JP2015227858A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 光源と、
   前記光源の出射光束を集光して、試料に照射する第一光学系と、
   前記試料からの透過光束または反射光束を集光する第二光学系と、
   入光面の面積および透過波長帯が相異なる複数の光学フィルタ部であって、前記第二光学系から自身の入光面への入射光束のうち、自身の透過波長帯の光を透過させる複数の光学フィルタ部を、含む光学フィルタと、
   各前記光学フィルタ部に対応して設けられ、対応する光学フィルタ部の透過光束の強度を検出する複数の光検出部を含む光検出器と、を備え、
   前記光学フィルタが無い場合に、前記光源から前記光検出器までの光路上の少なくとも一か所で得られる分光特性、または前記光検出器で得られる分光スペクトルにおいて、前記複数の透過波長帯に含まれる第一透過波長帯の信号強度が第二透過波長帯の信号強度よりも大きい場合、該第一透過波長帯を有する光学フィルタ部の入光面の面積は、該第二透過波長帯を有する光学フィルタ部の入光面の面積よりも小さい、分光分析装置。
2. 前記光学フィルタが無い場合における、前記光源から前記光検出器までの光路上の少なくとも一か所で得られる分光特性、または前記光検出器で得られる分光スペクトルにおいて、前記複数の透過波長帯の信号強度が小さくなる順番で、前記複数の光学フィルタ部の入光面の面積は大きくなる、請求項１に記載の分光分析装置。
3. 前記分光特性は、前記光源の分光光度特性である、請求項１または２に記載の分光分析装置。
4. 前記分光特性は、前記試料の吸収係数の分光特性である、請求項１または２に記載の分光分析装置。
5. 前記分光特性は、前記光検出器の分光感度特性である、請求項１または２に記載の分光分析装置。
6. 前記透過波長帯毎に、前記光源の光度と、前記第一光学系の透過率または反射率と、前記第二光学系の透過率または反射率と、前記光検出器の感度との乗算値を求め、求めた乗算値が小さくなる順番に、前記複数の光学フィルタ部の入光面の面積は大きくなる、請求項１または２に記載の分光分析装置。
7. 前記複数の光学フィルタ部の入光面は、金属または誘電体からなる薄膜の主面を複数に区分したものであり、各前記入光面には、対応する光学フィルタ部の透過波長帯の光を透過するよう、所定の格子間隔で複数の孔が形成される、請求項１〜６のいずれかに記載の分光分析装置。
8. 前記薄膜の主面全域に前記第二光学系からの出射光束が入光するように、前記光学フィルタ部は配置される、請求項７に記載の分光分析装置。
9. 前記薄膜は、前記光検出器の受光面上に成膜されている、請求項７または８に記載の分光分析装置。
10. 前記複数の光検出部は、光軸方向に略垂直する二方向であって互いに略直交する二方向に複数の受光素子を配列したエリアセンサに含まれる、請求項１〜９のいずれかに記載の分光分析装置。
11. 前記複数の光検出部で検出された透過波長帯毎の強度を取得し、取得した透過波長帯毎の強度に、各前記光学フィルタ部の面積比に基づき定められる補正係数を乗じるデータ処理手段を、さらに備える請求項１〜１０に記載の分光分析装置。
12. 前記複数の光学フィルタ部の入光面は、金属または誘電体からなる薄膜の主面を複数に区分したものであり、前記薄膜の主面は、互いに略同一の面積を有する多数の微小領域に分割され、前記複数の光学フィルタ部は、前記光学フィルタが無い場合の透過波長帯の信号強度に反比例する個数の微小領域が割り当てられている、請求項１〜１１に記載の分光分析装置。