Japan
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- interferogram
- gain
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ゲイン切り換え時における不連続性に起因す
るスペクトルの周期的ノイズを確実に低減させることが
でき、回路構成が簡単でその制御がきわめて簡単なイン
ターフェログラムの処理方法および処理回路を提供する
こと。 【解決手段】 分析部１から出力されるインターフェロ
グラムＩＦを互いに異なるゲインの複数のゲインアンプ
３１，３２によって同時にサンプリングし、これらのサ
ンプリングされたデータを合成する際、ゲイン切り換え
時近傍においては、前記相異なるゲインのデータ系列の
採用する比率を徐々に変化させるようにした。
るスペクトルの周期的ノイズを確実に低減させることが
でき、回路構成が簡単でその制御がきわめて簡単なイン
ターフェログラムの処理方法および処理回路を提供する
こと。 【解決手段】 分析部１から出力されるインターフェロ
グラムＩＦを互いに異なるゲインの複数のゲインアンプ
３１，３２によって同時にサンプリングし、これらのサ
ンプリングされたデータを合成する際、ゲイン切り換え
時近傍においては、前記相異なるゲインのデータ系列の
採用する比率を徐々に変化させるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、フーリエ変換分
光法において用いられるインターフェログラムの処理方
法および処理回路に関する。
光法において用いられるインターフェログラムの処理方
法および処理回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】フーリエ変換分光法を用いた計測装置の
一つに、フーリエ変換赤外分光計（ＦＴＩＲ）がある。
このＦＴＩＲは、例えば図４に示すように構成されてい
る。すなわち、この図において、１は分析部、２はこの
分析部１の出力であるインターフェログラムを処理する
データ処理部である。分析部１は、平行な赤外線レーザ
光Ｌを発するように構成された赤外光源３と、ビームス
プリッタ４、固定ミラー５、図外の駆動機構によって例
えばＸ−Ｙ方向に平行移動してスキャンする可動ミラー
６からなる干渉計７と、測定試料などを収容し、干渉計
７を介して赤外光源３からの赤外線レーザ光Ｌが照射さ
れるセル８と、半導体検出器９とから構成されている。
一つに、フーリエ変換赤外分光計（ＦＴＩＲ）がある。
このＦＴＩＲは、例えば図４に示すように構成されてい
る。すなわち、この図において、１は分析部、２はこの
分析部１の出力であるインターフェログラムを処理する
データ処理部である。分析部１は、平行な赤外線レーザ
光Ｌを発するように構成された赤外光源３と、ビームス
プリッタ４、固定ミラー５、図外の駆動機構によって例
えばＸ−Ｙ方向に平行移動してスキャンする可動ミラー
６からなる干渉計７と、測定試料などを収容し、干渉計
７を介して赤外光源３からの赤外線レーザ光Ｌが照射さ
れるセル８と、半導体検出器９とから構成されている。
【０００３】そして、データ処理部２は、例えばコンピ
ュータよりなり、インターフェログラムを加算平均し、
その加算平均出力を高速フーリエ変換（Ｆａｓｔ Ｆｏ
ｕｒｉｅｒ Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ、以下、単にＦＦＴと
いう）し、吸収スペクトルを得るように構成されてい
る。
ュータよりなり、インターフェログラムを加算平均し、
その加算平均出力を高速フーリエ変換（Ｆａｓｔ Ｆｏ
ｕｒｉｅｒ Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ、以下、単にＦＦＴと
いう）し、吸収スペクトルを得るように構成されてい
る。
【０００４】このように構成されたＦＴＩＲにおいて
は、次のようにして分析することができる。すなわち、
セル８に比較試料または測定試料をそれぞれ収容して赤
外光源３からの赤外線レーザ光Ｌをセル８に照射し、比
較試料および測定試料のインターフェログラムを測定す
る。これらのインターフェログラムをデータ処理部２に
おいて、それぞれＦＦＴしてパワースペクトルを得た
後、比較試料のパワースペクトルに対する測定試料のパ
ワースペクトルの比を求め、透過率スペクトルあるいは
吸光度スペクトルを得て、定性分析または定量分析を行
う。
は、次のようにして分析することができる。すなわち、
セル８に比較試料または測定試料をそれぞれ収容して赤
外光源３からの赤外線レーザ光Ｌをセル８に照射し、比
較試料および測定試料のインターフェログラムを測定す
る。これらのインターフェログラムをデータ処理部２に
おいて、それぞれＦＦＴしてパワースペクトルを得た
後、比較試料のパワースペクトルに対する測定試料のパ
ワースペクトルの比を求め、透過率スペクトルあるいは
吸光度スペクトルを得て、定性分析または定量分析を行
う。
【０００５】ところで、前記インターフェログラムのデ
ータは、図６において符号ＩＦで示すように、センター
バーストＣＢ付近の値が非常に大きく、センターバース
トＣＢを離れるに伴い小さくなる。このようなデータを
精度よくサンプリングするには、高分解能のＡ／Ｄ変換
器が必要となるが、高価である。
ータは、図６において符号ＩＦで示すように、センター
バーストＣＢ付近の値が非常に大きく、センターバース
トＣＢを離れるに伴い小さくなる。このようなデータを
精度よくサンプリングするには、高分解能のＡ／Ｄ変換
器が必要となるが、高価である。
【０００６】そこで、従来においては、高分解能のＡ／
Ｄ変換器の代わりに、ゲインレンジングという手法を採
用していた。図５は、この手法を実施するためのインタ
ーフェログラムの処理回路を示すもので、この図におい
て、１０は分析部１（図４参照）の検出器９から出力さ
れるインターフェログラムＩＦを適宜増幅するプリアン
プである。このプリアンプ１０の後段には、相異なるゲ
インのゲインアンプ１１〜１４（図中における×１、×
２、×４、×８はゲインを例示している）が互いに並列
的に接続されている。そして、ゲインアンプ１１〜１４
のそれぞれ後段には、スイッチ１５〜１８が設けられて
いる。１９はＡ／Ｄ変換器１５〜１８に共通のＡ／Ｄ変
換器、２０は制御や演算さらには演算結果などを記憶す
るコンピュータで、２１はメモリである。
Ｄ変換器の代わりに、ゲインレンジングという手法を採
用していた。図５は、この手法を実施するためのインタ
ーフェログラムの処理回路を示すもので、この図におい
て、１０は分析部１（図４参照）の検出器９から出力さ
れるインターフェログラムＩＦを適宜増幅するプリアン
プである。このプリアンプ１０の後段には、相異なるゲ
インのゲインアンプ１１〜１４（図中における×１、×
２、×４、×８はゲインを例示している）が互いに並列
的に接続されている。そして、ゲインアンプ１１〜１４
のそれぞれ後段には、スイッチ１５〜１８が設けられて
いる。１９はＡ／Ｄ変換器１５〜１８に共通のＡ／Ｄ変
換器、２０は制御や演算さらには演算結果などを記憶す
るコンピュータで、２１はメモリである。
【０００７】また、２２は干渉計７における可動ミラー
６の移動に基づいてクロックを発生する回路で、Ｈｅ−
Ｎｅレーザ光Ｌを検出する検出器２３、この検出器２３
の出力を適宜増幅するアンプ２４、矩形整形回路２５な
どよりなり、このクロック発生回路２２の出力は、Ａ／
Ｄ変換器１９にサンプリングクロックＣＬＫとして入力
されるとともに、ミラーポジションカウンタ２６にも入
力される。２７はコンピュータ２０からプリセット入力
される切り換えポジション信号とミラーポジションカウ
ンタ２６から出力されるミラーポジション信号とを比較
する比較器で、この比較器２７の出力によって、前記ス
イッチ１５〜１８のうちの一つが択一的にオンし、ゲイ
ンアンプ１１〜１４のうちの一つが択一的にＡ／Ｄ変換
器１９に接続されるように構成されている。
６の移動に基づいてクロックを発生する回路で、Ｈｅ−
Ｎｅレーザ光Ｌを検出する検出器２３、この検出器２３
の出力を適宜増幅するアンプ２４、矩形整形回路２５な
どよりなり、このクロック発生回路２２の出力は、Ａ／
Ｄ変換器１９にサンプリングクロックＣＬＫとして入力
されるとともに、ミラーポジションカウンタ２６にも入
力される。２７はコンピュータ２０からプリセット入力
される切り換えポジション信号とミラーポジションカウ
ンタ２６から出力されるミラーポジション信号とを比較
する比較器で、この比較器２７の出力によって、前記ス
イッチ１５〜１８のうちの一つが択一的にオンし、ゲイ
ンアンプ１１〜１４のうちの一つが択一的にＡ／Ｄ変換
器１９に接続されるように構成されている。
【０００８】そして、ミラーポジションカウンタ２６か
らのミラーポジション信号と予め入力されている切り換
えポジション信号とを比較器２７において比較すること
により、図６において符号Ｇで示すように、センターバ
ーストＣＢ付近は低い（小さい）ゲインでサンプリング
し、センターバーストＣＢから離れるに伴ってゲインを
高く（大きく）するようにしていた。
らのミラーポジション信号と予め入力されている切り換
えポジション信号とを比較器２７において比較すること
により、図６において符号Ｇで示すように、センターバ
ーストＣＢ付近は低い（小さい）ゲインでサンプリング
し、センターバーストＣＢから離れるに伴ってゲインを
高く（大きく）するようにしていた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ように、ゲインレンジング法でゲインを急激に切り換え
ると、その切り換え点（例えば、図６において符号
Ｐ1 ，Ｐ2 で示す）において、データに不連続性が生
じ、スペクトルに周期的なノイズが加わってしまう。こ
のため、従来においては、切り換えゲインを小さくする
か、図５に示すように、多段階で徐々にゲインを変化さ
せるようにしていたが、そのようにしても、ノイズを十
分低減することはできなかった。
ように、ゲインレンジング法でゲインを急激に切り換え
ると、その切り換え点（例えば、図６において符号
Ｐ1 ，Ｐ2 で示す）において、データに不連続性が生
じ、スペクトルに周期的なノイズが加わってしまう。こ
のため、従来においては、切り換えゲインを小さくする
か、図５に示すように、多段階で徐々にゲインを変化さ
せるようにしていたが、そのようにしても、ノイズを十
分低減することはできなかった。
【００１０】また、従来のインターフェログラムの処理
回路においては、一つのＡ／Ｄ変換器１９を設けるだけ
でよいものの、多段階に切り換える必要があるところか
ら、各ゲインアンプ１１〜１４のそれぞれに対応して複
数のスイッチ１５〜１８を設けるとともに、これらのス
イッチ１５〜１８を切り換え制御するために、クロック
発生回路２２のほかに、ミラーポジションカウンタ２６
や比較器２７を設ける必要があり、回路構成がきわめて
複雑になり、また、その制御も非常に煩雑なものとなっ
ていた。
回路においては、一つのＡ／Ｄ変換器１９を設けるだけ
でよいものの、多段階に切り換える必要があるところか
ら、各ゲインアンプ１１〜１４のそれぞれに対応して複
数のスイッチ１５〜１８を設けるとともに、これらのス
イッチ１５〜１８を切り換え制御するために、クロック
発生回路２２のほかに、ミラーポジションカウンタ２６
や比較器２７を設ける必要があり、回路構成がきわめて
複雑になり、また、その制御も非常に煩雑なものとなっ
ていた。
【００１１】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、ゲイン切り換え時における不連
続性に起因するスペクトルの周期的ノイズを確実に低減
させることができ、回路構成が簡単でその制御がきわめ
て簡単なインターフェログラムの処理方法および処理回
路を提供することである。
たもので、その目的は、ゲイン切り換え時における不連
続性に起因するスペクトルの周期的ノイズを確実に低減
させることができ、回路構成が簡単でその制御がきわめ
て簡単なインターフェログラムの処理方法および処理回
路を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明のインターフェログラムの処理方法（以
下、単に処理方法という）は、分析部から出力されるイ
ンターフェログラムを互いに異なるゲインの複数のゲイ
ンアンプによって同時にサンプリングし、これらのサン
プリングされたデータを合成する際、ゲイン切り換え時
近傍においては、前記相異なるゲインのデータ系列の採
用する比率を徐々に変化させるようにしている。
め、この発明のインターフェログラムの処理方法（以
下、単に処理方法という）は、分析部から出力されるイ
ンターフェログラムを互いに異なるゲインの複数のゲイ
ンアンプによって同時にサンプリングし、これらのサン
プリングされたデータを合成する際、ゲイン切り換え時
近傍においては、前記相異なるゲインのデータ系列の採
用する比率を徐々に変化させるようにしている。
【００１３】上記比率を徐々に変化させる場合、直線的
であってもよく、また、曲線的であってもよい。いずれ
の場合も、単調に変化するようにしてあればよい。
であってもよく、また、曲線的であってもよい。いずれ
の場合も、単調に変化するようにしてあればよい。
【００１４】そして、この発明のインターフェログラム
の処理回路（以下、単に処理回路という）は、分析部か
ら出力されるインターフェログラムを互いに異なるゲイ
ンの複数のゲインアンプによって同時にサンプリングす
るように構成するとともに、各ゲインアンプに対応して
それぞれＡ／Ｄ変換器を設けている。
の処理回路（以下、単に処理回路という）は、分析部か
ら出力されるインターフェログラムを互いに異なるゲイ
ンの複数のゲインアンプによって同時にサンプリングす
るように構成するとともに、各ゲインアンプに対応して
それぞれＡ／Ｄ変換器を設けている。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、この発明の詳細を、図を参
照しながら説明する。なお、以下の説明において、図４
〜図６における符号と同一のものは同一物または相当物
である。
照しながら説明する。なお、以下の説明において、図４
〜図６における符号と同一のものは同一物または相当物
である。
【００１６】図１〜図３は、この発明の一実施例を示す
もので、図１は、インターフェログラムの処理回路の一
例を概略的に示している。この図において、３１，３２
はプリアンプ１０の後段に電気的に並列に設けられる相
異なるゲインを有するゲインアンプで、この実施例にお
いては、両ゲインアンプ３１，３２のゲインは、それぞ
れ１，１６に設定されている。
もので、図１は、インターフェログラムの処理回路の一
例を概略的に示している。この図において、３１，３２
はプリアンプ１０の後段に電気的に並列に設けられる相
異なるゲインを有するゲインアンプで、この実施例にお
いては、両ゲインアンプ３１，３２のゲインは、それぞ
れ１，１６に設定されている。
【００１７】前記ゲインアンプ３１，３２のそれぞれ後
段には、Ａ／Ｄ変換器３３，３４が設けられている。こ
れらのＡ／Ｄ変換器３３，３４には、前記クロック発生
回路２２と同様に構成されたクロック発生回路３５から
のサンプリングクロックＣＬＫが同時に入力される。
段には、Ａ／Ｄ変換器３３，３４が設けられている。こ
れらのＡ／Ｄ変換器３３，３４には、前記クロック発生
回路２２と同様に構成されたクロック発生回路３５から
のサンプリングクロックＣＬＫが同時に入力される。
【００１８】３６はコンピュータで、このコンピュータ
３６には、Ａ／Ｄ変換器３３，３４から出力される信号
がそれぞれ入力され、これをデータとして格納するメモ
リ３７，３８、これらのメモリ３７，３８にそれぞれ格
納されたデータを後述する手法で合成処理する合成処理
回路３９、ＦＦＴ用ワークメモリ４０などが設けられて
いる。
３６には、Ａ／Ｄ変換器３３，３４から出力される信号
がそれぞれ入力され、これをデータとして格納するメモ
リ３７，３８、これらのメモリ３７，３８にそれぞれ格
納されたデータを後述する手法で合成処理する合成処理
回路３９、ＦＦＴ用ワークメモリ４０などが設けられて
いる。
【００１９】次に、上記構成の処理回路の動作を、図２
をも参照しながら説明する。図２は、インターフェログ
ラムＩＦと、メモリ３７，３８にそれぞれ格納されたデ
ータを、合成処理回路３９によって合成する際に用いる
係数Ａ，Ｂの変化を表したものである。
をも参照しながら説明する。図２は、インターフェログ
ラムＩＦと、メモリ３７，３８にそれぞれ格納されたデ
ータを、合成処理回路３９によって合成する際に用いる
係数Ａ，Ｂの変化を表したものである。
【００２０】まず、検出器９から出力されたインターフ
ェログラムＩＦは、プリアンプ１０で増幅された後、二
つに分けられ、ゲイン１のゲインアンプ３１とゲイン１
６のゲインアンプ３２に入力され、それぞれのゲインで
増幅された後、別々のＡ／Ｄ変換器３３，３４によって
同じタイミングでサンプリングされ、コンピュータ３６
のメモリ３７，３８にそれぞれ格納される。すなわち、
メモリ３７には元のインターフェログラムＩＦの値を１
倍（×１）したデータが、また、メモリ３８には１６倍
（×１６）したデータがそれぞれ格納される。
ェログラムＩＦは、プリアンプ１０で増幅された後、二
つに分けられ、ゲイン１のゲインアンプ３１とゲイン１
６のゲインアンプ３２に入力され、それぞれのゲインで
増幅された後、別々のＡ／Ｄ変換器３３，３４によって
同じタイミングでサンプリングされ、コンピュータ３６
のメモリ３７，３８にそれぞれ格納される。すなわち、
メモリ３７には元のインターフェログラムＩＦの値を１
倍（×１）したデータが、また、メモリ３８には１６倍
（×１６）したデータがそれぞれ格納される。
【００２１】前記メモリ３７，３８にそれぞれ格納され
た２つにデータ系列（×１のデータ系列と、×１６のデ
ータ系列）は、合成処理回路３９において、次式にした
がって合成処理される。すなわち、 合成データ＝〔×１６のデータ〕×係数Ａ＋〔×１のデ
ータ〕×係数Ｂ
た２つにデータ系列（×１のデータ系列と、×１６のデ
ータ系列）は、合成処理回路３９において、次式にした
がって合成処理される。すなわち、 合成データ＝〔×１６のデータ〕×係数Ａ＋〔×１のデ
ータ〕×係数Ｂ
【００２２】ここで、係数Ａ，Ｂは、図２に示すよう
に、ゲイン切り換え点Ｐ1 ，Ｐ2 近傍においては徐々に
変化している。すなわち、×１６のデータに乗ぜられる
係数Ａは、センターバーストＣＢより前のゲイン切り換
え点Ｐ1 近傍においては、×１から×１５／１６，×１
４／１６，……，×２／１６，×１／１６というように
単調に減少し、センターバーストＣＢを含む前後におい
ては、×０となる。そして、センターバーストＣＢより
後のゲイン切り換え点Ｐ2 の近傍においては、×１／１
６，×２／１６，……，×１４／１６，×１５／１６と
単調に増加し、再び×１となるように設定される。
に、ゲイン切り換え点Ｐ1 ，Ｐ2 近傍においては徐々に
変化している。すなわち、×１６のデータに乗ぜられる
係数Ａは、センターバーストＣＢより前のゲイン切り換
え点Ｐ1 近傍においては、×１から×１５／１６，×１
４／１６，……，×２／１６，×１／１６というように
単調に減少し、センターバーストＣＢを含む前後におい
ては、×０となる。そして、センターバーストＣＢより
後のゲイン切り換え点Ｐ2 の近傍においては、×１／１
６，×２／１６，……，×１４／１６，×１５／１６と
単調に増加し、再び×１となるように設定される。
【００２３】一方、×１のデータに乗ぜられる係数Ｂ
は、前記ゲイン切り換え点Ｐ1 近傍においては、×０か
ら×１，×２，……，×１４，×１５と単調に増加し、
センターバーストＣＢを含む前後においては、×１６と
なる。そして、前記ゲイン切り換え点Ｐ2 近傍において
は、×１５，×１４，……，×２，×１と単調に減少
し、再び×０となるように設定される。
は、前記ゲイン切り換え点Ｐ1 近傍においては、×０か
ら×１，×２，……，×１４，×１５と単調に増加し、
センターバーストＣＢを含む前後においては、×１６と
なる。そして、前記ゲイン切り換え点Ｐ2 近傍において
は、×１５，×１４，……，×２，×１と単調に減少
し、再び×０となるように設定される。
【００２４】上述のようにして合成処理されたデータ
は、ＦＦＴ用のワークメモリ４０に移され、格納され
る。
は、ＦＦＴ用のワークメモリ４０に移され、格納され
る。
【００２５】図３（Ａ）は、上述のようにして合成処理
したデータをＦＦＴした二つのパワースペクトルを割算
した結果を示している。また、同図（Ｂ）は、係数を変
化させることなく合成処理した場合の割算結果を示すも
ので、両者を比べると、前者においては、周期的なノイ
ズが大幅に低減されていることが判る。
したデータをＦＦＴした二つのパワースペクトルを割算
した結果を示している。また、同図（Ｂ）は、係数を変
化させることなく合成処理した場合の割算結果を示すも
ので、両者を比べると、前者においては、周期的なノイ
ズが大幅に低減されていることが判る。
【００２６】そして、上記実施例における処理回路は、
従来のものとは異なり、各ゲインアンプ３１，３２のそ
れぞれに対応して複数のスイッチを設けたり、これらの
スイッチを切り換え制御するための回路を設けたりする
必要がないので、回路構成がきわめて簡単になり、簡単
な制御を行うだけでよい。
従来のものとは異なり、各ゲインアンプ３１，３２のそ
れぞれに対応して複数のスイッチを設けたり、これらの
スイッチを切り換え制御するための回路を設けたりする
必要がないので、回路構成がきわめて簡単になり、簡単
な制御を行うだけでよい。
【００２７】なお、上述の実施例においては、係数Ａ，
Ｂを徐々に直線的に変化させるようにしていたが、曲線
的に変化させてもよい。
Ｂを徐々に直線的に変化させるようにしていたが、曲線
的に変化させてもよい。
【００２８】また、この発明は、上述した実施例に限ら
れるものではなく、例えば、ゲインアンプとしては、相
異なるゲインのものを３以上並列的に設けてもよい。
れるものではなく、例えば、ゲインアンプとしては、相
異なるゲインのものを３以上並列的に設けてもよい。
【００２９】さらに、この発明は、上述したＦＴＩＲに
おけるインターフェログラムの処理に限られるものでは
なく、広くフーリエ変換分光法において用いられるイン
ターフェログラムの処理に適用できることはいうまでも
ない。
おけるインターフェログラムの処理に限られるものでは
なく、広くフーリエ変換分光法において用いられるイン
ターフェログラムの処理に適用できることはいうまでも
ない。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、インターフェログラムを、ゲインレンジング手法で
サンプリングする場合、ゲイン切換え点における不連続
性を減少させることができ、スペクトルの周期的ノイズ
を大幅に低減できる。したがって、Ｓ／Ｎの良好なスペ
クトルを得ることができる。
ば、インターフェログラムを、ゲインレンジング手法で
サンプリングする場合、ゲイン切換え点における不連続
性を減少させることができ、スペクトルの周期的ノイズ
を大幅に低減できる。したがって、Ｓ／Ｎの良好なスペ
クトルを得ることができる。
【００３１】そして、この発明によれば、インターフェ
ログラムを処理する回路の構成が従来に比べて大幅に簡
略化され、その制御も簡単に行なえる。
ログラムを処理する回路の構成が従来に比べて大幅に簡
略化され、その制御も簡単に行なえる。
【図１】この発明のインターフェログラムの処理回路の
構成の一例を概略的に示す図である。
構成の一例を概略的に示す図である。
【図２】この発明のインターフェログラムの処理方法の
動作説明図である。
動作説明図である。
【図３】二つのパワースペクトルを割算した結果を示
し、（Ａ）は合成処理を行う際、係数を変化させた場
合、（Ｂ）は合成処理を行う際、係数を変化させなかっ
た場合をそれぞれ示す。
し、（Ａ）は合成処理を行う際、係数を変化させた場
合、（Ｂ）は合成処理を行う際、係数を変化させなかっ
た場合をそれぞれ示す。
【図４】一般的なＦＴＩＲの構成を概略的に示す図であ
る。
る。
【図５】従来のインターフェログラムの処理回路を概略
的に示す図である。
的に示す図である。
【図６】従来技術を説明するための図である。
１…分析部、３１，３２…ゲインアンプ、３３，３４…
Ａ／Ｄ変換器、ＩＦ…インターフェログラム。
Ａ／Ｄ変換器、ＩＦ…インターフェログラム。
Claims (2)
- 【請求項１】 分析部から出力されるインターフェログ
ラムを互いに異なるゲインの複数のゲインアンプによっ
て同時にサンプリングし、これらのサンプリングされた
データを合成する際、ゲイン切り換え時近傍において
は、前記相異なるゲインのデータ系列の採用する比率を
徐々に変化させるようにしたことを特徴とするインター
フェログラムの処理方法。 - 【請求項２】 分析部から出力されるインターフェログ
ラムを互いに異なるゲインの複数のゲインアンプによっ
て同時にサンプリングするように構成するとともに、各
ゲインアンプに対応してそれぞれＡ／Ｄ変換器を設けた
ことを特徴とするインターフェログラムの処理回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21796996A JPH09166491A (ja) | 1995-10-14 | 1996-07-30 | インターフェログラムの処理方法および処理回路 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29192895 | 1995-10-14 | ||
| JP7-291928 | 1995-10-14 | ||
| JP21796996A JPH09166491A (ja) | 1995-10-14 | 1996-07-30 | インターフェログラムの処理方法および処理回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09166491A true JPH09166491A (ja) | 1997-06-24 |
Family
ID=26522315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21796996A Pending JPH09166491A (ja) | 1995-10-14 | 1996-07-30 | インターフェログラムの処理方法および処理回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09166491A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011030518A1 (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-17 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 信号処理装置、質量分析装置及び光度計 |
| JP2013152130A (ja) * | 2012-01-25 | 2013-08-08 | Shimadzu Corp | データ収集装置 |
| JP2014163734A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Hioki Ee Corp | 波形測定装置、電流測定装置および電力測定装置 |
-
1996
- 1996-07-30 JP JP21796996A patent/JPH09166491A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011030518A1 (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-17 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 信号処理装置、質量分析装置及び光度計 |
| US8633841B2 (en) | 2009-09-14 | 2014-01-21 | Hitachi High-Technologies Corporation | Signal processing device, mass spectrometer, and photometer |
| JP5645829B2 (ja) * | 2009-09-14 | 2014-12-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 信号処理装置、質量分析装置及び光度計 |
| JP2013152130A (ja) * | 2012-01-25 | 2013-08-08 | Shimadzu Corp | データ収集装置 |
| JP2014163734A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Hioki Ee Corp | 波形測定装置、電流測定装置および電力測定装置 |
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