JPH02145927A - フーリエ変換型干渉分光器 - Google Patents
フーリエ変換型干渉分光器Info
- Publication number
- JPH02145927A JPH02145927A JP29994688A JP29994688A JPH02145927A JP H02145927 A JPH02145927 A JP H02145927A JP 29994688 A JP29994688 A JP 29994688A JP 29994688 A JP29994688 A JP 29994688A JP H02145927 A JPH02145927 A JP H02145927A
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- JP
- Japan
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- mirror
- light
- fourier transform
- image sensor
- mirrors
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract 2
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
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- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
- G01J3/4531—Devices without moving parts
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明はフーリエ変換型の干渉分光器に関するもので、
分光器の長期的な信頼性の向上をはかるものである。
分光器の長期的な信頼性の向上をはかるものである。
〈従来の技術〉
第２図は、従来公知のこの種のフーリエ変換型の干渉分
光器の一例を示す構成図であり、２光線東干渉系を用い
たものである。
光器の一例を示す構成図であり、２光線東干渉系を用い
たものである。
第２図において、入射スリット２１から入射した光Ｐ・
。をレンズ２２で平行光線とし、この平行光線をハーフ
ミラ−２３で２光線束とし、各光線束をそれぞれミラー
２４．２５で反射させ、これらの各反射光はレンズ２６
を介して出射スリブ１〜２７に入射させ、フォトディテ
クタ２８に集められる。
。をレンズ２２で平行光線とし、この平行光線をハーフ
ミラ−２３で２光線束とし、各光線束をそれぞれミラー
２４．２５で反射させ、これらの各反射光はレンズ２６
を介して出射スリブ１〜２７に入射させ、フォトディテ
クタ２８に集められる。
ここで、ミラー２４、ミラー２５がハーフミラ−２３か
ら同じ距離にあれば、全ての波長の光に対して両光束は
強め合うが、一方のミラーをＸ／２平行移動させるとＸ
の光路差が生じ、ｘ＝ｎλ（ｎ：整数）を満たす光は強
め合い、このときは明縞が現れることになり、また、ｘ
＝（ｎ＋ｌ／２）λ（ｎ：１１数）を満たす光は打ち消
し合い、このときは暗縞が現れることになり、光路差に
応じた干渉を示すことになる。この光路差Ｘを変化させ
たときの干渉出力図形をインターフェログラムといい、
これからフーリエ積分を解析の手段として、スペクトル
を求めるようにしたものが三光束干渉分光である。従っ
て、ミラー２４．２５のいずれか一方を矢印に示す方向
に動かし、２光線束の光路差を変化させることにより、
出射スリット２７を通った光を受光するフォトディテク
タ２８から得られる増幅された信号のインターフェログ
ラムが、入射した光のフーリエ変換になるもので、この
逆変換を演算部（スペクトラムアナライザ）で行って、
元のスペクトル分布を知るようにしている。
ら同じ距離にあれば、全ての波長の光に対して両光束は
強め合うが、一方のミラーをＸ／２平行移動させるとＸ
の光路差が生じ、ｘ＝ｎλ（ｎ：整数）を満たす光は強
め合い、このときは明縞が現れることになり、また、ｘ
＝（ｎ＋ｌ／２）λ（ｎ：１１数）を満たす光は打ち消
し合い、このときは暗縞が現れることになり、光路差に
応じた干渉を示すことになる。この光路差Ｘを変化させ
たときの干渉出力図形をインターフェログラムといい、
これからフーリエ積分を解析の手段として、スペクトル
を求めるようにしたものが三光束干渉分光である。従っ
て、ミラー２４．２５のいずれか一方を矢印に示す方向
に動かし、２光線束の光路差を変化させることにより、
出射スリット２７を通った光を受光するフォトディテク
タ２８から得られる増幅された信号のインターフェログ
ラムが、入射した光のフーリエ変換になるもので、この
逆変換を演算部（スペクトラムアナライザ）で行って、
元のスペクトル分布を知るようにしている。
このようなフーリエ変換型の干渉分光器は、入射スリッ
トを必要とせず、フォトディテクタに入る光の全スペク
トルを同時に測定できること、光量が多いためＳ／Ｎが
良好であること、波長精度が高いこと等の長所がある。
トを必要とせず、フォトディテクタに入る光の全スペク
トルを同時に測定できること、光量が多いためＳ／Ｎが
良好であること、波長精度が高いこと等の長所がある。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかしながら、上記従来例で示すフーリエ変換型の干渉
分光器においては、光路差を変えるなめに一方のミラー
を動かす必要があり、その機械的な精度が要求されるこ
と、ｔＲ栖部が複雑で大掛かりとなるため、高価となり
、小型化が困誼であること等の問題点があった。
分光器においては、光路差を変えるなめに一方のミラー
を動かす必要があり、その機械的な精度が要求されるこ
と、ｔＲ栖部が複雑で大掛かりとなるため、高価となり
、小型化が困誼であること等の問題点があった。
本発明は上記従来技術の問題点を踏まえて成されたらの
であり、光路差を変えるためのミラーの作動の必要をな
くし、機構部を簡素化することにより、長期的な信頼性
を向上させ、安価、小型化にも寄与することを目的とし
たものである。
であり、光路差を変えるためのミラーの作動の必要をな
くし、機構部を簡素化することにより、長期的な信頼性
を向上させ、安価、小型化にも寄与することを目的とし
たものである。
く問題点を解決するための手段〉
上記問題点を解決するための本発明の構成は、ハーフミ
ラ−により２光線束とされた各光線束を反射する一方の
ミラーを傾けておくことにより、イメージセンサ上に干
渉縞を形成させ、この光の明暗パターンをイメージセン
サで時系列の電気信号に変換し、この電気信号をスペク
トラムアナライザでフーリエ変換することによって、入
力された光のスペクトルを測定するようにした構成とす
ることにより、光路差を変えるためのミラーの作動の必
要を無くし、その機構部を簡素化したことを特徴とする
ものである。
ラ−により２光線束とされた各光線束を反射する一方の
ミラーを傾けておくことにより、イメージセンサ上に干
渉縞を形成させ、この光の明暗パターンをイメージセン
サで時系列の電気信号に変換し、この電気信号をスペク
トラムアナライザでフーリエ変換することによって、入
力された光のスペクトルを測定するようにした構成とす
ることにより、光路差を変えるためのミラーの作動の必
要を無くし、その機構部を簡素化したことを特徴とする
ものである。
〈実施例〉
以下、本発明を図面に基ずいて説明する。
第１図は本発明に係わるフーリエ変換型の干渉分光器の
一実施例を示す構成図である。なお、第１図において、
第２図と同一要素には同一符号を付して重複する説明は
省略する。また、入射光は図を簡単にするために、単一
スペクトル光とする。
一実施例を示す構成図である。なお、第１図において、
第２図と同一要素には同一符号を付して重複する説明は
省略する。また、入射光は図を簡単にするために、単一
スペクトル光とする。
第１図において、１４は直角からθ０傾斜して固定され
たミラー、１５は直角に固定されたミラ１８はイメージ
センサである。入射スリット２１から入射した光をレン
ズ２２で平行光線とし、この平行光線をハーフミラ−２
３で２光線とし、各光線をそれぞれミラー１４．１５で
反射させ、ハーフミラ−２３で再び合流し、レンズ２６
を介して出射スリット２７に入射させるものである。
たミラー、１５は直角に固定されたミラ１８はイメージ
センサである。入射スリット２１から入射した光をレン
ズ２２で平行光線とし、この平行光線をハーフミラ−２
３で２光線とし、各光線をそれぞれミラー１４．１５で
反射させ、ハーフミラ−２３で再び合流し、レンズ２６
を介して出射スリット２７に入射させるものである。
このような構成のフーリエ変換型の干渉分光器において
、ミラー１４がθ４傾けて固定されているため、ミラー
１４の傾斜角に応じた干渉を示すこととなり、干渉縞は
イメージセンサ１８上に形成される０例えば入射光が波
長λの単一スペクトル光とすれば、縞のピッチが、α＝
λ／ ｓ ｉ ｎθの干渉縞が生じる。この光の明暗パ
ターン（干渉縞）をイメージセンサ１８で光電変換して
、時系列に読み：封した電気信号の周波数（ｆ）は、ｆ
”ｍ −ｆｃ、に／ｎ となる。
、ミラー１４がθ４傾けて固定されているため、ミラー
１４の傾斜角に応じた干渉を示すこととなり、干渉縞は
イメージセンサ１８上に形成される０例えば入射光が波
長λの単一スペクトル光とすれば、縞のピッチが、α＝
λ／ ｓ ｉ ｎθの干渉縞が生じる。この光の明暗パ
ターン（干渉縞）をイメージセンサ１８で光電変換して
、時系列に読み：封した電気信号の周波数（ｆ）は、ｆ
”ｍ −ｆｃ、に／ｎ となる。
なお、
ｍ；イメージセンサ上の縞の数
ｎ；イメージセンサの素子数
ｆ ；クロック周波数
ｌｋ
とする。
この周波数（ｆ）を演算部（スペクトラムアナライザ）
でフーリエ変換することによって、入射光の光スペクト
ルに対応したスペクトルを測定することができる。
でフーリエ変換することによって、入射光の光スペクト
ルに対応したスペクトルを測定することができる。
なお、ハーフミラ−により２光線束とされた各光線を反
射する手段は第１図に示すミラーに限るものではなく、
例えばキューブコーナーであってもよい、要は、本発明
は一方の反射手段を傾けて固定しておくことにより、光
路差を変えるための反射手段の作動の必要を無くし、そ
の機構部を簡単にすることにより、長期的に信頼性を向
上させるものである。
射する手段は第１図に示すミラーに限るものではなく、
例えばキューブコーナーであってもよい、要は、本発明
は一方の反射手段を傾けて固定しておくことにより、光
路差を変えるための反射手段の作動の必要を無くし、そ
の機構部を簡単にすることにより、長期的に信頼性を向
上させるものである。
〈発明の効果〉
以上、実施例とともに具体的に説明したように、本発明
によれば、一方のミラーを傾け、生じた干渉縞をイメー
ジセンサで受光することにより、光路差を変えるための
ミラーを作動させる必要がなくなり、従って、機構部が
簡素化され、長期的な信頼性を向上させることになり、
安価、小型化にも寄与することができるフーリエ変換型
の干渉分光器を実現することができる。
によれば、一方のミラーを傾け、生じた干渉縞をイメー
ジセンサで受光することにより、光路差を変えるための
ミラーを作動させる必要がなくなり、従って、機構部が
簡素化され、長期的な信頼性を向上させることになり、
安価、小型化にも寄与することができるフーリエ変換型
の干渉分光器を実現することができる。
第１図は本発明に係わるフーリエ変換型の干渉分光器の
一実施例を示す構成図、第２図は従来例を示す図である
。 ２１・・・入射スリット、２２．２６・・・レンズ、２
３・・・ハーフミラ−１４・・・直角からθ０傾けられ
て固定されたミラー １５・・・直角に固定されたミラ
ー、２７・・・出射スリット、１８・・・イメージセン
サ。
一実施例を示す構成図、第２図は従来例を示す図である
。 ２１・・・入射スリット、２２．２６・・・レンズ、２
３・・・ハーフミラ−１４・・・直角からθ０傾けられ
て固定されたミラー １５・・・直角に固定されたミラ
ー、２７・・・出射スリット、１８・・・イメージセン
サ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ２、特許登録請求の範囲 フーリエ変換型の干渉分光器において、一方の光路のミ
ラーを傾け、イメージセンサ上に干渉縞を形成し、この
光の明暗パターンをイメージセンサで時系列の電気信号
に変換し、この電気信号を演算部でフーリエ変換するこ
とにより、入力された光のスペクトルを測定するように
したことを特徴とするフーリエ変換型の干渉分光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29994688A JPH02145927A (ja) | 1988-11-28 | 1988-11-28 | フーリエ変換型干渉分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29994688A JPH02145927A (ja) | 1988-11-28 | 1988-11-28 | フーリエ変換型干渉分光器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02145927A true JPH02145927A (ja) | 1990-06-05 |
Family
ID=17878862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29994688A Pending JPH02145927A (ja) | 1988-11-28 | 1988-11-28 | フーリエ変換型干渉分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02145927A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5504336A (en) * | 1993-05-18 | 1996-04-02 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Spectrofluorometric apparatus for obtaining spectral image information |
| JP2010197359A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Hamamatsu Photonics Kk | 信号波形測定装置及び測定方法 |
| JP2012505421A (ja) * | 2008-10-13 | 2012-03-01 | サントル・ナシオナル・デテュード・スパシアル（セ・エヌ・ウ・エス） | 不規則にサンプリングされた狭帯域信号を復元するプロセス及び機器 |
| WO2012033096A1 (ja) * | 2010-09-08 | 2012-03-15 | 国立大学法人 香川大学 | 分光計測装置及び分光計測方法 |
-
1988
- 1988-11-28 JP JP29994688A patent/JPH02145927A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5504336A (en) * | 1993-05-18 | 1996-04-02 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Spectrofluorometric apparatus for obtaining spectral image information |
| JP2012505421A (ja) * | 2008-10-13 | 2012-03-01 | サントル・ナシオナル・デテュード・スパシアル（セ・エヌ・ウ・エス） | 不規則にサンプリングされた狭帯域信号を復元するプロセス及び機器 |
| JP2010197359A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Hamamatsu Photonics Kk | 信号波形測定装置及び測定方法 |
| WO2012033096A1 (ja) * | 2010-09-08 | 2012-03-15 | 国立大学法人 香川大学 | 分光計測装置及び分光計測方法 |
| JP2012058068A (ja) * | 2010-09-08 | 2012-03-22 | Kagawa Univ | 分光計測装置及び分光計測方法 |
| US8988689B2 (en) | 2010-09-08 | 2015-03-24 | National University Corporation Kagawa University | Spectroscopic measurement device and spectroscopic measurement method |
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