JPH04220537A - ２元分光計 - Google Patents
２元分光計Info
- Publication number
- JPH04220537A JPH04220537A JP3053176A JP5317691A JPH04220537A JP H04220537 A JPH04220537 A JP H04220537A JP 3053176 A JP3053176 A JP 3053176A JP 5317691 A JP5317691 A JP 5317691A JP H04220537 A JPH04220537 A JP H04220537A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- binary
- spectrometer
- reflected
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 title description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 44
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 15
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 7
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 4
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 abstract description 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
- G01J3/1809—Echelle gratings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/02—Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system
- G02B17/06—Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror
- G02B17/0605—Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror using two curved mirrors
- G02B17/0621—Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror using two curved mirrors off-axis or unobscured systems in which not all of the mirrors share a common axis of rotational symmetry, e.g. at least one of the mirrors is warped, tilted or decentered with respect to the other elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
- G01J2003/1814—Double monochromator
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Lenses (AREA)
- Inert Electrodes (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は２元分光計に関するも
のであり、さらに詳しくは孔に入射した分析されるべき
光が段状格子 （ｅｃｈｅｌｌｅ ｇｒａｔｉｎｇ）に
よる交差分散にさらされて反射光学方式により該孔が分
散光パターンの形で焦面に投影されるような２元分光計
に関するものである。
のであり、さらに詳しくは孔に入射した分析されるべき
光が段状格子 （ｅｃｈｅｌｌｅ ｇｒａｔｉｎｇ）に
よる交差分散にさらされて反射光学方式により該孔が分
散光パターンの形で焦面に投影されるような２元分光計
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】分光計としては単光路方式のものと複光
路方式のものとがある。単光路方式のものとしては例え
ばビルホーンその他による論文が「応用分光学」第４１
巻第７号１１２５〜１１３５頁（１９８７年）および同
第４３巻第１号１〜１１頁（１９８９年）に発表されて
いる。また複光路方式のものとしては例えばトビアスに
よる特許出願第４５０，０２７号（１９８９年１２月１
３日付で出願）がある。
路方式のものとがある。単光路方式のものとしては例え
ばビルホーンその他による論文が「応用分光学」第４１
巻第７号１１２５〜１１３５頁（１９８７年）および同
第４３巻第１号１〜１１頁（１９８９年）に発表されて
いる。また複光路方式のものとしては例えばトビアスに
よる特許出願第４５０，０２７号（１９８９年１２月１
３日付で出願）がある。
【０００３】ビルホーンのものにあっては、光源から投
影面までの間の単一光路に段状格子とプリズムが設けら
れており、これにより交差分散が起きる。さらにシュミ
ットカメラが設けられていて、焦面投影のサイズを減少
させて２次元検知子列の寸法に合うようにしてある。ま
たトビアスのものにあっては焦面に段状格子と２次元検
知子列を配置してある。
影面までの間の単一光路に段状格子とプリズムが設けら
れており、これにより交差分散が起きる。さらにシュミ
ットカメラが設けられていて、焦面投影のサイズを減少
させて２次元検知子列の寸法に合うようにしてある。ま
たトビアスのものにあっては焦面に段状格子と２次元検
知子列を配置してある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ビルホーンのものは光
学速度が遅くしかも構造的に大型で高価であるという欠
点がある。トビアスのものはカタジオプティック （ｃ
ａｔａｄｉｏｐｔｉｃ）を視準器として用いかつ種々の
２元分散分光器の複路にカメラを用いることによりこれ
らの欠点を除いている。また光学繊維を入光孔として分
光計の中心光軸上に投影面における２元検知子列に近接
するか中心に挿入するかして配置することにより収差効
果を小さく押さえている。しかしいずれにしても色彩収
差の問題がある。この発明は、小型で、安価でしかも色
彩収差のない分光計を提供することを目的とし、さらに
従来技術に比べて非点収差を小さくし、分解能を高度に
し、かつ波長域を広くすることを目的とする。
学速度が遅くしかも構造的に大型で高価であるという欠
点がある。トビアスのものはカタジオプティック （ｃ
ａｔａｄｉｏｐｔｉｃ）を視準器として用いかつ種々の
２元分散分光器の複路にカメラを用いることによりこれ
らの欠点を除いている。また光学繊維を入光孔として分
光計の中心光軸上に投影面における２元検知子列に近接
するか中心に挿入するかして配置することにより収差効
果を小さく押さえている。しかしいずれにしても色彩収
差の問題がある。この発明は、小型で、安価でしかも色
彩収差のない分光計を提供することを目的とし、さらに
従来技術に比べて非点収差を小さくし、分解能を高度に
し、かつ波長域を広くすることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】第１の発明においては、
入射孔からの入射光線が第２の鏡を経て第１の鏡に至る
光路に沿って進み、第１の鏡からの反射光線がこれと直
交する２元分光光学装置に入り、 この２元分光光学
装置により反射された２元分光光線が第１と第２の鏡と
を経て入射孔を含む焦面に進み、かつこの焦面の２元検
知子中の少なくとも一部の検知子が前記の光路に光学的
に近接してしかも反射された２元分光光線に対面してい
ることを要旨とする。第２の発明においては、光線を所
定の光路に沿って進ませるための入射孔と、この光路を
２回屈折させるための第１と第２の鏡を具えてかつ２回
反射された光線の視準光線を形成する反射／強制システ
ムと、視準光線と直交する２元分光光学装置とが設けら
れており、この２元分光光学装置により反射された２元
分光光線が第１と第２の鏡とを経て入射孔を含む焦面に
進み、かつこの焦面の２元検知子中の少なくとも一部の
検知子が前記の光路に光学的に近接してしかも反射され
た２元分光光線に対面していることを要旨とする。
入射孔からの入射光線が第２の鏡を経て第１の鏡に至る
光路に沿って進み、第１の鏡からの反射光線がこれと直
交する２元分光光学装置に入り、 この２元分光光学
装置により反射された２元分光光線が第１と第２の鏡と
を経て入射孔を含む焦面に進み、かつこの焦面の２元検
知子中の少なくとも一部の検知子が前記の光路に光学的
に近接してしかも反射された２元分光光線に対面してい
ることを要旨とする。第２の発明においては、光線を所
定の光路に沿って進ませるための入射孔と、この光路を
２回屈折させるための第１と第２の鏡を具えてかつ２回
反射された光線の視準光線を形成する反射／強制システ
ムと、視準光線と直交する２元分光光学装置とが設けら
れており、この２元分光光学装置により反射された２元
分光光線が第１と第２の鏡とを経て入射孔を含む焦面に
進み、かつこの焦面の２元検知子中の少なくとも一部の
検知子が前記の光路に光学的に近接してしかも反射され
た２元分光光線に対面していることを要旨とする。
【０００６】
【作用】入射孔からの入射光線が第１と第２の鏡により
２回曲折反射されて２元分散光学装置に至り、これによ
り反射された交差分散光線がさらに第１と第２の鏡によ
り２回曲折反射されて焦面に至る。
２回曲折反射されて２元分散光学装置に至り、これによ
り反射された交差分散光線がさらに第１と第２の鏡によ
り２回曲折反射されて焦面に至る。
【０００７】
【実施例】上記したようにこの発明においては分散光学
と組合せてただ２個の反射面の複路を用いており、２個
の反射面は伸縮式システムを有している。この理由から
これらの反射面を第１の鏡１０と第２の鏡１１と呼ぶこ
とにする。これらの鏡はそれぞれの回転軸１２および１
３について偏心している。分析されるべき入射光は入射
孔１５において軸１４に上（幾何面１６中の１点として
）にあり、その後鏡１０、１１により反射されて回転軸
１３と理論的に平行な視準光線となり、この視準光線の
分散にプリズム１７と格子１８（好ましくは段状格子）
とが関わってくるのである。
と組合せてただ２個の反射面の複路を用いており、２個
の反射面は伸縮式システムを有している。この理由から
これらの反射面を第１の鏡１０と第２の鏡１１と呼ぶこ
とにする。これらの鏡はそれぞれの回転軸１２および１
３について偏心している。分析されるべき入射光は入射
孔１５において軸１４に上（幾何面１６中の１点として
）にあり、その後鏡１０、１１により反射されて回転軸
１３と理論的に平行な視準光線となり、この視準光線の
分散にプリズム１７と格子１８（好ましくは段状格子）
とが関わってくるのである。
【０００８】格子１８により反射された光線はプリズム
１７を通る際に交差分散（２元分光ともいう）され、そ
の後交差分散された光線は鏡１０、１１により反射され
て入射孔１５を含む幾何面１６に焦点される。回折投影
の検知を容易とするために平らな曲折鏡１９が設けられ
ていて、これが回折映像（焦点）を面１６からそれさせ
て、適宜な検知子列２１の平らな放射感応面２０にシス
テムの側部で回折映像を焦点させる。
１７を通る際に交差分散（２元分光ともいう）され、そ
の後交差分散された光線は鏡１０、１１により反射され
て入射孔１５を含む幾何面１６に焦点される。回折投影
の検知を容易とするために平らな曲折鏡１９が設けられ
ていて、これが回折映像（焦点）を面１６からそれさせ
て、適宜な検知子列２１の平らな放射感応面２０にシス
テムの側部で回折映像を焦点させる。
【０００９】放射感応面２０としては１ｃｍ平方当たり
１０６ 個位の要素から構成される２元感光列装置を用
いるのが望ましい。そのような装置としては例えばテキ
サスインスツルメント社の製品などがある。またこれら
全ての要素に同時に反応する電子的手段としては適宜公
知のものを用いればよい。
１０６ 個位の要素から構成される２元感光列装置を用
いるのが望ましい。そのような装置としては例えばテキ
サスインスツルメント社の製品などがある。またこれら
全ての要素に同時に反応する電子的手段としては適宜公
知のものを用いればよい。
【００１０】第２の鏡１１は円錐面を有した偏心片でそ
の回転軸１３について回転する。円錐面としては双曲線
形状のものを用いると、その製造とテストが全体のシス
テムとは独立にできるので好都合である。同様に第１の
鏡１０もその回転軸１２について回転する対称な面を有
しており、その球面度は少なくとも４、好ましくは８位
のものを用いる。またその回転軸１２は回転軸１３、１
４と同じ幾何面内にあり、また回転軸１２、１３は分散
系への入口において１０度位の交差角度αで交差してい
る。
の回転軸１３について回転する。円錐面としては双曲線
形状のものを用いると、その製造とテストが全体のシス
テムとは独立にできるので好都合である。同様に第１の
鏡１０もその回転軸１２について回転する対称な面を有
しており、その球面度は少なくとも４、好ましくは８位
のものを用いる。またその回転軸１２は回転軸１３、１
４と同じ幾何面内にあり、また回転軸１２、１３は分散
系への入口において１０度位の交差角度αで交差してい
る。
【００１１】このような複反射反射システムにより、必
要な全長はほぼ焦点距離の１／２となる。すなわち２個
の鏡１０、１１を具えたシステムの焦点距離が１７５ｍ
ｍ、焦点比がｆ／１０で視野が６度との場合、全体は全
長約１０ｃｍ位のパッケージに納まり、交差角度αは１
０度位となる。入射孔１５を設けたことも屈折鏡１９を
設けたこと内部の光路と干渉するものではない。また色
彩収差もなく、回折が８００ｎｍに限定された場合、１
７０〜８００ｎｍの広いスペクトル領域に亘って２元ス
ペクトル映像が得られる。しかもこのスペクトル映像は
チャージ投影装置（ＣＩＤ）やチャージ結合装置（ＣＣ
Ｄ）やフォトダイオード列（ＰＤＡ）や映像管（レチコ
ン、ビデコンなど）などの小さくて平坦な２元列検知子
上に焦点されるのである。なお以上挙げた数値、例えば
焦点距離１７５ｍｍなども飽く迄例示に過ぎないもので
ある。
要な全長はほぼ焦点距離の１／２となる。すなわち２個
の鏡１０、１１を具えたシステムの焦点距離が１７５ｍ
ｍ、焦点比がｆ／１０で視野が６度との場合、全体は全
長約１０ｃｍ位のパッケージに納まり、交差角度αは１
０度位となる。入射孔１５を設けたことも屈折鏡１９を
設けたこと内部の光路と干渉するものではない。また色
彩収差もなく、回折が８００ｎｍに限定された場合、１
７０〜８００ｎｍの広いスペクトル領域に亘って２元ス
ペクトル映像が得られる。しかもこのスペクトル映像は
チャージ投影装置（ＣＩＤ）やチャージ結合装置（ＣＣ
Ｄ）やフォトダイオード列（ＰＤＡ）や映像管（レチコ
ン、ビデコンなど）などの小さくて平坦な２元列検知子
上に焦点されるのである。なお以上挙げた数値、例えば
焦点距離１７５ｍｍなども飽く迄例示に過ぎないもので
ある。
【００１２】また以上述べた複路内部反射分光計には種
々の変更を加えることができる。例えば単オーダの段状
格子スペクトルグラフを与えるには、回転軸１３に直交
する軸２５についてプリズム１７を回転するようにすれ
ばよく、この場合放射感応面２０に当った光線は異なる
スペクトルの単オーダーのみから構成され、これはプリ
ズム１７と回折格子１８とにより定まるものである。こ
こで矢印２６は格子１８により分散される入射光のスペ
クトルオーダーを選択するための回転を示すものである
。この図では面２０における検知子の列はフォトダイオ
ードまたはチャージ結合装置またはチャージ投影装置な
どの列で構成される。いずれにせよ検知子の応答は回折
光スペクトルの単オーダーのみとなる。
々の変更を加えることができる。例えば単オーダの段状
格子スペクトルグラフを与えるには、回転軸１３に直交
する軸２５についてプリズム１７を回転するようにすれ
ばよく、この場合放射感応面２０に当った光線は異なる
スペクトルの単オーダーのみから構成され、これはプリ
ズム１７と回折格子１８とにより定まるものである。こ
こで矢印２６は格子１８により分散される入射光のスペ
クトルオーダーを選択するための回転を示すものである
。この図では面２０における検知子の列はフォトダイオ
ードまたはチャージ結合装置またはチャージ投影装置な
どの列で構成される。いずれにせよ検知子の応答は回折
光スペクトルの単オーダーのみとなる。
【００１３】さらに図１の複路内部反射装置は予分散を
有した単オーダースペクトルグラフとすることができる
。この場合図２に示すようにプリズム１７は外部予分散
器３０により置き換えられる。この外部予分散器として
はバンドパスフィルター、インターフェロメーター、ワ
イドパス格子モノクロメーター、プリズムモノクロメー
タなどが用いられる。この予分散器３０は段状格子に入
射して回折されるスペクトルオーダーを選択するもので
ある。ノブ３０’は予分散器３０において観察する選択
スペクトルオーダーを調節するためのものである。感応
面２０の列は前記の場合と同様な要素で構成する。
有した単オーダースペクトルグラフとすることができる
。この場合図２に示すようにプリズム１７は外部予分散
器３０により置き換えられる。この外部予分散器として
はバンドパスフィルター、インターフェロメーター、ワ
イドパス格子モノクロメーター、プリズムモノクロメー
タなどが用いられる。この予分散器３０は段状格子に入
射して回折されるスペクトルオーダーを選択するもので
ある。ノブ３０’は予分散器３０において観察する選択
スペクトルオーダーを調節するためのものである。感応
面２０の列は前記の場合と同様な要素で構成する。
【００１４】さらに図３に示す変化態様にあっては、プ
リズム１７は回転軸１３に対して直交する軸２５につい
て回転するように架設し、段状格子１８は回転軸１３に
対して直交しかつ軸２５に対しても直交する軸３１に対
して回転するように架設したものである。この軸３１は
矢印３２で示すように選択的に調整可能である。図３に
おいて出射孔３３は入射孔１５と重複しており、装置の
焦面１６中に位置している。この出射孔３３は図３の面
と直交する方向に延在しており、その後ろに位置するフ
ォト検知子３４に露光されるスペクトル分散を定めるも
のである。
リズム１７は回転軸１３に対して直交する軸２５につい
て回転するように架設し、段状格子１８は回転軸１３に
対して直交しかつ軸２５に対しても直交する軸３１に対
して回転するように架設したものである。この軸３１は
矢印３２で示すように選択的に調整可能である。図３に
おいて出射孔３３は入射孔１５と重複しており、装置の
焦面１６中に位置している。この出射孔３３は図３の面
と直交する方向に延在しており、その後ろに位置するフ
ォト検知子３４に露光されるスペクトル分散を定めるも
のである。
【００１５】上記のように鏡１０、１１に基づいた光学
的構造は種々の目的に使用されるものである。双曲面状
の第２の鏡は次の数式１により定められる。
的構造は種々の目的に使用されるものである。双曲面状
の第２の鏡は次の数式１により定められる。
【数１】
ここで ＣＵＲＶ＝０．００２５８４５５Ｋ
＝−２１．２５０ である。
＝−２１．２５０ である。
【００１６】また球面状の第１の鏡は次の数式２により
定められる
定められる
【数２】
ここで ＣＵＲＶ＝−０．００１６６０５５
Ａ＝−２．８５９４３×１０−８ Ｂ＝９．９１４６８×１０−１２ Ｃ＝−２．０８６０１×１０−１５ である。
Ａ＝−２．８５９４３×１０−８ Ｂ＝９．９１４６８×１０−１２ Ｃ＝−２．０８６０１×１０−１５ である。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複光路方式を採用したことにより、色彩収差や非点収差
などの問題なしに全体の構造が小型化された。
複光路方式を採用したことにより、色彩収差や非点収差
などの問題なしに全体の構造が小型化された。
【図１】この発明の２元分光計の一例の光路を示す説明
図である。
図である。
【図２】この発明の２元分光計の他の例の光路を示す説
明図である。
明図である。
【図３】この発明の２元分光計の他の例の光路を示す説
明図である。
明図である。
１０ 第１の鏡
１１ 第２の鏡
１５ 入射孔
１６ 焦面
１７ プリズム
１８ 格子
１９ 曲折鏡
２０ 放射感応面
２１ 検知子列
３０ 予分散器
３３ 出射孔
Claims (21)
- 【請求項１】 入射孔からの入射光線が第２の鏡を経
て第１の鏡に至る光路に沿って進み、第１の鏡からの反
射光線がこれと直交する２元分光光学装置に入り、この
２元分光光学装置により反射された２元分光光線が第１
と第２の鏡とを経て入射孔を含む焦面に進み、かつこの
焦面の２元検知子中の少なくとも一部の検知子が前記の
光路に光学的に近接してしかも反射された２元分光光線
に対面していることを特徴とする２元分光計。 - 【請求項２】 光線を所定の光路に沿って進ませるた
めの入射孔と、この光路を２回屈折させるための第１と
第２の鏡を具えてかつ２回反射された光線の視準光線を
形成する反射／強制システムと、視準光線と直交する２
元分光光学装置とを有し、この２元分光光学装置により
反射された２元分光光線が第１と第２の鏡とを経て入射
孔を含む焦面に進み、かつこの焦面の２元検知子中の少
なくとも一部の検知子が前記の光路に光学的に近接して
しかも反射された２元分光光線に対面していることを特
徴とする２元分光計。 - 【請求項３】 前記の光路に対して傾斜した平らな鏡
が入射孔と第２の鏡との間で反射された２元分散光線を
入射方向と交差する方向に曲折させることを特徴とする
請求項１または２に記載の分光計。 - 【請求項４】 前記の第２の鏡が視準光線と平行な軸
について回転する双曲線状面の一部であることを特徴と
する請求項１または２に記載の分光計。 - 【請求項５】 前記の第２の鏡が視準光線の中心軸と
一線をなす軸について回転する双曲線状面の一部である
ことを特徴とする請求項１または２に記載の分光計。 - 【請求項６】 前記の第１の鏡が高度な球面の一部で
あって、その度が少なくとも４であり、この球面が視準
光線の軸に対して傾斜する軸についての回転面でありか
つ入射時における前期光路により定まる幾何面中にある
ことを特徴とする請求項１または２に記載の分光計。 - 【請求項７】 第２の鏡へのおよび第２の鏡から第１
の鏡へのおよび視準光線に沿っての光路の中心軸が単一
の幾何面中に位置することを特徴とする請求項１または
２に記載の分光計。 - 【請求項８】 前記の分散光学装置が視準光線お方向
と交差する軸について回転するように架設された要素を
有していることを特徴とする請求項１または２に記載の
分光計。 - 【請求項９】 前記の分散光学装置がプリズムと段状
格子とを有していることを特徴とする請求項１または２
に記載の分光計。 - 【請求項１０】 前記の分散光学装置が交差反射格子
であるとを特徴とする請求項１または２に記載の分光計
。 - 【請求項１１】 伸縮式システムが外部入射瞳孔と該
瞳孔に位置する２元分散光学システムとを具えており、
該伸縮式システムが偏心状の第１の鏡と偏心状の円錐状
の第２の鏡とを有しており、第１の鏡に入射してかつ両
鏡により連続的に反射される視準光線のために第２の鏡
の後に焦面が設けられており、両鏡間におけるポテンシ
ャル干渉なしに焦面の少なくとも一部をを与えるように
第２の鏡からの軸に対してその軸が重複しており、入射
孔を経て入射して第２と第１の鏡により連続反される光
線のための焦点面中の入射孔が第１の鏡による反射の際
に該光線を視準光線に変換し、２元分散光学システムが
２元分散された光線を第１の鏡と第２の鏡に反射し返し
て焦面中に焦点させるように視準光線中に位置されてお
り、焦点面中には多要素検知子列が設けられていること
を特徴とする広スペクトル域平視野複光路分光計。 - 【請求項１２】 前記の多要素検知子列が写真フィル
ム、フォトダイオード列、チャージ投影装置、チャージ
結合装置、ビデコンカメラのいずれかであることを特徴
とする請求項１１に記載の分光計。 - 【請求項１３】 前記の第２の鏡の円錐状面が双曲線
状面であって、偏心軸について回転する双曲円形状によ
り定まることを特徴とする請求項１１に記載の分光計。 - 【請求項１４】 前記の第１の鏡が４度以上の高度球
面であることを特徴とする請求項１３に記載の分光計。 - 【請求項１５】 少なくとも８度以上であることを特
徴とする請求項１４に記載の分光計。 - 【請求項１６】 前記の分散光学装置がプリズムと段
状格子とを有しており、これらの内いずれかが視準光線
と方向と交差する軸について回転可能であることを特徴
とする請求項１または２に記載の分光計。 - 【請求項１７】 前記の分散光学装置がプリズムと段
状格子とを有しており、これらがともに視準光線と方向
と交差する軸について回転可能であり、両軸が直交して
いることを特徴とする請求項１または２に記載の分光計
。 - 【請求項１８】 入射孔からの入射光線が第２の鏡を
経て第１の鏡に至る光路に沿って進みさらに第１の鏡に
おいて反射されて視準光線となってこれに直交する段状
格子に至り、該格子により反射された分散光線が第１と
第２の鏡を経て入射孔を含む焦面に至り、予分散器が設
けられて入射孔を介して上記の光路に入った光線を分散
し、この予分散器が入射孔に入った光線のスペクトルオ
ーダーを定め、焦面には単元多要素検知子列が設けられ
て、反射し返された光線の少なくとも一部に光学的に対
面していることを特徴とする分光計。 - 【請求項１９】 前記の予分散器が入射孔に入ったス
ペクトルオーダーを選択する調整手段を有していること
を特徴とする請求項１８に記載野分光計。 - 【請求項２０】 前記の予分散器がバンドパスフィル
ター、インターフェロメーター、ワイドパス格子モノク
ロメーター、プリズムモノクロメータ のいずれかで
あることを特徴とする請求項１８に記載の分光計。 - 【請求項２１】 前記の検知子列が検知子要素の線型
列であって、フォトダイオード、チャージ結合装置、チ
ャージ投影装置のいずれかであることを特徴とする請求
項１８に記載の分光計。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/488,293 US4995721A (en) | 1990-03-05 | 1990-03-05 | Two-dimensional spectrometer |
| US488293 | 1990-03-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04220537A true JPH04220537A (ja) | 1992-08-11 |
Family
ID=23939139
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3053176A Withdrawn JPH04220537A (ja) | 1990-03-05 | 1991-02-26 | ２元分光計 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4995721A (ja) |
| EP (1) | EP0445934B1 (ja) |
| JP (1) | JPH04220537A (ja) |
| AT (1) | ATE122144T1 (ja) |
| DE (1) | DE69109352T2 (ja) |
| ES (1) | ES2071208T3 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021521459A (ja) * | 2018-05-07 | 2021-08-26 | ペルキネルマー ヘルス サイエンシーズ， インコーポレイテッド | 分光計及びそれらを含む機器 |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4118760A1 (de) * | 1991-06-06 | 1992-12-10 | Zentralinstitut Fuer Optik Und | Echelle-doppelmonochromator |
| FR2687471B1 (fr) * | 1992-02-18 | 1994-07-01 | Centre Nat Rech Scient | Dispositif de spectrographie. |
| US5589717A (en) * | 1993-01-11 | 1996-12-31 | Instruments Sa, Inc. | Compact spectrum analyzer module |
| DE4337660A1 (de) * | 1993-11-04 | 1995-05-11 | Deutsche Aerospace | Prismenspektrometer |
| US5579106A (en) * | 1995-02-21 | 1996-11-26 | Oriel Corporation | Method and apparatus for providing astigmatism-reduced images with spectroscopic instruments |
| US5889588A (en) * | 1996-09-24 | 1999-03-30 | Photon Technology International | Random wavelength access monochromator incorporating coaxial off-axis parabolic OAP reflectors |
| US6181418B1 (en) | 1998-03-12 | 2001-01-30 | Gretag Macbeth Llc | Concentric spectrometer |
| DE10055905B4 (de) | 2000-11-13 | 2004-05-13 | Gesellschaft zur Förderung angewandter Optik, Optoelektronik, Quantenelektronik und Spektroskopie e.V. | Verfahren zur Auswertung von Echelle-Spektren |
| US6678445B2 (en) * | 2000-12-04 | 2004-01-13 | Jds Uniphase Corporation | Dynamic gain flattening filter |
| US6713770B2 (en) * | 2001-01-29 | 2004-03-30 | Cymer, Inc. | High resolution spectral measurement device |
| US6650809B2 (en) * | 2001-02-06 | 2003-11-18 | Metrophotonics Inc. | Multiple band optical multiplexer and demultiplexer |
| TWI245114B (en) * | 2004-10-11 | 2005-12-11 | Ind Tech Res Inst | Apparatus for measuring imaging spectrograph |
| DE102005062232B3 (de) * | 2005-12-22 | 2007-06-14 | Jenoptik Laser, Optik, Systeme Gmbh | Optisches Abbildungssystem zur Wellenfrontprüfung |
| US7692867B2 (en) * | 2007-03-23 | 2010-04-06 | General Electric Company | Enhanced parfocality |
| US20100014082A1 (en) * | 2008-07-18 | 2010-01-21 | Eberhard Loecklin | Angle limiting reflector and optical dispersive device including the same |
| US7782555B1 (en) * | 2009-06-26 | 2010-08-24 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Large optics inspection, tilting, and washing stand |
| EP2884247A1 (en) * | 2013-12-16 | 2015-06-17 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Spectrometer for generating a two dimensional spectrum |
| CN103852167B (zh) * | 2014-01-27 | 2016-03-30 | 烟台东方分析仪器有限公司 | 光谱仪平场全谱接收装置 |
| ITUB20154022A1 (it) * | 2015-09-30 | 2017-03-30 | St Microelectronics Srl | Sistema per accoppiare luce a dispositivi integrati e procedimento corrispondente |
| WO2017121583A1 (de) | 2016-01-14 | 2017-07-20 | Analytik Jena Ag | Spektrometer mit zweidimensionalem spektrum |
| US11092485B2 (en) * | 2018-08-10 | 2021-08-17 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Compact spectrometers and instruments including them |
| US10866139B2 (en) * | 2018-08-10 | 2020-12-15 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Spectrometers with retro-reflective surfaces and related instruments |
| US11009397B2 (en) * | 2018-10-17 | 2021-05-18 | Rigaku Analytical Devices, Inc. | Compact two-dimensional spectrometer |
| US11639874B2 (en) * | 2021-01-08 | 2023-05-02 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Echelle spectrometer |
| JP2023025742A (ja) * | 2021-08-11 | 2023-02-24 | 株式会社ディスコ | 光照射装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE737161C (de) * | 1940-08-17 | 1943-07-07 | Ig Farbenindustrie Ag | Autokollimationsspektralapparat mit Spiegeloptik |
| DE1133152B (de) * | 1957-12-14 | 1962-07-12 | Jarrel Ash Company | Spektrograph |
| US3752585A (en) * | 1971-01-14 | 1973-08-14 | Spectra Metrics Inc | Spectrometer system containing an interchangeable encoding cassette |
| US3929398A (en) * | 1971-08-18 | 1975-12-30 | Harry E Bates | High speed optical wavelength detection system |
| DD260326B5 (de) * | 1987-05-04 | 1993-11-25 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Justierbare echelle-spektrometer-anordnung und verfahren zu dessen justage |
-
1990
- 1990-03-05 US US07/488,293 patent/US4995721A/en not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-02-20 ES ES91301358T patent/ES2071208T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1991-02-20 EP EP91301358A patent/EP0445934B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-02-20 DE DE69109352T patent/DE69109352T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-02-20 AT AT91301358T patent/ATE122144T1/de not_active IP Right Cessation
- 1991-02-26 JP JP3053176A patent/JPH04220537A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021521459A (ja) * | 2018-05-07 | 2021-08-26 | ペルキネルマー ヘルス サイエンシーズ， インコーポレイテッド | 分光計及びそれらを含む機器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69109352T2 (de) | 1995-08-31 |
| DE69109352D1 (de) | 1995-06-08 |
| EP0445934A3 (en) | 1992-01-08 |
| ATE122144T1 (de) | 1995-05-15 |
| EP0445934B1 (en) | 1995-05-03 |
| US4995721A (en) | 1991-02-26 |
| ES2071208T3 (es) | 1995-06-16 |
| EP0445934A2 (en) | 1991-09-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH04220537A (ja) | ２元分光計 | |
| US4634276A (en) | Slit imaging system using two concave mirrors | |
| US5644396A (en) | Spectrograph with low focal ratio | |
| US4984888A (en) | Two-dimensional spectrometer | |
| US10024716B2 (en) | Field lens corrected three mirror anastigmat spectrograph | |
| US5127728A (en) | Compact prism spectrograph suitable for broadband spectral surveys with array detectors | |
| USRE42822E1 (en) | Modified concentric spectrograph | |
| US7436512B2 (en) | Spectroscope | |
| JPH08136345A (ja) | 複単色計 | |
| US4690559A (en) | Optical system for spectral analysis devices | |
| US11169024B2 (en) | Compact freeform echelle spectrometer | |
| JPS6132606B2 (ja) | ||
| US5384656A (en) | Astigmatism corrected gratings for plane grating and spherical mirror spectrographs | |
| JPH0810160B2 (ja) | 結像分光器 | |
| US5066127A (en) | Stigmatic imaging with spherical concave diffraction gratings | |
| JPH02108929A (ja) | 二重分光写真装置 | |
| JP2001108523A (ja) | 分光測定装置 | |
| JPS5919305B2 (ja) | 螢光分光光度計 | |
| JP3141106B2 (ja) | 球面回折格子による収束光入射型分光装置 | |
| JP3245189B2 (ja) | 非点収差補正型分光装置 | |
| JP2005504318A (ja) | 測定装置 | |
| WO1997025915A1 (en) | Methods and apparatus for non-invasive glucose sensing: spectrograph | |
| JPH01314927A (ja) | ２次元像分光装置 | |
| JP2003222556A (ja) | マルチパスモノクロメータ | |
| JP2841554B2 (ja) | 分光器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |