JP3245189B2 - 非点収差補正型分光装置 - Google Patents
非点収差補正型分光装置Info
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Description
用いたいわゆるツェルニターナ型分光装置に関する。よ
り詳細には、その非点収差を容易に補正できるようにし
た分光装置に関する。
れる従来の分光光学系の模式図である(例えば、特開昭
56−37527号公報)。入射スリット1’から入射
した拡散光は第1の凹面鏡2’(反射凹面鏡・コリメー
トミラー)で平行光線となり、反射型回折格子3’で回
折され、各回折スペクトル光は第2の凹面鏡4’(結像
凹面鏡)により受光部5’(ラインセンサ)で結像す
る。図では受光部5’に射出スリットが設けられ、単色
光のみが取り出されている。
学系では、色収差は発生しないが凹面鏡2’、4’に対
して光束が斜めに入射するため、コマ収差及び非点収差
が発生する。これらの収差のうち、非対称収差であるコ
マ収差は、2枚の凹面鏡2’、4’における入射光の方
向がそれぞれにおいて逆方向となることで打ち消される
傾向にあるが、対称収差である非点収差は2枚目の凹面
鏡4’で増幅されて更に大きくなり、回折格子3’の分
光方向(メリディオナル方向)における結像点(結像位
置)に対して、メリディオナル方向に垂直のサジタル方
向の結像点(結像位置)は第2凹面鏡4’から離れる方
向にずれこむことになる。このため、メリディオナル方
向における結像位置に合わせて設置されるラインセンサ
5’の受光面では、各スペクトルはサジタル方向に長い
像(サジタル方向に拡散した結像点群)として受光さ
れ、受光効率の低下を来していた。この状態を示したの
が図5であり、特定波長のスペクトル光における結像点
群は図のように拡散して現れる。
方向に拡散すると受光効率が低下するため、非点収差に
よる光束の拡散を防止する幾つかの試みが既に提案され
ている。例えば特公昭63−41413号公報及び特開
昭57−60232号公報では、回折格子の表面を円筒
面とすることで回折光の拡散を抑制している。また、特
開昭57−54826号公報では、凹面鏡をトーリック
面とすることによって、更に、特開昭58−20863
0号公報及び特開平2−216019号公報では回折格
子のピッチを不等ピッチとすることによって上記欠点を
克服しようとしている。
面や不等ピッチの回折格子や、トーリック面の反射鏡等
は製作が非常に困難である。また、面のパラメータが増
えるためセッティングに誤差を生じやすくその補正も困
難である。
みてなされたものであって、ツェルニターナ型分光光学
系における非点収差を簡便な手段で補正することを目的
とし、このため、入射スリット1からの拡散入射光をコ
リメートミラー2で反射させて平行光束として反射型平
面回折格子3に入射させ、該回折格子3で分光した反射
平行スペクトル光は結像鏡4で反射させて受光ラインセ
ンサ5で結像受光させるものであって、前記拡散入射光
及び前記反射平行スペクトル光はそれぞれ前記コリメー
トミラー2及び前記結像鏡4に対して傾斜して入射さ
せ、前記ラインセンサ5は分光方向の結像点に置かれる
ツェルニターナ型分光装置において、前記結像鏡4から
前記ラインセンサ5に至る光路中には、分光方向に対し
ては屈折力は備えないが前記分光方向と直交する方向に
対しては、前記拡散入射光及び前記反射平行スペクトル
光がそれぞれ前記コリメートミラー2及び前記結像鏡4
に対して傾斜して入射されることで生じる非点収差のみ
を補正し得る正の屈折力を備えた非点収差補正用シリン
ドリカルレンズ6を設けた非点収差補正型分光装置の構
成としたものである。
シリンドリカルレンズ6は前記光路の光軸方向に移動可
能に設けた非点収差補正型分光装置の構成としたもので
ある。
対物レンズ7で集光され、入射スリット1から入射した
発散光は第1の球面反射鏡であるコリメートミラー2で
平行光となり、反射型平面回折格子3に入射する。回折
格子3で反射されたスペクトル光束は第2の球面反射鏡
である結像鏡4で集光され、受光素子であるラインセン
サ5に結像する。回折格子3で反射されたスペクトル光
束は波長によって回折角が異なるため、波長に応じて入
射角の異なった平行光線群として結像鏡4に入射する。
このため像面であるセンサ5では波長によって異なる位
置にスペクトル光を受光することとなる。
ズ6はラインセンサ5の受光素子と結像鏡4の間におか
れ、ラインセンサ5に入射する光を集光する。本願発明
で用いるシリンドリカルレンズ6は、メリディオナル方
向(スペクトル光の分布方向)には屈折力を有さず、こ
の方向では結像鏡4の集光作用に影響を与えないが、メ
リディオナル方向に対して垂直のサジタル方向には正の
屈折力を有する。このサジタル方向の屈折力により、非
点収差の影響で本来ラインセンサ5が設置された位置よ
り遠くにおいて結像するサジタル方向の光束をラインセ
ンサ5の素子上に結像させる。
である。対物レンズ7で集光され、入射スリット1から
射出する拡散光は第1の平面鏡9で鋭角に反射され、コ
リメートミラー2で反射されて平行光となる。平行光は
第2の平面鏡10で反射され、反射型回折格子3で回折
反射される。回折光は結像鏡4で集光され、2次光カッ
トフィルタ8を介して、波長に応じたスペクトル光とし
て一次元ラインセンサ5に入射する。本第2実施例で
は、入射スリット1は第1の折り返しミラーとなる平面
鏡9を介して、また、一次元ラインセンサ5は結像鏡4
を介して、それぞれ第2の折り返しミラーとなる平面鏡
10を中心に内側へたたみこまれた形となっており、非
常にコンパクトな構成となっている。また、光束が長く
取れるとともに光束がクロスすることがないので遮光板
の配置も容易となり、迷光を効果的に防止することも可
能である。
サ5とシリンドリカルレンズ6の配置を示す図である。
シリンドリカルレンズ6はラインセンサ5の中央に入射
するスペクトル光束の光軸に対して垂直に配置されてい
るが、ラインセンサ5は結像鏡4の光軸に対してα度傾
けて取り付けられている。これは結像鏡4が入射光に対
して斜めになっているために生ずる像面湾曲を補正する
ためである。ラインセンサ5を像面の湾曲方向に若干傾
斜させることによって結像点のずれを補正するものであ
る。実施例ではαを5度程度に設定している。
所定距離移動可能に取り付けられている。ラインセンサ
5上への光束の集光状態を調節可能とするためである。
相当する非点収差補正手段を使用していない従来装置
(図1)の作用を示し、ラインセンサで受光されるスペ
クトル光束は非点収差の影響でラインセンサの幅方向
(回折格子のサジタル方向)に拡散している。図6は本
願発明の作用を示し、非点収差を補正できるシリンドリ
カルレンズ6を挿入したことにより、光束のサジタル方
向における拡散が補正され結像点群がラインセンサ5の
中心に集中していることがわかる。
1からの拡散入射光をコリメートミラー2で反射させて
平行光束として反射型平面回折格子3に入射させ、該回
折格子3で分光した反射平行スペクトル光は結像鏡4で
反射させて受光ラインセンサ5で結像受光させるもので
あって、前記拡散入射光及び前記反射平行スペクトル光
はそれぞれ前記コリメートミラー2及び前記結像鏡4に
対して傾斜して入射させ、前記ラインセンサ5は分光方
向の結像点に置かれるツェルニターナ型分光装置におい
て、前記結像鏡4から前記ラインセンサ5に至る光路中
には、分光方向に対しては屈折力は備えないが前記分光
方向と直交する方向に対しては、前記拡散入射光及び前
記反射平行スペクトル光がそれぞれ前記コリメートミラ
ー2及び前記結像鏡4に対して傾斜して入射されること
で生じる非点収差のみを補正し得る正の屈折力を備えた
非点収差補正用シリンドリカルレンズ6を設けた非点収
差補正型分光装置の構成としたため、 従来例のような特
別な回折格子や反射鏡を用いることなく極めて簡単な構
成で、拡散入射光及び反射平行スペクトル光がそれぞれ
コリメートミラー2及び結像鏡4に対して傾斜して入射
されることで生じる非 点収差を補正して良好な集光特性
を得ることができる効果を奏する。また、本発明は、前
記装置において、前記シリンドリカルレンズ6は前記光
路の光軸方向に移動可能に設けた非点収差補正型分光装
置の構成としたため、シリンドリカルレンズ6を光軸方
向に移動させるだけで至極容易に非点収差の補正具合を
調節できると共に、装置毎に設けられるシリンドリカル
レンズ6の屈折力に個体差があってもシリンドリカルレ
ンズ6を光軸方向に移動させるだけで対応できるから、
シリンドリカルレンズ6に厳格な精度は要求されない効
果を奏する。
る。
の配置図である。
ンサの受光状態を示す図である。
る。
…凹面鏡、3、3’…反射型回折格子、4…結像鏡、5
…ラインセンサ、5’…受光部(ラインセンサ)、6…
シリンドリカルレンズ、7…対物レンズ、8…2次光カ
ットフィルタ、9…第1平面鏡、10…第2平面鏡。
Claims (2)
- 【請求項1】 入射スリット1からの拡散入射光をコリ
メートミラー2で反射させて平行光束として反射型平面
回折格子3に入射させ、該回折格子3で分光した反射平
行スペクトル光は結像鏡4で反射させて受光ラインセン
サ5で結像受光させるものであって、前記拡散入射光及
び前記反射平行スペクトル光はそれぞれ前記コリメート
ミラー2及び前記結像鏡4に対して傾斜して入射させ、
前記ラインセンサ5は分光方向の結像点に置かれるツェ
ルニターナ型分光装置において、前記結像鏡4から前記
ラインセンサ5に至る光路中には、分光方向に対しては
屈折力は備えないが前記分光方向と直交する方向に対し
ては、前記拡散入射光及び前記反射平行スペクトル光が
それぞれ前記コリメートミラー2及び前記結像鏡4に対
して傾斜して入射されることで生じる非点収差のみを補
正し得る正の屈折力を備えた非点収差補正用シリンドリ
カルレンズ6を設けた非点収差補正型分光装置。 - 【請求項2】 請求項1において、前記シリンドリカル
レンズ6は前記光路の光軸方向に移動可能に設けた非点
収差補正型分光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10550491A JP3245189B2 (ja) | 1991-05-10 | 1991-05-10 | 非点収差補正型分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP10550491A JP3245189B2 (ja) | 1991-05-10 | 1991-05-10 | 非点収差補正型分光装置 |
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JPH04335122A JPH04335122A (ja) | 1992-11-24 |
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Family
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Family Applications (1)
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JP10550491A Expired - Fee Related JP3245189B2 (ja) | 1991-05-10 | 1991-05-10 | 非点収差補正型分光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3245189B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101523210B1 (ko) * | 2014-07-17 | 2015-05-27 | 삼성탈레스 주식회사 | 볼록 회절 격자를 구비한 분광기를 이용한 수차 분석 장치 |
Families Citing this family (3)
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WO2011137316A2 (en) * | 2010-04-30 | 2011-11-03 | University Of Rochester | Broad band czerny-turner spectrometer, methods, and applications |
JP2014522963A (ja) * | 2011-06-24 | 2014-09-08 | トルネード メディカル システムズ,インコーポレイテッド | アナモルフィックビーム拡張分光器 |
-
1991
- 1991-05-10 JP JP10550491A patent/JP3245189B2/ja not_active Expired - Fee Related
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KR101523210B1 (ko) * | 2014-07-17 | 2015-05-27 | 삼성탈레스 주식회사 | 볼록 회절 격자를 구비한 분광기를 이용한 수차 분석 장치 |
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