JP4963679B2 - 液体吐出ヘッド用基体及びその製造方法、並びに該基体を用いる液体吐出ヘッド - Google Patents
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Description
(1)電気熱変換素子を駆動する電気パルスの幅を短くし、駆動周波数を上げ、単位時間当たりの吐出回数を増加させる。
(2)インクを吐出させる吐出口の数を増やすことで、1回のインクの吐出により記録可能な面積を増加させる。
(1)インクに対して一定の保護機能を有しているものの、膜質が必ずしも十分ではなく、ある種のインクに対して層の一部が溶出する。あるいは、段差部においてカバレッジ性が十分でないために、被覆不良の部位を起点としてインクが内部に侵入してしまい、断線や吐出不能になる場合があった。
(2)耐キャビテーション性が十分ではなく、発泡と消泡とを繰り返すことで削られるので、耐キャビテーション性の高いTa等の金属による保護層を必要としている。
基板と、
該基板の上に形成された絶縁材料からなる絶縁層と、
該絶縁層の上に設けられた通電により発熱する材料からなる発熱抵抗層と、
該発熱抵抗層の上に設けられ、前記発熱抵抗層に通電するために用いられる一対の配線と、
前記発熱抵抗層と前記一対の配線とを覆うように、絶縁材料からなる層を複数有する絶縁保護層と、を有し、
前記絶縁保護層が有する複数の層の少なくとも1層がラジカルシャワーCVD法で形成された層であることを特徴とする。
本発明にかかる液体吐出ヘッド用基体の第二の態様は、
基板と、
該基板の上に形成された絶縁材料からなる絶縁層と、
該絶縁層の上に設けられた通電により発熱する材料からなる発熱抵抗層と、
該発熱抵抗層の上に設けられ、前記発熱抵抗層に通電するために用いられる一対の配線と、
前記発熱抵抗層と前記一対の配線とを覆うように、ラジカルシャワーCVD法により形成された絶縁材料からなる絶縁保護層と、
を有することを特徴とする。
絶縁材料からなる絶縁層と、通電により発熱する材料からなる発熱抵抗層と、前記発熱抵抗層に通電するために用いられる一対の配線と、がこの順に積層された基板を用意する工程と、
前記発熱抵抗層と前記一対の配線とを覆うように、絶縁材料からなる層を複数積層して絶縁保護層を形成する工程と、
を有し、
前記絶縁保護層が有する複数の層の少なくとも1層をラジカルシャワーCVD法により形成する
ことを特徴とする。
本発明にかかる液体吐出ヘッド用基体の製造方法の第二の態様は、
絶縁材料からなる絶縁層と、通電により発熱する材料からなる発熱抵抗層と、前記発熱抵抗層に通電するために用いられる一対の配線と、がこの順に積層された基板を用意する工程と、
ラジカルシャワーCVD法を用いて、前記発熱抵抗層と前記一対の配線とを覆うように絶縁材料からなる絶縁保護層を形成する工程と、
を有することを特徴とする。
(1)RS(ラジカルシャワー)−CVD法で得られた一層からなる絶縁保護層。
(2)RS−CVD法で得られた複数の層からなる絶縁保護層。
(3)複数の層からなり、少なくともCat(触媒)−CVD法により形成された層の下層としてRS−CVD法で得られた層を含む絶縁保護層。
(4)複数の層からなり、通常のプラズマCVD法で形成した層の中に、RS−CVD法で得られた層を含む絶縁保護層。
以下、図面を参照して実施例1を詳細に説明する。図1及び図2は、それぞれ、本発明に係る実施例1のインクジェットヘッド用基体の発熱部周辺の模式的平面図及びそのII−II線断面図である。ここで、図1〜図2の各部で同様に機能する部分については、対応箇所に同一符号を付してある。
実施例2では、図2の構成と異なり、図3に示すように、第一保護層1106a上に第二保護層1106a’が、それぞれRS−CVD法を用いて形成されている。図2の絶縁保護層1106を除いた構成と、図3の第一保護層1106a及び第二保護層1106a’を除いた構成とは、同様の構成及び製造方法である。
本実施例においては図4のように、シリコン窒化層からなる絶縁保護層1106を、RS−CVD法を用いてその組成を層厚方向で変化させて形成した。具体的には、シリコン窒化層は、インクに接する側を発熱抵抗層に接する側よりもSi組成の多い組成とすることにより耐インク性に良好な層となるように形成した。つまり、発熱抵抗層に接する側からインクに接する側に向けてSiH4ガス流量を多くなるように設定した。まず、NH3ガスを500sccmで、SiH4ガスを20sccmで、Arガスを50sccmで流し、成膜圧力を20Pa、基板温度350℃の条件で成膜を開始した。その後SiH4ガス量を25sccm、30sccmと変化させて層厚300nmの厚さにシリコン窒化層を形成した。このときのシリコン窒化層の膜応力は−150MPa(圧縮応力)であった。尚、インク液がアルカリ性の場合には、シリコン窒化層中のシリコンがインクへ溶出するおそれがあるため、逆に、インクに接する側を発熱抵抗層に接する側よりもSi組成の少ない組成とすることにより、アルカリ性インクに対する耐性の良好な層が得られる。
本実施例では、図2の構成と異なり、図14と同様の構成とし、RS−CVD法により形成した絶縁保護層108上に、耐キャビテーション層である上部保護層110が形成されている。上部保護層110は、スパッタリング法を用いてTa膜を200nmの厚さに形成し、パターニングを行って図14に示すインクジェットヘッド用基体を得た。尚、実施例4においては、上部保護層110を形成する以外は実施例1と同様にしてインクジェットヘッド用基体を形成した。
本実施例では、実施例1と同様に図2の構成で、RS−CVD法の成膜条件を変化させた膜厚200nmのシリコン窒化層を形成した。RS−CVDの原料ガスとしては、NH3ガスを400sccmで、SiH4ガスを30sccmで、Arガスを50sccmで流し、成膜圧力を20Pa、基板温度を380℃に設定して成膜を行った。このときのシリコン窒化層の膜応力は、100MPa(引っ張り応力)であった。
本実施例では、実施例1と同様のRS−CVD法の成膜条件で、層厚を変化させたシリコン窒化層を形成した。層厚は100nmであった。
本実施例では、実施例1と同様の成膜条件で、膜厚を変化させたシリコン窒化層をRS−CVD法を用いて形成した。層厚は500nmであった。
本実施例では、実施例1と同様に図2の構成で、層厚300nmのシリコン酸窒化層を形成した。RS−CVDの原料ガスとしては、NH3ガスを500sccmで、O2ガスを200sccmで、SiH4ガスを20sccmで、Arガスを50sccmで流し、成膜圧力を20Pa、基板温度を300℃に設定して成膜を行った。
本実施例では、成膜時の基板温度を50℃に設定する以外は実施例1と同様のRS−CVD成膜条件でシリコン窒化層を形成した。
絶縁保護層を、プラズマCVD法を用いて形成する以外は、実施例1と同様にしてインクジェット用基体を作製した。原料ガスはSiH4ガスとNH3ガスを用い、基板温度400℃、成膜圧力を0.5Pa、層厚(膜厚)250nm、膜応力は−900MPa(圧縮応力)であった。
<耐インク性の評価結果>
各実施例1〜3、5〜9及び比較例のインクジェットヘッド用基体を、インク液中に浸漬させ、70℃の恒温槽に3日間放置し、初期の層厚に対して放置後の絶縁保護層の層厚変化を調べた。
次に各実施例及び比較例1のインクジェットヘッド用基体を用いて構成した実施例1〜9、及び比較例1のインクジェットヘッドをインクジェット記録装置に取り付けて、吐出を開始する発泡開始電圧Vthの測定及び印字耐久試験を行った。この試験は、A4サイズの用紙に、インクジェット記録装置に組み込まれている一般的なテストパターンを記録させることで行った。このとき、駆動周波数15KHz、駆動パルス幅1μsのパルス信号を与え、発泡開始電圧Vthを求めた。その結果を表1に示す。
図1及び図3は、それぞれ、実施例10にかかるインクジェットヘッド用基体の発熱部周辺の模式的平面図及びそのII―II線断面図である。ここで、図1及び図3の各部の構成は、既に上述の実施例1及び実施例2で説明済みである。本実施例では、図3の第1保護層1106aをRS−CVD法で形成し、その上層の第2保護層1106a’をCat−CVD法で形成した構成が相違するものである。そのため、同様に機能する部分については、対応箇所に同一符号を付してある。
実施例11では、図3に示した構成と異なり、図12に示すように、第1保護層1106a、第2保護層1106a’上に上部保護層1107、例えば金属性の耐キャビテーション層としての保護層が形成されている。
本実施例においては、実施例10と同様の構成の第1保護層1106a、第2保護層1106a’を形成した。第1保護層1106aとして、RS−CVD法により膜厚200nmのシリコン酸窒化層を形成した。RS−CVDの原料ガスとしては、NH3ガスを500sccmとO2ガスを200sccm、SiH4ガスを20sccmとArガスを50sccmとし、成膜圧力を20Pa、基板温度を300℃に設定して行った。この時の膜応力は500MPa(引っ張り応力)であった。
本実施例においては、第1保護層1106aとしてRS−CVD法により100nmのシリコン窒化層を形成した。原料ガスはSiH4ガスとNH3ガスを用い、基板温度400℃、成膜圧力を0.5Paの条件で行った。第2保護層1106a’として、層厚50nmのシリコン窒化層をCat―CVDを用いて形成した。この時の原料ガスとしてはNH3ガスを50sccm、SiH4ガスを5sccm、H2ガスを100sccmとし、成膜圧力を4Pa、加熱触媒体の温度は1700℃、基板温度100℃に設定して行った。このときの膜応力は400MPa(引っ張り応力)であった。
絶縁保護層を、プラズマCVD法を用いて形成する以外は、実施例10と同様にしてインクジェット用基体を作製した。原料ガスはSiH4ガスとNH3ガスを用い、基板温度400℃、成膜圧力を0.5Pa、膜応力は900MPa(圧縮応力)であった。また、成膜した絶縁保護層の層厚は250nmであった。
<耐インク性の評価結果>
実施例10、12、13及び比較例2の基体を、インク液中に浸漬させ、70℃の恒温槽に3日間放置し、初期の層厚に対して放置後の絶縁保護層の層厚変化を調べた。その結果、比較例2のインクジェットヘッド用基体においてはシリコン窒化層が約80nm減少したのに対し、各実施例のインクジェットヘッド用基体においては約10nm程度の減少しか見られず、インクに対して耐性の強い膜であることがわかった。また、直接インクと接する層をRS−CVD法で形成した場合よりも、Cat−CVD法で形成した方が、耐インク性という観点からは良い結果が得られることがわかった。
次に実施例10〜13及び比較例2のインクジェットヘッド用基体を用いて構成したインクジェットヘッドをインクジェット記録装置に取り付けて、吐出を開始する発泡開始電圧Vthの測定及び印字耐久試験を行った。この試験は、A4サイズの用紙に、インクジェット記録装置に組み込まれている一般的なテストパターンを記録させることで行った。このとき、駆動周波数15KHz、駆動パルス幅1μsのパルス信号を与え、発泡開始電圧Vthを求めた。その結果を表2に示す。
1100 インクジェット記録ヘッド用基体
1101 シリコン基板
1102 蓄熱層
1103 層間膜
1104 発熱抵抗体層
1104’ 発熱部
1105 配線層
1106 絶縁保護層
1106a 第1保護層
1106a’ 第2保護層
1107 上部保護層
1108 熱作用部
1001 基板
1002 発熱抵抗層
1003 型材
1004、4 オリフィスプレート
1005、5 吐出口
1006 撥水層
1007 裏面シリコン酸化膜
1008 パター二ングマスク
1009、9 エッチング開始開口部
1010 インク供給口
1011 保護材
410 インクジェットヘッド
402 テープ部材
403 接点
404 インクタンク
120 シリコン基板
106 蓄熱層
107 発熱抵抗体層
102 発熱部
103、104 配線層
108 絶縁保護層
108a 第1保護層
108b 第2保護層
110 上部保護層
105 熱作用部
801 成膜室
802 基板ホルダー
803 ガス導入口
804 ヒーター
805 排気ポンプ
Claims (16)
- 基板と、
該基板の上に形成された絶縁材料からなる絶縁層と、
該絶縁層の上に設けられた通電により発熱する材料からなる発熱抵抗層と、
該発熱抵抗層の上に設けられ、前記発熱抵抗層に通電するために用いられる一対の配線と、
前記発熱抵抗層と前記一対の配線とを覆うように、絶縁材料からなる層を複数有する絶縁保護層と、を有し、
前記絶縁保護層が有する複数の層の少なくとも1層がラジカルシャワーCVD法で形成された層であることを特徴とする液体吐出ヘッド用基体。 - 前記絶縁保護層は、ラジカルシャワーCVD法により形成された層よりも上に、触媒CVD法により形成された層を有していることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド用基体。
- 基板と、
該基板の上に形成された絶縁材料からなる絶縁層と、
該絶縁層の上に設けられた通電により発熱する材料からなる発熱抵抗層と、
該発熱抵抗層の上に設けられ、前記発熱抵抗層に通電するために用いられる一対の配線と、
前記発熱抵抗層と前記一対の配線とを覆うように、ラジカルシャワーCVD法により形成された絶縁材料からなる絶縁保護層と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基体。 - 前記絶縁保護層は、シリコンを含有する絶縁材料からなり、シリコンの比が層厚方向で変化するように設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド用基体。
- 前記絶縁保護層は、シリコン窒化層、シリコン酸窒化層、シリコン酸炭化層およびシリコン窒素炭化層のいずれか1つまたはこれらを組み合わせて設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド用基体。
- 前記絶縁保護層上に金属材料からなる金属保護層がさらに形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド用基体。
- 絶縁保護層の上側に、液体を吐出するための吐出口と、該吐出口に連通し液体を供給するために用いられる流路と、を構成する流路形成部材をさらに有することを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド用基体。
- 請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド用基体を備えた液体吐出ヘッド。
- 絶縁材料からなる絶縁層と、通電により発熱する材料からなる発熱抵抗層と、前記発熱抵抗層に通電するために用いられる一対の配線と、がこの順に積層された基板を用意する工程と、
前記発熱抵抗層と前記一対の配線とを覆うように、絶縁材料からなる層を複数積層して絶縁保護層を形成する工程と、
を有し、
前記絶縁保護層が有する複数の層の少なくとも1層をラジカルシャワーCVD法により形成する
ことを特徴とする液体吐出ヘッド用基体の製造方法。 - 前記絶縁保護層を形成する工程において、前記ラジカルシャワーCVD法の後に、ラジカルシャワーCVD法以外の方法を用いることを特徴とする請求項9に記載の液体吐出ヘッド用基体の製造方法。
- 前記ラジカルシャワーCVD法以外の方法は、触媒CVD法であることを特徴とする請求項10に記載の液体吐出ヘッド用基体の製造方法。
- 絶縁材料からなる絶縁層と、通電により発熱する材料からなる発熱抵抗層と、前記発熱抵抗層に通電するために用いられる一対の配線と、がこの順に積層された基板を用意する工程と、
ラジカルシャワーCVD法を用いて、前記発熱抵抗層と前記一対の配線とを覆うように絶縁材料からなる絶縁保護層を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基体の製造方法。 - 前記ラジカルシャワーCVD法は、
ラジカルを生成する生成ガスを用いてラジカルを生成する工程と、
生成された前記ラジカルと、モノシランガスまたはジシランガスからなる材料ガスと、を反応させる工程と、
を有することを特徴とする請求項9乃至請求項12のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド用基体の製造方法。 - 前記ラジカルシャワーCVD法は、前記基板の温度が400℃以下となる条件で行われることを特徴とする請求項9乃至請求項13のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド用基体の製造方法。
- 前記絶縁保護層上に金属材料からなる金属保護層を形成する工程をさらに有することを特徴とする請求項9乃至請求項14のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド用基体の製造方法。
- 絶縁保護層の上側に、液体を吐出するための吐出口と、該吐出口に連通し液体を供給するために用いられる流路と、を構成する流路形成部材を設ける工程をさらに有することを特徴とする請求項9乃至請求項15のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド用基体の製造方法。
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