JP2015049168A5 - - Google Patents

Description

ガス吸光度測定装置１０は透過光検出器２２と光量補正用検出器２４の検出信号が入力されるデータ処理装置２６を備えている。該データ処理処置２６は、透過光検出器２２のＩｎＧａＡｓフォトダイオード２２１の検出信号から光量補正用検出器２４のＩｎＧａＡｓフォトダイオードの検出信号を除算することで、第１光源１４の光量変化の補正処理を行う。なお、光量補正用検出器２４には第２光源１６からのレーザ光も入射するが、光量補正用検出器２４は非吸収波長光に感度を持たないＩｎＧａＡｓフォトダイオードが用いられているため、光量変化の補正処理には影響が及ばない。

また、データ処理装置２６は、透過光検出器２２のＳｉフォトダイオード２２２の検出信号により透過光検出器２２のＩｎＧａＡｓフォトダイオード２２１の検出信号を除算することで、試料セル１２の入射窓の汚れや試料セル１２中に侵入した埃等による光量変化の補正処理を行う。そして、これら補正処理によって得られた結果から、ガス吸収スペクトルが求められる。このガス吸収スペクトルは表示装置２８に出力されて、その表示画面に表示される。

図２（ａ）は透過光検出器２２のＩｎＧａＡｓフォトダイオード２２１の出力を示しており、試料ガス中の目的成分（ＣＯ２）による吸収特性（透過光強度）が検出される。図２（ａ）から、目的成分の吸収特性には煤による光量低下が観察されることが分かる。図２（ｂ）は透過光検出器２２のＳｉフォトダイオード２２２の出力を示しており、目的成分による吸収特性は検出されず、煤による光量低下のみが観察される。図２（ｃ）は光量補正用検出器２４の出力を示しており、第１光源１４の光量変化のみが観察される。

Claims (4)

1. a) 試料ガスを収容する試料セルと、
   b) 前記試料ガス中の目的成分の吸収波長を有するレーザ光を出射する第１光源と、
   c) 前記目的成分の吸収波長とは異なる波長のレーザ光を出射する第２光源と、
   d) 前記第１光源から出射されたレーザ光及び前記第２光源から出射されたレーザ光を、前記試料セル内の同一光路上を通過させる結合光学系と、
   e) 前記試料セルを通過した光のうち前記第１光源からのレーザ光の強度を検出する第１検出器と、
   f) 前記試料セルを通過した光のうち前記第２光源からのレーザ光の強度を検出する第２検出器と、
   g) 前記第２検出器の検出信号を用いて、前記第１検出器の検出信号を補正するノイズ補正処理手段と
   を備えることを特徴とするガス吸光度測定装置。
2. 前記結合光学系が、前記第１光源からのレーザ光と前記第２光源からのレーザ光を合波するファイバカプラを備えることを特徴とする請求項１に記載のガス吸光度測定装置。
3. 請求項１又は２に記載のガス吸光度測定装置において、さらに、
   h) 前記第１光源からのレーザ光を、前記試料セル内を通過する第１光路と、該第１光路とは別の第２光路とに分岐する分岐手段と、
   i) 前記第２光路に配置された、前記第１光源からのレーザ光の強度を検出する第１光源光量補正用検出器と、
   j) 前記第１光源光量補正用検出器の検出信号を用いて、前記第１検出器の検出信号を補正する第１光量補正処理手段と
   を備えることを特徴とするガス吸光度測定装置。
4. 請求項１又は２に記載のガス吸光度測定装置において、さらに、
   k) 前記第２光源からのレーザ光を、前記試料セル内を通過する第１光路と、該第１光路とは別の第２光路とに分岐する分岐手段と、
   l) 前記第２光路に配置された、前記第２光源からのレーザ光の強度を検出する第２光源光量補正用検出器と、
   m) 前記第２光源光量補正用検出器の検出信号を用いて、前記第２検出器の検出信号を補正する第２光量補正処理手段と
   を備えることを特徴とするガス吸光度測定装置。