JPH08136345A - 複単色計 - Google Patents

複単色計

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Publication number
JPH08136345A
JPH08136345A JP27621994A JP27621994A JPH08136345A JP H08136345 A JPH08136345 A JP H08136345A JP 27621994 A JP27621994 A JP 27621994A JP 27621994 A JP27621994 A JP 27621994A JP H08136345 A JPH08136345 A JP H08136345A
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JP
Japan
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light
diffraction grating
plane
slit
incident
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Application number
JP27621994A
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English (en)
Inventor
Takao Tanimoto
隆生 谷本
Yukio Tsuda
幸夫 津田
Fumiaki Otagaki
文章 太田垣
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Anritsu Corp
Original Assignee
Anritsu Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 少ない光学部品点数で高い分解能又は広いダ
イナミックレンジが得られ、かつか小型・軽量の複単色
計を得る。 【構成】 入射された入射光２１を平行光に変換するコ
リメータ２２，２３から出力された平行光を、平面鏡２
５が対向する平面回折格子２４に入射させて、複数回回
折させる。そして、複数回の回折を経た回折光を集光器
２６，２７で第１の光学部材２８を介して第１のスリッ
ト２９上に集光させる。第１のスリット２９を通過した
光を第２の光学部材３０てもって集光器の出力位置から
微小距離離れた位置に逆方向に入射させる。集光器から
出力され平面回折格子２４で複数回回折された後の光を
前記コリメータでもって、第３の光学部材３２を介して
第２のスリット３３上に結像させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、外部からの入射光を回
折格子に複数回入射させる複単色計に係わり、特に分光
特性における高い分解能又は広いダイナミックレンジを
維持した状態で装置全体の小型・軽量化を図った複単色
計に関する。
【０００２】
【従来の技術】被測定光の波長特性を測定する分光器と
して複単色計が用いられる。この複単色計は、１つ又は
複数の回折格子に被測定光を複数回入射させることによ
って、分光特性における高い分解能又は広いダイナミッ
クレンジが得られる分光器である。
【０００３】この複単色計は、大きく分けて加分散型複
単色計と差分散型複単色計とに分類される。図５（ａ）
は加分散型複単色計の概略構成を示す上方から見た光系
統図である。
【０００４】外部から入力された被測定光ａは第１のス
リット１を通過して、コリメート鏡２で平行光に変換さ
れる。コリメート鏡２で反射された平行光は第１の回折
格子３へ入射角θで入射する。第１の回折格子３には紙
面に直交する軸方向に多数の格子が刻設されており、角
度θで入射した光は格子で回折されて、回折光が次のカ
メラ鏡４へ入射する。カメラ鏡４にて反射された回折光
は平面鏡５で反射されて第２のスリット６上に焦点を結
ぶ。
【０００５】第２のスリット６によって測定対象波長λ
以外の波長成分（λ±Δλ）が遮断された回折光は平面
鏡７で反射されて、コリメート鏡８で再度平行光に変換
されて第２の回折格子９へ、例えば、第１の回折格子３
に対する入射角と同一の入射角θで入射する。第２の回
折格子９からの回折光は第３のスリット１１へ入射され
る。
【０００６】第１，第２の回折格子３，９を連動して回
動させることによって、最終の第３のスリット１１から
出射される出力光ｂは被測定光ａのうちの回折格子３，
９の回動角度で定まる測定対象波長λのみを有した光と
なる。このように、被測定光を同一入射角θで回折格子
に２回入射させることによって、第３のスリット１１上
における単位波長当りの像の移動量で示される線分散が
倍になるので、出力光ｂの波長特性における中心波長λ
のピーク値から規定レベル（３ｄＢ）低下した位置にお
けるピーク波形の波長幅（バンド幅）で規定される分解
能が大幅に向上する。
【０００７】この場合、分解能は被測定光ａの回折回数
に大きく依存する。図５（ａ）に示す加分散型複単色計
において、分解能は、回折格子が１個の場合に比較し
て、最大２倍となる。
【０００８】一方、差分散型複単色計は図５（ｂ）に示
すように構成されている。被測定光ａは第１のスリット
１を通過して、コリメート鏡２で平行光に変換され第１
の回折格子３ａへ入射する。第１の回折格子３ａから出
射角ψで出力された回折光はカメラ鏡４で反射されたの
ち再度平面鏡５で反射されて２のスリット６上に焦点を
結ぶ。第２のスリット６によって測定対象波長λ以外の
波長成分が遮断された回折光は平面鏡７で反射されて、
コリメート鏡８で再度平行光に変換されて第２の回折格
子９ａへ第１の回折格子３の出射角と同一の入射角ψで
入射する。第２の回折格子９ａからの回折光は第３のス
リット１１へ入射される。
【０００９】このように、第１の回折格子３ａから出射
角ψで出射された回折光を第２の回折格子９ａへ同一角
度ψで入射させることによって、第１の回折格子３ａの
存在に起因して測定対象波長λの両側に発生する迷光を
第２の回折格子９ａで除去できる。分解能は回折格子が
１個の場合と同じであるが、被測定光ａの波長特性をよ
り高いＳ／Ｎ，すなわちより広いダイナミックレンジで
測定できる。
【００１０】具体的には、第３のスリット１１上での回
折像の線分散は非常に小さくなるため第３のスリット１
１を通過した光は集光し易くなる。この場合、ダイナミ
ックレンジはスリットの数に大きく依存する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た加分散型複単色計及び差分散型複単色計においてもま
だ解消すべき次のような課題があった。すなわち、図５
（ａ），図５（ｂ）に示す各複単色計においては、回折
格子とこの回折格子に平行光を入射させるためのコリメ
ート鏡や回折格子から出力された回折光を集光するため
のカメラ鏡及びスリットがそれぞれ２組づつ必要である
ので、光学部品点数が増大する。また、各回折格子の回
動動作を完全に同期させる必要がある。したがって、複
単色計全体の構成が複雑化して、装置全体が大型化する
問題がある。
【００１２】さらに、前述した分解能をさらに高めるた
めには、被測定光の回折格子に対する入射回数を増加す
る必要があるが、この場合、入射回数に比例して光学部
品点が増大するので、装置全体がさらに大型化、複雑化
する問題がある。
【００１３】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
ものであり、同一回折格子に光を複数回入射させること
によって、少ない部品点数で高い分解能又は広いダイナ
ミックレンジを有する複単色計を提供することを目的と
する。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解消するため
に本発明の複単色計においては、外部から入射された入
射光を平行光に変換して出力するコリメータと、コリメ
ータから出力された平行光を分光する平面回折格子と、
平面回折格子に対向配置され、平面回折格子で分光され
た回折光を再度この平面回折格子に入射させて平面回折
格子で複数回の回折を行わせる平面鏡と、複数回の回折
を経て平面回折格子から出力される回折光を集光する集
光器と、集光器から出力された回折光の焦点位置に配設
されたスリットとを備えている。
【００１５】また、別の発明の複単色計においては、上
述した発明の複単色計におけるコリメータ，平面回折格
子、平面鏡、集光器に加えて、集光器から出力された回
折光の光路を変更する第１の光学部材と、第１の光学部
材で光路変更された回折光の焦点位置に配設された第１
のスリットと、第１のスリットを通過した光を集光器の
出力位置から微小距離離れた位置に逆方向に入射させる
第２の光学部材と、集光器から出力され平面回折格子で
複数回回折された後にコリメータからこのコリメータの
焦点位置側へ出力された回折光の光路を変更する第３の
光学部材と、第３の光学部材で光路変更された回折光の
焦点位置に配設された第２のスリットとを備えている。
【００１６】
【作用】このように構成された複単色計においては、外
部から入射した入射光はコリメータで平行光に変換され
たのち平面回折格子に入力される。この平面回折格子に
対向して平面鏡が配設されている。平面回折格子で回折
された回折光は平面鏡で反射されて平面回折格子へ再度
入射される。そして、回折光は平面回折格子で再度回折
される。回折光は平面回折格子と平面鏡との間を行き来
する間に平面回折格子で複数回回折された後、集光器へ
入射される。集光器で集光された回折光は集光器の焦点
位置に配設されたスリット上に結像する。
【００１７】したがって、入射光は１枚の平面回折格子
に対して同一方向から複数回入射する。前述したよう
に、スリット上に集光された回折像の線分散が大きくな
るので分解能が大幅に向上する。この場合、１枚の平面
回折格子と１枚の平面鏡で任意の回数だけ光を回折させ
ることが可能となるので、光学部品点数が特に増大する
ことはない。
【００１８】また、別の発明の複単色計においては、上
述した発明のおける集光器から出力された回折光は第１
の光学部材と第２の光学部材とでもって光路が折り返さ
れて、集光器に対して逆方向から入射する。そして、第
１の光学部材と第２の光学部材との間の集光器の焦点位
置に第１のスリットが配設されている。したがって、こ
の第１のスリットを通過した光が第２の光学部材及び集
光器を逆方向に透過して平面回折格子へ往路とは逆方向
に入射される。
【００１９】そして、この光は前述した入射光の光路
（往光路）の近接光路（復光路）を逆方向に進行する過
程で平面回折格子にて複数回回折されたのち、コリメー
タからこのコリメータの焦点位置側へ出力する。そし
て、第３の光学部材を経てコリメータの焦点位置に配設
された第２のスリット上に結像する。
【００２０】この場合、入射光は最終的に２つのスリッ
トを通過することになるので、広いダイナミックレンジ
が得られる。また、コリメータで第２のスリット上に結
像された光は波長によって分散していない点ビームとな
るためこの第２のスリットの後方に配設された例えば受
光器等による集光が容易となる。
【００２１】なお、第１のスリットを透過した後の光の
光路（復光路）においては、光は往光路の場合と逆方向
に平面回折格子に入射される。したがって、この複単色
計の分解能は１回だけ回折される場合とほぼ同じであ
る。
【００２２】
【実施例】以下本発明の一実施例図面を用いて説明す
る。図１は実施例の複単色計の概略構成を示す模式図で
ある。例えば光ファイバ２０を介して外部から導入され
た入射光２１は第１のシリンドリカルレンズ２２を透過
して第２のシリンドリカルレンズ２３に入射される。前
記光ファイバ２０の先端は第１のシリンドリカルレンズ
２２のほぼ焦点位置に位置している。
【００２３】第２のシリンドリカルレンズ２３を透過し
た光は平面回折格子２４へ入射される。この平面回折格
子２４は図示しない駆動モータ等によって、刻線２４ａ
と平行する回転軸２４ｂ回りに回動される。第２のシリ
ンドリカルレンズ２３からの光は平面回折格子２４の刻
線２４ａに直交する面に対して１０°〜２０°の所定角
度αを有して入射される。
【００２４】また、前記第２のシリンドリカルレンズ２
３は自己の軸心が平面回折格子２４の刻線２４ａに平行
するように位置決めされており、また第１のシリンドリ
カルレンズ２２は自己の軸心が第２のシリンドリカルレ
ンズ２３の軸心に直交するようにう位置決めされてい
る。
【００２５】図２（ａ）は光ファイバ２０，第１，第２
のシリンドリカルレンズ２２，２３及び平面回折格子２
４を上方から見た平面図である。また、図２（ｂ）は各
位置における光路に直交する面からみた光のスポット形
状を示す図である。
【００２６】光ファイバ２０から出力された円形スポッ
ト形状２１ａを有した入射光２１は第１のシリンドリカ
ルレンズ２２で紙面と平行する平面に対して平行光に変
換され、横長の楕円スポット形状２１ｂとなる。そし
て、第２のシリンドリカルレンズ２３で紙面と直交する
平面に対して平行光に変換される。その結果、平面回折
格子２４上においては縦長の楕円スポット形状２１ｃと
なる。
【００２７】よって、第１，第２のシリンドリカルレン
ズ２２，２３は入射光２１を平行光に変換して平面回折
格子２４へ入射させるコリメータを構成する。平面回折
格子２４に対向する位置にこの平面回折格子２４とほぼ
同一面積を有した平面鏡２５が配設されている。そし
て、第２のシリンドリカルレンズ２３から平面回折格子
２４へ入射した光はこの平面回折格子２４で回折され
る。平面回折格子２４の回折光は平面鏡２５に入射され
てこの平面鏡２５で反射されて、再度平面回折格子２４
へ入射される。
【００２８】このように、平面回折格子２４へ入射した
光は、この平面回折格子２４と平面鏡２５との間に形成
される往光路３１ａを通過する過程で、平面回折格子２
４にて複数回回折される。
【００２９】複数回回折された回折光は平面回折格子２
４上における入射側位置とは反対側位置から出力され
る。平面回折格子２４から出力された回折光は、軸心が
第２のシリンドリカルレンズ２３と同一方向に設定され
た第３のシリンドリカルレンズ２６を透過して、軸心が
この第３のシリンドリカルレンズ２６の軸心に対して直
角に設定された第４のシリンドリカルレンズ２７に入射
される。
【００３０】第４のシリンドリカルレンズ２７を透過し
た回折光は第１の光学部材としての第１の鏡（平面鏡）
２８で反射された後、第１のスリット２９上で集光され
る。この第１のスリット２９は第４のシリンドリカルレ
ンズ２７を透過した回折光の焦点位置に配設されてい
る。
【００３１】したがって、第３，第４のシリンドリカル
レンズ２６，２７は平面回折格子２４から出力された回
折光を第１のスリット２９上に集光する集光器を構成す
る。第１のスリット２９を通過した光は第２の光学部材
としての第２の鏡（平面鏡）３０で反射され、再度第４
のシリンドリカルレンズ２７及び第３のシリンドリカル
レンズ２６からなる集光器に入射する。なお、再度第４
のシリンドリカルレンズ２７に対する光の入射位置は最
初にこの第４のシリンドリカルレンズ２７から出力され
る光の出力位置から水平方向に微小距離離れた位置にな
るように、第２の鏡３０の姿勢角が設定されている。
【００３２】よって、第３のシリンドリカルレンズ２６
を透過した光は、平面回折格子２４上で縦長の楕円スポ
ット形状を形成する。平面回折格子２４に入射した光は
先に説明した往光路３１ａに隣接した復光路３１ｂａを
経由して、平面回折格子２４と平面鏡２５との間を行き
来して、平面回折格子２４で往光路３１ａにおける回折
回数と同数だけ回折された後、第２のシリンドリカルレ
ンズ２３方向へ出力される。
【００３３】平面回折格子２４から出力された光は、第
２のシリンドリカルレンズ２３及び第１のシリンドリカ
ルレンズ２２を透過して、第３の光学部材としての第３
の鏡（平面鏡）３２で反射された後、第２のスリット３
３上で結像する。この第２のスリット３３は第１のシリ
ンドリカルレンズ２２を透過した回折光の焦点位置に配
設されている。
【００３４】この第２のスリット３３を通過した光は出
力光３４として図示しない光学系を介して受光器に入射
されて電気信号に変換される。また、この出力光３４の
波長λは平面回折格子２４を刻線２４ａに平行する回転
軸２４ｂを図示いない駆動モータで回転させることによ
って任意に変更可能である。
【００３５】このように構成された複単色計において
は、光ファイバ２０から入射された入射光２１は、第１
のシリンドリカルレンズ２２と第２のシリンドリカルレ
ンズ２３とからなるコリメータを介して平面回折格子２
４へ入射される。平面回折格子２４へ入射された光は往
光路３１ａを経由したのち、平面回折格子２４から出力
されて、第３のシリンドリカルレンズ２６と第４のシリ
ンドリカルレンズ２７とからなる集光器によって第１の
スリット２９上で結像する。
【００３６】そして、この第１のスリット２９を通過し
た光は集光器を介して再度平面回折格子２４へ入射され
る。平面回折格子２４へ入射されたは光は、往光路３１
ａに隣接する復光路３１ｂを経由したのち、平面回折格
子２４から出力されて、コリメータによって第２のスリ
ット３３上に結像する。
【００３７】したがって、入射光２１は平面回折格子２
４と平面鏡２５との間に形成された往光路３１ａにおい
て、平面回折格子２４にて複数回回折されるので、第１
のスリット２９から出力される回折光は、線分散が大き
くなるため高い分解能が得られる。
【００３８】また、光は平面回折格子２４と平面鏡２５
との間に形成された往光路３１ａ及び復光路３１ｂでそ
れぞれ同一回数だけ回折される。この場合、往光路３１
ａと復光路３１ｂとでは平面回折格子２４に対する入射
角度が互い反対方向を向くので、第２のスリット３３か
ら出力される出力光（回折光）３４の線分散は回折がが
１回のみ場合とほぼ同じであるが、符号が異なる同一波
長成分（λ±Δλ）の光がスリットを２回通過している
ので、迷光の少ない広いダイナミックレンジが得られ
る。
【００３９】よって、１つの平面回折格子と１つの平面
鏡２５を用いた簡単な光学的構成を有した複単色計にお
いて、第１のスリット２９の出力光を取出すことによっ
て高い分解能が得られ、第２のスリット３３の出力光３
４を取出すことによって広いダイナミックレンジが得ら
れる。
【００４０】また、前述したように、第３の鏡３０の第
４のシリンドリカルレンズ２７に対する姿勢角を変更す
ることによって、平面回折格子２４と平面鏡２５との間
に形成された往光路３１ａ及び復光路３１ｂの間隔を任
意に設定できる。
【００４１】ここで、実施例装置においては、コリメー
タ及び集光器を、それぞれ軸心が互い直交するように配
設された２本のシリンドリカルレンズ２２，２３，２
６，２７で構成しているので、図２（ｃ）に示すよう
に、平面回折格子２４に対する入射光のスポット形状を
縦長の楕円スポット形状２１ｂにできる。
【００４２】よって、平面回折格子２４に対する入射光
量を低減させることなく、前述した第３の鏡３０の姿勢
角を調整することによって、往光路３１ａのスポットと
復光路３１ｂのスポットとの間隔を通常の円形スポット
どうしに比較して、大幅に狭く設定できる。
【００４３】その結果、往光路３１ａと復光路３１ｂと
の間の光路差に起因する色収差等の測定誤差を圧縮でき
ると共に、同一回折回数を得る場合おいて平面回折格子
２４及び平面鏡２５の軸方向寸法を小さく設定でき、装
置全体をさらに小型・軽量に形成することが可能であ
る。
【００４４】また、平面回折格子２４による回折回数が
増大しても光学部品点数は増大することはない。さら
に、従来の装置に比較して、複数回の回折を行う平面回
折格子２４と平面鏡２５との間隔を短く設定することに
より往光路３１ａ及び復光路３１ｂの光路長を短縮でき
るので光軸の安定性が向上する。
【００４５】また、光路中に存在する光学部品数を増加
する必要がないため部品の損失が少なく、部品によって
生じる収差の影響が少ない。図３は本発明の他の実施例
に係わる複単色計の概略構成を示す模式図である。図１
に示す実施例の複単色計と同一部分には同一符号を付し
て重複する部分の詳細説明を省略する。
【００４６】この実施例複単色計においては、図１の複
単色計におけるコリメータを軸心が互いに直交するよう
に配設された第１の放物面柱鏡３５及び第２の放物面柱
鏡３６で構成し、集光器を同じく軸心が互いに直交する
ように配設された第３の放物面柱鏡３７及び第４の放物
面柱鏡３８で構成している。
【００４７】そして、第１の放物面柱鏡３５及び第４の
放物面柱鏡３８を軸外し放物面柱鏡で構成している。こ
の軸外し放物面柱鏡においては、入射光が必ずしも放物
面の焦点位置を通過しなくても、反射光は焦点を含む面
を通過する平行光となる。
【００４８】このような構成の複単色計においては、光
ファイバ２０から入射した入射光２１は第１の放物面柱
鏡３５で軸に直交する面内（水平方向）の平行光に変換
され、第２の放物面柱鏡３６において、垂直方向の平行
光に変換されて平面回折格子２４に入射される。この場
合においても、第２の放物面柱鏡３６から平面回折格子
２４に入射される光のスポット形状は図２（ｃ）に示す
ように、縦長の楕円スポット形状２１ｃとなる。
【００４９】平面回折格子２４に入射された光は、平面
回折格子２４と平面鏡２５との間に形成された往光路３
１ａを経て、平面回折格子２４から第３の放物面柱鏡３
７へ出力される。第３の放物面柱鏡３７で反射された回
折光は第４の放物面柱鏡３８及び第１の鏡２８を経て第
１のスリット２９上に結像する。
【００５０】第１のスリット２９を通過して第３の鏡３
０で折返された光は再度第４．第３の放物面柱鏡３８，
３７を介して平面回折格子２４に入射される。平面回折
格子２４に入射された光は、復往光路３１ｂを経て、第
２の放物面柱鏡３５へ出力される。第２の放物面柱鏡３
６で反射された回折光は第１の放物面柱鏡３５及び第３
の鏡３２を経て第２のスリット３３上に結像する。
【００５１】このように構成された複単色計において
も、光は平面回折格子２４と平面鏡２５との間に形成さ
れた往光路３１ａ，復光路３１ｂを通過する過程で複数
回回折され、かつ第１，第２のスリット２９，３３を通
過する。よって、図１に示す実施例の複単色計とほぼ同
じ効果が得られる。
【００５２】図４は本発明のさらに別の実施例に係わる
複単色計の概略構成を示す模式図である。図１に示す実
施例の複単色計と同一部分には同一符号を付して重複す
る部分の詳細説明を省略する。
【００５３】この実施例の複単色計においては、図１の
複単色計における復光路３１ｂを構成するための各光学
部材が除去されている。光ファイバ２０から入射した入
射光２１は第１のシリンドリカルレンズ２２及び第２の
シリンドリカルレンズ２３で平行光に変換されて平面回
折格子２４へ入射される。平面回折格子２４に入射され
た光は、平面回折格子２４と平面鏡２５との間に形成さ
れた往光路３１ａを経て、平面回折格子２４から第３の
シリンドリカルレンズ２６へ出力される。第３のシリン
ドリカルレンズ２６を透過した回折光は第４のシリンド
リカルレンズ２７を経て、この第４のシリンドリカルレ
ンズ２７の焦点位置に配設されたスリット（第１のスリ
ット２９）上に結像する。
【００５４】このように構成された複単色計において
は、入射光２１は平面回折格子２４と平面鏡２５との間
に形成された往光路３１ａを通過する過程で複数回回折
される。よって、第１のスリット２９を通過した出力光
３８の分解能を大幅に向上できる。
【００５５】なお、本発明は上述した各実施例に限定さ
れるものではない。例えば、実施例においては、第１〜
第３の光学部材に鏡を採用したが、例えばプリズム等の
光路を変更する他の光学部材であってもよい。
【００５６】
【発明の効果】以上説明したように本発明の複単色計に
おいては、平面回折格子の対向位置に平面鏡を配設し、
平面回折格子と平面鏡との間を２方向に行き来する往光
路と復光路とを形成し、光が各光路を通過する過程で複
数回の回折を実行し、かつ光のの折り返し点にスリツト
を配設している。
【００５７】往光路を通過した光を取り出すことによっ
て、光学部品点数を増加すことなく、高い分解能が得ら
れれ、かつ往光路，復光路，及び各スリットを通過した
光を取り出すことによって、広いダイナミックレンジが
得られる。よって、加分散型と差分散型の両方の長所で
ある高い分解能と広いダイナミックレンジを有する小型
・軽量の複単色計を提供できた。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一実施例に係わる複単色計の概略構
成を示す模式図
【図２】 同実施例の入射光の各位置におけるスポット
形状を示す図
【図３】 本発明の他の実施例に係わる複単色計の概略
構成を示す模式図
【図４】 本発明のさらに別の実施例に係わる複単色計
の概略構成を示す模式図
【図５】 従来の加分散型複単色計及び差分散型複単色
計の概略構成を示す模式図
【符号の説明】
２０…光ファイバ、２１…入射光、２２…第１のシリン
ドリカルレンズ、２３…第２のシリンドリカルレンズ、
２４…平面回折格子、２５…平面鏡、２６…第３のシリ
ンドリカルレンズ、２７…第の４シリンドリカルレン
ズ、２８…第１の鏡、２９…第１のスリット、３０…第
２の鏡、３１ａ…往光路、３１ｂ…復光路、３２…第３
の鏡、３３…第２のスリット、３４，３９…出力光、３
５…第１の放物面柱鏡、３６…第２の放物面柱鏡、３７
…第３の放物面柱鏡、３８…第４の放物面柱鏡

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 外部から入射された入射光を平行光に変
    換して出力するコリメータ(22,23) と、 このコリメータから出力された平行光を分光する平面回
    折格子(24)と、 この平面回折格子に対向配置され、前記平面回折格子で
    分光された回折光を再度この平面回折格子に入射させて
    前記平面回折格子で複数回の回折を行わせる平面鏡(25)
    と、 前記複数回の回折を経て前記平面回折格子から出力され
    る回折光を集光する集光器(26,27) と、 この集光器から出力された回折光の焦点位置に配設され
    たスリット(29)とを備えた複単色計。
  2. 【請求項２】 外部から入射された入射光を平行光に変
    換して出力するコリメータ(22,23) と、 このコリメータから出力された平行光を分光する平面回
    折格子(24)と、 この平面回折格子に対向配置され、前記平面回折格子で
    分光された回折光を再度この平面回折格子に入射させて
    前記平面回折格子で複数回の回折を行わせる平面鏡(25)
    と、 前記複数回の回折を経て前記平面回折格子から出力され
    る回折光を集光する集光器(26,27) と、 この集光器から出力された回折光の光路を変更する第１
    の光学部材(28)と、 この第１の光学部材で光路変更された回折光の焦点位置
    に配設された第１のスリット(29)と、 この第１のスリットを通過した光を前記集光器の出力位
    置から微小距離離れた位置に逆方向に入射させる第２の
    光学部材(30)と、 前記集光器から出力され前記平面回折格子で複数回回折
    された後に前記コリメータからこのコリメータの焦点位
    置側へ出力された回折光の光路を変更する第３の光学部
    材(32)と、 この第３の光学部材で光路変更された回折光の焦点位置
    に配設された第２のスリット(33)とを備えた複単色計。
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