JP4969024B2 - 半導体装置の作製方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明のレーザ照射装置の構成について図3を用いて説明する。
被照射面上に成膜した遮光膜によってビームスポットの一部を遮光し、前記被照射面に前記ビームスポットの他の一部が照射されるよう照射位置を調整する方法について図7を用いて説明する。
136 Y軸ステージ
137 θ軸ステージ
141 遮光膜
142 半導体膜
151 レーザ光
152 遮光膜
153 汚染防止膜
154 半導体膜
155 レーザ光
156 遮光膜
157 汚染防止膜
158 半導体膜
171 X軸ステージ
172 Y軸ステージ
173 θ軸ステージ
Claims (9)
- 基板上に非単結晶半導体膜を形成する工程と、
前記非単結晶半導体膜上のトランジスタが作製される領域に開口部を有する遮光膜を形成する工程と、
線状または楕円状のビームスポットに成形されたレーザ光を、前記遮光膜の前記開口部を介して前記非単結晶半導体膜のトランジスタが作製される領域に照射する工程とを有し、
前記レーザ光の照射は、前記ビームスポットの短幅方向に相対的に、前記基板が設置されたステージを走査させながら行われ、
前記ビームスポットは、前記走査の方向と垂直な方向において、第1の結晶状態を形成するエネルギー密度が低い部分と、前記第1の結晶状態よりも結晶粒径が大きい第2の結晶状態を形成するエネルギー密度が高い部分とを有し、
前記遮光膜を介して前記レーザ光を照射することで、前記非単結晶半導体膜には前記ビームスポットの前記エネルギー密度が高い部分を照射し、
前記レーザ光は、複数のレーザ光の各ビームスポットの一部が長径方向において互いに重ね合わさった第1のレーザ光と、前記第1のレーザ光のビームスポットを覆うビームスポットを有する第2のレーザ光とにより形成されることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 基板上に非単結晶半導体膜を形成する工程と、
前記非単結晶半導体膜上のトランジスタが作製される領域に開口部を有する遮光膜を形成する工程と、
線状または楕円状のビームスポットに成形されたレーザ光を、前記遮光膜の前記開口部を介して前記非単結晶半導体膜のトランジスタが作製される領域に照射する工程とを有し、
前記レーザ光の照射は、前記ビームスポットの短幅方向に相対的に、前記基板が設置されたステージを走査させながら行い、
前記開口部の前記走査方向に垂直な方向の幅は、前記レーザ光の照射跡のうねりの振幅分だけ、前記ビームスポットの前記走査方向に垂直な方向の幅よりも狭く、
前記レーザ光は、複数のレーザ光の各ビームスポットの一部が長径方向において互いに重ね合わさった第1のレーザ光と、前記第1のレーザ光のビームスポットを覆うビームスポットを有する第2のレーザ光とにより形成されることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1または請求項2において、前記非単結晶半導体膜上のトランジスタが作製される領域に照射されるレーザ光の強度は、前記レーザ光の平均強度を1としたとき、0.7〜1.3の強度であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか一項において、前記第1のレーザ光には高調波を用い、前記第2のレーザ光には基本波を用いることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか一項において、前記非単結晶半導体膜上に汚染防止膜を形成し、前記汚染防止膜上に前記遮光膜を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか一項において、前記遮光膜の表面と前記非単結晶半導体膜の表面との距離は10μm以下で形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか一項において、前記遮光膜の表面と前記非単結晶半導体膜の表面との距離は1μm以下で形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項1乃至請求項7のいずれか一項において、前記遮光膜は金属膜または反射を促進する膜で形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項1乃至請求項8のいずれか一項において、前記レーザ光は連続発振のYAGレーザ、YVO4レーザ、YLFレーザ、YAlO3レーザ、Y2O3レーザ、アレキサンドライトレーザ、Ti:サファイアレーザ、Arレーザ、Krレーザ、CO2レーザから選ばれた一種または複数種であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
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