JPH0735688A - Ｆｔｉｒを用いた分析方法 - Google Patents
Ｆｔｉｒを用いた分析方法Info
- Publication number
- JPH0735688A JPH0735688A JP19920293A JP19920293A JPH0735688A JP H0735688 A JPH0735688 A JP H0735688A JP 19920293 A JP19920293 A JP 19920293A JP 19920293 A JP19920293 A JP 19920293A JP H0735688 A JPH0735688 A JP H0735688A
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- JP
- Japan
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- data
- interferogram
- ftir
- sampled
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- Pending
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 可動ミラーを唯１回スキャンするだけで複数
個の吸収スペクトルを得られるようにすることにより、
短時間で測定を行うことができるＦＴＩＲを用いた分析
方法を提供すること。 【構成】 インターフェログラムをサンプリング定理に
よる周波数のＮ倍の周波数でサンプリングし、このサン
プリングされたインターフェログラムを、第１番目のデ
ータから始めてＮ−１個おきに抽出して第１のデータグ
ループを作成し、第２番目のデータから始めてＮ−１個
おきに抽出して第２のデータグループを作成し、以下、
同様にしてＮ個のデータグループを作成し、これらのデ
ータグループのそれぞれをＦＦＴしてサンプリング定理
に基づいたＮ個の吸収スペクトルを求め、これらの吸収
スペクトルを積算するようにした。
個の吸収スペクトルを得られるようにすることにより、
短時間で測定を行うことができるＦＴＩＲを用いた分析
方法を提供すること。 【構成】 インターフェログラムをサンプリング定理に
よる周波数のＮ倍の周波数でサンプリングし、このサン
プリングされたインターフェログラムを、第１番目のデ
ータから始めてＮ−１個おきに抽出して第１のデータグ
ループを作成し、第２番目のデータから始めてＮ−１個
おきに抽出して第２のデータグループを作成し、以下、
同様にしてＮ個のデータグループを作成し、これらのデ
ータグループのそれぞれをＦＦＴしてサンプリング定理
に基づいたＮ個の吸収スペクトルを求め、これらの吸収
スペクトルを積算するようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、分析部から出力される
インターフェログラムをフーリエ変換し、このフーリエ
変換によって得られる吸収スペクトルに基づいて測定試
料中に含まれる成分を定性分析したりまたは定量分析す
るＦＴＩＲを用いた分析方法に関する。
インターフェログラムをフーリエ変換し、このフーリエ
変換によって得られる吸収スペクトルに基づいて測定試
料中に含まれる成分を定性分析したりまたは定量分析す
るＦＴＩＲを用いた分析方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】上記ＦＴＩＲは、例えば図４に示すよう
に構成されている。すなわち、この図において、１は分
析部、２はこの分析部１の出力であるインターフェログ
ラムを処理するデータ処理部である。分析部１は、平行
な赤外光を発するように構成された赤外光源３と、ビー
ムスプリッタ４、固定ミラー５、図外の駆動機構によっ
て例えばＸ−Ｙ方向に平行移動してスキャンする可動ミ
ラー６からなる干渉機構７と、測定試料などを収容し、
干渉機構７を介して赤外光源３からの赤外光が照射され
るセル８と、半導体検出器９とから構成されている。
に構成されている。すなわち、この図において、１は分
析部、２はこの分析部１の出力であるインターフェログ
ラムを処理するデータ処理部である。分析部１は、平行
な赤外光を発するように構成された赤外光源３と、ビー
ムスプリッタ４、固定ミラー５、図外の駆動機構によっ
て例えばＸ−Ｙ方向に平行移動してスキャンする可動ミ
ラー６からなる干渉機構７と、測定試料などを収容し、
干渉機構７を介して赤外光源３からの赤外光が照射され
るセル８と、半導体検出器９とから構成されている。
【０００３】そして、データ処理部２は、例えばコンピ
ュータよりなり、インターフェログラムを加算平均し、
その加算平均出力を高速フーリエ変換（Fast Fourier T
ransformation 、以下、ＦＦＴという）し、吸収スペク
トルを得るように構成されている。
ュータよりなり、インターフェログラムを加算平均し、
その加算平均出力を高速フーリエ変換（Fast Fourier T
ransformation 、以下、ＦＦＴという）し、吸収スペク
トルを得るように構成されている。
【０００４】このように構成されたＦＴＩＲにおいて
は、次のようにして分析することができる。すなわち、
セル８に比較試料または測定試料をそれぞれ収容して赤
外光源３からの赤外光をセル８に照射し、比較試料およ
び測定試料のインターフェログラムを測定する。これら
のインターフェログラムをデータ処理部２において、そ
れぞれＦＦＴしてパワースペクトルを得た後、比較試料
のパワースペクトルに対する測定試料のパワースペクト
ルの比を求め、透過率スペクトルあるいは吸光度スペク
トルを得て、定性分析または定量分析を行う。
は、次のようにして分析することができる。すなわち、
セル８に比較試料または測定試料をそれぞれ収容して赤
外光源３からの赤外光をセル８に照射し、比較試料およ
び測定試料のインターフェログラムを測定する。これら
のインターフェログラムをデータ処理部２において、そ
れぞれＦＦＴしてパワースペクトルを得た後、比較試料
のパワースペクトルに対する測定試料のパワースペクト
ルの比を求め、透過率スペクトルあるいは吸光度スペク
トルを得て、定性分析または定量分析を行う。
【０００５】ところで、ＦＴＩＲにおける上記ＦＦＴ時
のノイズ発生原因の一つに、サンプリング時の量子化誤
差がある。この量子化誤差とは、アナログ的な時系列デ
ータであるインターフェログラムをサンプリングする場
合におけるＡＤ変換器の分解能に起因する誤差のことを
いうが、この誤差を無くする方法として、一般的には、
可動ミラー６のスキャン回数を多くしてデータを積算
し、ノイズを低減するようにしていた。
のノイズ発生原因の一つに、サンプリング時の量子化誤
差がある。この量子化誤差とは、アナログ的な時系列デ
ータであるインターフェログラムをサンプリングする場
合におけるＡＤ変換器の分解能に起因する誤差のことを
いうが、この誤差を無くする方法として、一般的には、
可動ミラー６のスキャン回数を多くしてデータを積算
し、ノイズを低減するようにしていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような手法では、Ｓ／Ｎの良好な吸収スペクトルを得よ
うとすると、可動ミラー６のスキャン回数が多いところ
から、時間がかかるといった欠点があり、例えば反応過
程のスペクトルの測定などを短いサイクルで測定する場
合には不向きであった。
ような手法では、Ｓ／Ｎの良好な吸収スペクトルを得よ
うとすると、可動ミラー６のスキャン回数が多いところ
から、時間がかかるといった欠点があり、例えば反応過
程のスペクトルの測定などを短いサイクルで測定する場
合には不向きであった。
【０００７】本発明は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的は、可動ミラーを唯１回スキャンする
だけで複数個の吸収スペクトルを得られるようにするこ
とにより、短時間で測定を行うことができるＦＴＩＲを
用いた分析方法を提供することにある。
もので、その目的は、可動ミラーを唯１回スキャンする
だけで複数個の吸収スペクトルを得られるようにするこ
とにより、短時間で測定を行うことができるＦＴＩＲを
用いた分析方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係るＦＴＩＲを用いた分析方法は、インタ
ーフェログラムをサンプリング定理による周波数のＮ倍
の周波数でサンプリングし、このサンプリングされたイ
ンターフェログラムを、第１番目のデータから始めてＮ
−１個おきに抽出して第１のデータグループを作成し、
第２番目のデータから始めてＮ−１個おきに抽出して第
２のデータグループを作成し、以下、同様にしてＮ個の
データグループを作成し、これらのデータグループのそ
れぞれをＦＦＴしてサンプリング定理に基づいたＮ個の
吸収スペクトルを求め、これらの吸収スペクトルを積算
するようにした点に特徴がある。
め、本発明に係るＦＴＩＲを用いた分析方法は、インタ
ーフェログラムをサンプリング定理による周波数のＮ倍
の周波数でサンプリングし、このサンプリングされたイ
ンターフェログラムを、第１番目のデータから始めてＮ
−１個おきに抽出して第１のデータグループを作成し、
第２番目のデータから始めてＮ−１個おきに抽出して第
２のデータグループを作成し、以下、同様にしてＮ個の
データグループを作成し、これらのデータグループのそ
れぞれをＦＦＴしてサンプリング定理に基づいたＮ個の
吸収スペクトルを求め、これらの吸収スペクトルを積算
するようにした点に特徴がある。
【０００９】
【作用】インターフェログラムを、例えば図２（Ａ）に
示すように、サンプリング定理に基づく２倍の数のサン
プリングパルスでサンプリングする。この場合における
サンプリング数はサンプリング定理による場合のそれに
比べ２倍になっている。このようなインターフェログラ
ムをメモリに格納する。この図２（Ａ）において、×印
とを○印とは互いに一つおきになるように付されてお
り、これら×印を付したデータのグループと○印を付し
たデータのグループとにそれぞれ分離し、この分離され
たデータグループをそれぞれＦＦＴすることにより、同
図（Ｂ），（Ｃ）に示されるような周波数領域の吸収ス
ペクトルを得ることができる。
示すように、サンプリング定理に基づく２倍の数のサン
プリングパルスでサンプリングする。この場合における
サンプリング数はサンプリング定理による場合のそれに
比べ２倍になっている。このようなインターフェログラ
ムをメモリに格納する。この図２（Ａ）において、×印
とを○印とは互いに一つおきになるように付されてお
り、これら×印を付したデータのグループと○印を付し
たデータのグループとにそれぞれ分離し、この分離され
たデータグループをそれぞれＦＦＴすることにより、同
図（Ｂ），（Ｃ）に示されるような周波数領域の吸収ス
ペクトルを得ることができる。
【００１０】前記図２（Ｂ），（Ｃ）に示される吸収ス
ペクトルは、いずれもサンプリング定理に基づくスペク
トルである。そして、これらの吸収スペクトルを積算
（平均）することにより、図３に示すような吸収スペク
トルを得ることができ、この吸収スペクトルは、２回ス
キャンした場合に得られる吸収スペクトルと同じであ
る。つまり、１回のスキャンで２回スキャンしたときと
同等の吸収スペクトルを得ることができる。
ペクトルは、いずれもサンプリング定理に基づくスペク
トルである。そして、これらの吸収スペクトルを積算
（平均）することにより、図３に示すような吸収スペク
トルを得ることができ、この吸収スペクトルは、２回ス
キャンした場合に得られる吸収スペクトルと同じであ
る。つまり、１回のスキャンで２回スキャンしたときと
同等の吸収スペクトルを得ることができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
【００１２】本発明に係るＦＴＩＲを用いた分析方法
は、前記図４に示したＦＴＩＲに適用することができ、
従来の方法と大きく異なる点は、インターフェログラム
をサンプリング定理による周波数のＮ倍の周波数でサン
プリングし、このサンプリングされたインターフェログ
ラムを、第１番目のデータから始めてＮ−１個おきに抽
出して第１のデータグループを作成し、第２番目のデー
タから始めてＮ−１個おきに抽出して第２のデータグル
ープを作成し、以下、同様にしてＮ個のデータグループ
を作成し、これらのデータグループのそれぞれをＦＦＴ
してサンプリング定理に基づいたＮ個の吸収スペクトル
を求め、これらの吸収スペクトルを積算するようにした
点である。
は、前記図４に示したＦＴＩＲに適用することができ、
従来の方法と大きく異なる点は、インターフェログラム
をサンプリング定理による周波数のＮ倍の周波数でサン
プリングし、このサンプリングされたインターフェログ
ラムを、第１番目のデータから始めてＮ−１個おきに抽
出して第１のデータグループを作成し、第２番目のデー
タから始めてＮ−１個おきに抽出して第２のデータグル
ープを作成し、以下、同様にしてＮ個のデータグループ
を作成し、これらのデータグループのそれぞれをＦＦＴ
してサンプリング定理に基づいたＮ個の吸収スペクトル
を求め、これらの吸収スペクトルを積算するようにした
点である。
【００１３】図１は、前記Ｎが２の場合、つまり、イン
ターフェログラムをサンプリング定理による周波数の２
倍の周波数でサンプリングする場合におけるフローチャ
ートの一例を示したもので、以下、これに従って説明す
る。
ターフェログラムをサンプリング定理による周波数の２
倍の周波数でサンプリングする場合におけるフローチャ
ートの一例を示したもので、以下、これに従って説明す
る。
【００１４】まず、図４における分析部１において得ら
れるインターフェログラムがデータ処理部としてのコン
ピュータ２に入力される。そして、前記インターフェロ
グラムは、図２（Ａ）に示すように、サンプリング定理
による周波数の２倍の周波数でサンプリング（ステップ
Ｓ１）されており、コンピュータ２のメモリ内に一旦格
納される（ステップＳ２）。
れるインターフェログラムがデータ処理部としてのコン
ピュータ２に入力される。そして、前記インターフェロ
グラムは、図２（Ａ）に示すように、サンプリング定理
による周波数の２倍の周波数でサンプリング（ステップ
Ｓ１）されており、コンピュータ２のメモリ内に一旦格
納される（ステップＳ２）。
【００１５】次いで、前記インターフェログラムのデー
タ列を第１番目のデータから１個おきに抽出して第１デ
ータグループ〔図２（Ａ）において×印を付したデータ
からなるグループ〕を作る（ステップＳ３１）。同様に
して、前記インターフェログラムのデータ列を第２番目
のデータから１個おきに抽出して第２データグループ
〔図２（Ａ）において○印を付したデータからなるグル
ープ〕を作る（ステップＳ３２）。
タ列を第１番目のデータから１個おきに抽出して第１デ
ータグループ〔図２（Ａ）において×印を付したデータ
からなるグループ〕を作る（ステップＳ３１）。同様に
して、前記インターフェログラムのデータ列を第２番目
のデータから１個おきに抽出して第２データグループ
〔図２（Ａ）において○印を付したデータからなるグル
ープ〕を作る（ステップＳ３２）。
【００１６】そして、前記第１および第２のデータグル
ープをそれぞれ演算部においてＦＦＴを行って（ステッ
プＳ４１、ステップＳ４２）、サンプリング定理に基づ
いた２個の吸収スペクトルを求める。図２（Ｂ），
（Ｃ）は、それぞれ第１データグループ、第２データグ
ループのインターフェログラムをＦＦＴした結果得られ
る吸収スペクトルを示している。
ープをそれぞれ演算部においてＦＦＴを行って（ステッ
プＳ４１、ステップＳ４２）、サンプリング定理に基づ
いた２個の吸収スペクトルを求める。図２（Ｂ），
（Ｃ）は、それぞれ第１データグループ、第２データグ
ループのインターフェログラムをＦＦＴした結果得られ
る吸収スペクトルを示している。
【００１７】さらに、前記２つの吸収スペクトルを積算
する（ステップＳ５）ことにより、図３に示すような吸
収スペクトルを得ることができる（ステップＳ６）。
する（ステップＳ５）ことにより、図３に示すような吸
収スペクトルを得ることができる（ステップＳ６）。
【００１８】上述の実施例においては、インターフェロ
グラムをサンプリング定理による周波数の２倍の周波数
でサンプリングしていたが、本発明は、これに限られる
ものではなく、インターフェログラムをサンプリング定
理による周波数のＮ（整数）倍の周波数でサンプリング
してもよい。この場合、インターフェログラムのデータ
列を、第１番目のデータからＮ−１個おきに抽出して第
１のデータグループＤ1 を作成し、同様に、第２番目の
データから始めた第２のデータグループＤ2 をを作成
し、以下、同様にしてＮ個のデータグループＤ1 〜ＤN
を作成し、これらのデータグループＤ1 〜ＤN のそれぞ
れをＦＦＴしてサンプリング定理に基づいたＮ個の吸収
スペクトルを求め、これらの吸収スペクトルを積算すれ
ばよい。
グラムをサンプリング定理による周波数の２倍の周波数
でサンプリングしていたが、本発明は、これに限られる
ものではなく、インターフェログラムをサンプリング定
理による周波数のＮ（整数）倍の周波数でサンプリング
してもよい。この場合、インターフェログラムのデータ
列を、第１番目のデータからＮ−１個おきに抽出して第
１のデータグループＤ1 を作成し、同様に、第２番目の
データから始めた第２のデータグループＤ2 をを作成
し、以下、同様にしてＮ個のデータグループＤ1 〜ＤN
を作成し、これらのデータグループＤ1 〜ＤN のそれぞ
れをＦＦＴしてサンプリング定理に基づいたＮ個の吸収
スペクトルを求め、これらの吸収スペクトルを積算すれ
ばよい。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
可動ミラーを１回スキャンするだけで同時に測定された
Ｎ個の吸収スペクトルを得ることができ、これらを積算
するだけでよく、従って、精度のよい測定を短時間で行
うことができる。
可動ミラーを１回スキャンするだけで同時に測定された
Ｎ個の吸収スペクトルを得ることができ、これらを積算
するだけでよく、従って、精度のよい測定を短時間で行
うことができる。
【図１】本発明の一実施例に係るＦＴＩＲを用いた分析
方法の一例を示すフローチャートである。
方法の一例を示すフローチャートである。
【図２】前記分析方法を説明するための図で、（Ａ）は
サンプリング定理による周波数の２倍の周波数でサンプ
リングしたときのインターフェログラムの一例を示す
図、（Ｂ），（Ｃ）は２つのデータグループをそれぞれ
ＦＦＴしたときの吸収スペクトルの一例を示す図であ
る。
サンプリング定理による周波数の２倍の周波数でサンプ
リングしたときのインターフェログラムの一例を示す
図、（Ｂ），（Ｃ）は２つのデータグループをそれぞれ
ＦＦＴしたときの吸収スペクトルの一例を示す図であ
る。
【図３】前記図２（Ｂ），（Ｃ）で示される吸収スペク
トルを積算して得られる吸収スペクトルを示す図であ
る。
トルを積算して得られる吸収スペクトルを示す図であ
る。
【図４】一般的なＦＴＩＲを概略的に示す図である。
１…分析部。
Claims (1)
- 【請求項１】 分析部から出力されるインターフェログ
ラムをフーリエ変換し、このフーリエ変換によって得ら
れる吸収スペクトルに基づいて測定試料中に含まれる成
分を分析するＦＴＩＲを用いた分析方法において、前記
インターフェログラムをサンプリング定理による周波数
のＮ倍の周波数でサンプリングし、このサンプリングさ
れたインターフェログラムを、第１番目のデータから始
めてＮ−１個おきに抽出して第１のデータグループを作
成し、第２番目のデータから始めてＮ−１個おきに抽出
して第２のデータグループを作成し、以下、同様にして
Ｎ個のデータグループを作成し、これらのデータグルー
プのそれぞれをフーリエ変換してサンプリング定理に基
づいたＮ個の吸収スペクトルを求め、これらの吸収スペ
クトルを積算するようにしたことを特徴とするＦＴＩＲ
を用いた分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19920293A JPH0735688A (ja) | 1993-07-17 | 1993-07-17 | Ｆｔｉｒを用いた分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19920293A JPH0735688A (ja) | 1993-07-17 | 1993-07-17 | Ｆｔｉｒを用いた分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0735688A true JPH0735688A (ja) | 1995-02-07 |
Family
ID=16403844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19920293A Pending JPH0735688A (ja) | 1993-07-17 | 1993-07-17 | Ｆｔｉｒを用いた分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0735688A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014169926A (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-18 | Jasco Corp | 赤外吸収スペクトルに含まれる妨害ピークの除去方法 |
| JP2015117978A (ja) * | 2013-12-17 | 2015-06-25 | キヤノン株式会社 | 光干渉断層計 |
-
1993
- 1993-07-17 JP JP19920293A patent/JPH0735688A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014169926A (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-18 | Jasco Corp | 赤外吸収スペクトルに含まれる妨害ピークの除去方法 |
| JP2015117978A (ja) * | 2013-12-17 | 2015-06-25 | キヤノン株式会社 | 光干渉断層計 |
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