JP4983790B2 - 光半導体装置とその製造方法 - Google Patents
光半導体装置とその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4983790B2 JP4983790B2 JP2008501498A JP2008501498A JP4983790B2 JP 4983790 B2 JP4983790 B2 JP 4983790B2 JP 2008501498 A JP2008501498 A JP 2008501498A JP 2008501498 A JP2008501498 A JP 2008501498A JP 4983790 B2 JP4983790 B2 JP 4983790B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- optical semiconductor
- light guide
- optical
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 143
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 131
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims description 64
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 20
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims description 11
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 388
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 28
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 10
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000012792 core layer Substances 0.000 description 6
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 6
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 6
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 3
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrate Chemical compound O.OO QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N triethylgallium Chemical compound CC[Ga](CC)CC RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N trimethylindium Chemical compound C[In](C)C IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
- H01S5/343—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y20/00—Nanooptics, e.g. quantum optics or photonic crystals
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Description
本発明の実施の形態の前に、本願発明者が行った実験について説明する。
図6〜図14は、本発明の第1実施形態に係る光半導体装置の製造途中の断面図である。
また、これらの層32〜35の膜厚は特に限定されないが、本実施形態では、変調器用下部光ガイド層32を50nm、変調器用上部光ガイド層34を50nm、変調器用上部クラッド層35を150nmの厚さに形成する。また、変調器用活性層33としては、例えば、厚さが5nmで引っ張り歪0.3%、組成波長が1.3μmのInGaAsPよりなるバリア層33bと、厚さが9nmで圧縮歪0.5%のInGaAsPよりなる井戸層33aとを積層した構造を採用し得る。その積層数は限定されないが、例えば、バリア層33bを8層、井戸層33aを7層形成する。変調器のバンドギャップ波長は特に限定されないが、第一領域Iに第1光半導体素子51として形成したレーザ素子の発振波長が1.55μm程度である場合、変調器のPL波長は1.49〜1.50μm程度に設定すればよい。
上記した第1実施形態では、第1領域に形成する半導体レーザ側の上部光ガイド層24を構成するInGaAsPの組成を一定にした。
図18は、本実施形態に係る光半導体装置の断面図である。
この半導体光増幅器の長さは特に限定されないが、例えば第2領域IIの長さを650μmとし、第2電極45bの長さを600μmとするのが好ましい。
図19は、本実施形態に係る光半導体装置の断面図である。
(5)第5実施形態
図20は本実施形態に係る半導体装置の断面図である。
上記した第1〜第5実施形態では、図6を参照して説明したように、多重量子井戸構造の活性層23を構成する井戸層23aとバリア層23bとして、いずれもAlGaInAs層を形成した。
Claims (7)
- 互いに接した第1領域と第2領域とを有するInP基板と、
前記基板と、前記基板上に形成されたInPよりなる下部クラッド層と、前記下部クラッド層上に該下部クラッド層に接して形成されたAlGaInAsよりなる下部光ガイド層と、前記下部光ガイド層上に形成され、井戸層とAlGaInAsよりなるバリア層とが交互に積層された多重量子井戸構造を有する活性層と、前記活性層上に形成されたInGaAsPよりなる上部光ガイド層と、前記上部光ガイド層上に該上部光ガイド層に接して形成されたInPよりなる上部クラッド層とを備え、前記下部光ガイド層、前記活性層、前記上部光ガイド層、及び前記上部クラッド層が前記第1領域に選択的に形成された第1光半導体素子と、
前記第2領域における前記下部クラッド層上に、前記第1光半導体素子に接して形成された前記第2光半導体素子とを有することを特徴とする光半導体装置。 - 前記第2光半導体素子は、電界吸収型半導体光変調器であることを特徴とする請求項1に記載の光半導体装置。
- 前記第2光半導体素子は、半導体光増幅器であることを特徴とする請求項1に記載の光半導体装置。
- 前記第2光半導体素子は、光導波路であることを特徴とする請求項1に記載の光半導体装置。
- 互いに接した第1領域と第2領域とを有するInP基板上に、InPよりなる下部クラッド層、AlGaInAsよりなる下部光ガイド層、井戸層とAlGaInAsよりなるバリア層とが交互に積層された多重量子井戸構造を有する活性層、InGaAsPよりなる上部光ガイド層、及びInPよりなる上部クラッド層を順に形成する工程と、
前記第1領域における前記上部クラッド層上に、マスク層を選択的に形成する工程と、
前記マスク層で覆われていない第2領域の少なくとも前記上部クラッド層を選択的にエッチングする工程と、
ウエットエッチングにより、前記マスク層で覆われていない第2領域の少なくとも前記活性層、及び前記下部光ガイド層を選択的に除去して、前記第1領域に、少なくとも前記基板、前記下部クラッド層、前記下部光ガイド層、前記活性層、前記上部光ガイド層、及び前記上部クラッド層で構成される第1光半導体素子を残す工程と、
前記ウエットエッチングの後に、前記第2領域における前記下部クラッド層上に、前記第1光半導体素子と接する第2光半導体素子を形成する工程と、
前記マスク層を除去する工程と、
を有することを特徴とする光半導体装置の製造方法。 - 前記第2光半導体素子として電界吸収型半導体光変調器を形成することを特徴とする請求項5に記載の光半導体装置の製造方法。
- 前記第2光半導体素子として半導体光増幅器を形成することを特徴とする請求項5に記載の光半導体装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2006/302975 WO2007096939A1 (ja) | 2006-02-20 | 2006-02-20 | 光半導体装置とその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007096939A1 JPWO2007096939A1 (ja) | 2009-07-09 |
JP4983790B2 true JP4983790B2 (ja) | 2012-07-25 |
Family
ID=38437000
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008501498A Active JP4983790B2 (ja) | 2006-02-20 | 2006-02-20 | 光半導体装置とその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8093581B2 (ja) |
JP (1) | JP4983790B2 (ja) |
WO (1) | WO2007096939A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4843672B2 (ja) * | 2006-05-12 | 2011-12-21 | 富士通株式会社 | 半導体装置 |
JP2010087209A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Oki Electric Ind Co Ltd | 集積化半導体レーザ及びその製造方法並びに実装方法 |
JP2010232372A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 集積型半導体光素子の製造方法および集積型半導体光素子 |
JP2010283104A (ja) * | 2009-06-04 | 2010-12-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光半導体装置 |
JP5614152B2 (ja) * | 2010-07-30 | 2014-10-29 | 富士通株式会社 | 光半導体集積装置の製造方法 |
JP5505226B2 (ja) * | 2010-09-21 | 2014-05-28 | 富士通株式会社 | 半導体光増幅器 |
JP5783011B2 (ja) * | 2011-11-28 | 2015-09-24 | 三菱電機株式会社 | 光半導体装置 |
JP6084428B2 (ja) * | 2012-10-18 | 2017-02-22 | 日本オクラロ株式会社 | 半導体光集積素子及びその製造方法 |
JPWO2015122367A1 (ja) * | 2014-02-13 | 2017-03-30 | 古河電気工業株式会社 | 集積型半導体レーザ素子および半導体レーザモジュール |
JP6468180B2 (ja) * | 2015-12-24 | 2019-02-13 | 三菱電機株式会社 | 光半導体装置の製造方法 |
JP7126314B2 (ja) * | 2017-08-02 | 2022-08-26 | 日本ルメンタム株式会社 | 半導体発光装置 |
CN110752508B (zh) * | 2019-11-21 | 2021-04-30 | 福建中科光芯光电科技有限公司 | 一种宽温度工作dfb半导体激光器的制备方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000312051A (ja) * | 1999-04-28 | 2000-11-07 | Hitachi Ltd | 半導体レーザ装置 |
JP2001189523A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-07-10 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP2003086899A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-20 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体レーザ素子およびその製造方法 |
JP2003114407A (ja) * | 2001-10-03 | 2003-04-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電界吸収型光変調器 |
JP2003174223A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-06-20 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体レーザ装置、半導体レーザモジュールおよび半導体レーザ制御方法 |
JP2005129686A (ja) * | 2003-10-23 | 2005-05-19 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体発光素子 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2663880B2 (ja) | 1994-10-27 | 1997-10-15 | 日本電気株式会社 | 多重量子井戸構造半導体レーザ |
JPH08172241A (ja) | 1994-12-16 | 1996-07-02 | Furukawa Electric Co Ltd:The | AlGaInAs系多重量子井戸を有する半導体発光素子 |
JPH11506273A (ja) * | 1996-03-28 | 1999-06-02 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | 最高30%のアルミニウムを含む半導体材料又はアルミニウムを含まない半導体材料から成る個別の閉じ込め層を有する放射放出半導体ダイオード |
US5859866A (en) * | 1997-02-07 | 1999-01-12 | The Trustees Of Princeton University | Photonic integration using a twin waveguide structure |
US6614059B1 (en) * | 1999-01-07 | 2003-09-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor light-emitting device with quantum well |
EP1168539B1 (en) * | 1999-03-04 | 2009-12-16 | Nichia Corporation | Nitride semiconductor laser device |
JP3544352B2 (ja) * | 2000-10-30 | 2004-07-21 | 日本電気株式会社 | 半導体受光素子 |
DE60212755T2 (de) | 2001-04-18 | 2006-11-16 | Nippon Telegraph And Telephone Corp. | Optische Halbleitervorrichtung und Herstellungsverfahren |
JP4072938B2 (ja) * | 2001-05-11 | 2008-04-09 | 日本電信電話株式会社 | 半導体光素子及びその製造方法 |
US6704338B2 (en) | 2001-09-28 | 2004-03-09 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Semiconductor laser device, semiconductor laser module, and semiconductor laser control method |
JP4027639B2 (ja) * | 2001-11-02 | 2007-12-26 | 富士通株式会社 | 半導体発光装置 |
JP3863454B2 (ja) * | 2002-04-23 | 2006-12-27 | 富士通株式会社 | 半導体レーザ装置 |
JP4318981B2 (ja) * | 2003-07-29 | 2009-08-26 | 三菱電機株式会社 | 導波路型受光素子 |
JP2005175295A (ja) * | 2003-12-12 | 2005-06-30 | Hitachi Ltd | 半導体光素子及び光モジュール |
KR100584333B1 (ko) * | 2004-01-08 | 2006-05-26 | 삼성전자주식회사 | 반도체 레이저 장치 및 그 제조방법 |
-
2006
- 2006-02-20 JP JP2008501498A patent/JP4983790B2/ja active Active
- 2006-02-20 WO PCT/JP2006/302975 patent/WO2007096939A1/ja active Application Filing
-
2008
- 2008-08-19 US US12/222,915 patent/US8093581B2/en active Active
-
2011
- 2011-12-08 US US13/314,874 patent/US8273585B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000312051A (ja) * | 1999-04-28 | 2000-11-07 | Hitachi Ltd | 半導体レーザ装置 |
JP2001189523A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-07-10 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP2003086899A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-20 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体レーザ素子およびその製造方法 |
JP2003174223A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-06-20 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体レーザ装置、半導体レーザモジュールおよび半導体レーザ制御方法 |
JP2003114407A (ja) * | 2001-10-03 | 2003-04-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電界吸収型光変調器 |
JP2005129686A (ja) * | 2003-10-23 | 2005-05-19 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体発光素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080315182A1 (en) | 2008-12-25 |
US8093581B2 (en) | 2012-01-10 |
WO2007096939A1 (ja) | 2007-08-30 |
US8273585B2 (en) | 2012-09-25 |
US20120083058A1 (en) | 2012-04-05 |
JPWO2007096939A1 (ja) | 2009-07-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4983790B2 (ja) | 光半導体装置とその製造方法 | |
JP4977377B2 (ja) | 半導体発光装置 | |
US20090086785A1 (en) | Semiconductor light emitting device and method for manufacturing the same | |
JPH07235732A (ja) | 半導体レーザ | |
JP5247444B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
US8304757B2 (en) | Semiconductor light-emitting device, optical module, transmitter, and optical communication system | |
JP2010232424A (ja) | 半導体光増幅装置及び光モジュール | |
WO2015104836A1 (ja) | 光半導体素子及びその製造方法 | |
US8213477B2 (en) | Semiconductor laser and method of manufacturing the same | |
JP2005286192A (ja) | 光集積素子 | |
JP2010021430A (ja) | 半導体光素子 | |
JP5381692B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP4599700B2 (ja) | 分布帰還型半導体レーザ | |
JP2004179206A (ja) | 光半導体装置および光伝送モジュール、光増幅モジュール | |
JP4028158B2 (ja) | 半導体光デバイス装置 | |
JP2006229008A (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JP5163355B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP2009076640A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP3241002B2 (ja) | 半導体レーザの製造方法 | |
JP2004103679A (ja) | 半導体発光素子および半導体発光素子モジュール | |
JP4985703B2 (ja) | 光半導体装置及びその製造方法 | |
JP2003332695A (ja) | ひずみ補償長波長半導体発光素子 | |
JP5373585B2 (ja) | 半導体レーザ及び電界吸収型変調器集積分布帰還型レーザ | |
JP2008282975A (ja) | 半導体光素子 | |
JP2013157645A (ja) | 半導体レーザ及び電界吸収型変調器集積分布帰還型レーザ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110524 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110721 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111101 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111220 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120327 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120409 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4983790 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150511 Year of fee payment: 3 |