JP4356113B2 - 製膜方法、パターニング方法、光学装置の製造方法、および電子装置の製造方法 - Google Patents
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Description
これにより、複数のノズルから異なる化学種を吐出することにより異なる化学種からなる膜を形成することが可能となる。
また、前記第1の化学種と前記第2の化学種とが化学反応を起こす場合、前記第1の化学種または前記第2の化学種と単離することなしに、当該化学反応により生じた生成物の膜を形成することができる。前記第1の化学種及び前記第2の化学種を第3の化学種と反応させることも可能であり、前記第1の化学種及び前記第2の化学種をそれぞれ異なる化学種と反応させてもよい。すなわち、所望の膜に応じて、化学種を適宜組み合わせることにより、同時に異なる組成を有する膜を形成することができる。
これにより、第1の化学種の流れと第2の化学種の流れの重なり部分で反応が誘起されるので、各化学種の流れの断面積よりも微小な膜を形成することができる。
ここで、反応活性種とは、例えば重合等により同種同士で反応する化学種、あるいは他の化学種と化学反応する化学種であり、具体的には、例えばラジカル、イオンラジカル、イオン、または低原子価化学種等である。
例えば、前記電磁波として、マイクロ波やラジオ波等を前記第1の化学種の前駆体に照射することにより発生したプラズマを利用して前記第1の化学種を発生させてもよい。
また、前記電磁波として光を用いてもよい。例えば上記の第1の化学種発生部に光学窓や光ファイバを利用して光を導入してもよいし、直接光源を設けてもよい。
これにより、第1の化学種の流れと第2の化学種の流れの重なり部分で反応が誘起されるので、各化学種の流れの断面積よりも微小な膜を形成することができる。
ここで、反応活性種とは、重合等により同種同士で反応する化学種、あるいは他の化学種と化学反応する化学種であり、具体的には、例えばラジカル、イオンラジカル、イオン、または低原子価化学種等である。
例えば、前記電磁波として、マイクロ波やラジオ波等を前記第1の化学種の前駆体に照射することにより発生したプラズマを利用して前記第1の化学種を発生させてもよい。
また、前記電磁波として光を用いてもよい。例えば上記の第1の化学種発生部に光学窓や光ファイバを利用して光を導入してもよいし、直接光源を設けてもよい。
また、前記反応活性種は熱を与えることにより発生させてもよい。
これにより、第1の化学種の流れと第2の化学種の流れの重なり部分以外の領域での化学反応を抑制することができる。
これにより、第1の化学種の流れと第2の化学種の流れの重なり部分で反応が誘起されるので、各化学種の流れの断面積よりも微小な膜を形成することができる。
ここで、反応活性種とは、例えば重合等により同種同士で反応する化学種、あるいは他の化学種と化学反応する化学種であり、具体的には、例えばラジカル、イオンラジカル、イオン、または低原子価化学種等である。
図1は、本発明による製膜装置100の構成を示す図である。
図に示すように、製膜装置100は、材料貯留室101a,101b、ノズル102a,102b、加熱部(第1および第2の化学種発生部)103a,103b、チャンバー104、キャリアガス供給源105、基体ステージ106を備えている。
ノズル102a,102bと基体ステージ106はチャンバー104内に設置されている。チャンバー104は配管108を介して真空装置150に接続されており、チャンバー104内の真空度を調整することができる。
加熱部103a,103bは、それぞれ材料貯留室101a,101bとノズル102a,102bの間に設けられており、加熱機構が備えられている。加熱部103は材料貯留室101から供給された材料を前駆体として加熱により反応活性種を発生させる。
反応活性種とは、重合等により同種の化学種同士で反応する化学種、あるいは他の化学種と化学反応する化学種であり、具体的には、例えばラジカル、イオンラジカル、イオン、または低原子価化学種等である。
或いは、マイクロ波、ラジオ波等の電磁波の照射機構を設け、マイクロ波、ラジオ波等の照射により生成したプラズマの状態を利用して反応活性種を発生させるようにしてもよい。
ノズル102a,102bの吐出機構は、例えばメカニカルシャッターによる機構や、さらには帯電制御型、加圧振動型といった連続方式による機構、電気機械変換式(いわゆるピエゾタイプ)、電気熱変換方式、静電吸引方式といったオンデマンド方式による機構等が採用可能である。
反応活性種の副反応を抑制したい場合は、チャンバー104内に吐出された反応活性種がいわゆる超音速分子噴流あるいはフリージェットとなるようにして、反応活性種の内部振動や回転等のエネルギー準位を最低状態とすることにより、反応活性種の副反応を抑制できる。
反応活性種の化学反応に活性化エネルギーが必要な場合は、反応活性種の内部振動や回転等のエネルギー準位が当該化学反応の活性化エネルギーに対応するレベル以上になるようにすれば当該化学反応を生起させることが可能である。
さらに加熱部103a,103b等の手段を設けることにより、高沸点の化学種の気化がより容易となる。
ここでは、TFT(Thin Film Transistor)の製造におけるガラス基板上へのシリコン半導体膜の製膜を例に挙げて説明する。材料貯留室101aには、ケイ素の低原子価化学種であるシリレン(SiH2)の前駆体が貯留されている。シリレンの前駆体としては、例えば図2(A)〜図2(B)に示すケイ素化合物があげられる。また、材料貯留室101bには、シラン(SiH4)が貯留されている。
なお、図2(C)または図2(D)に示すケイ素化合物を用いる場合には、波長200nm程度の光により反応活性種等の化学種を発生させることが好ましい。
加熱部103a,bでは、加熱機構により前駆体に熱が与えられ、前駆体から反応活性種を発生させる。ここでは、反応活性種として加熱部103aではシリレン(SiH2)が発生する。一方、材料貯留室101bに貯留されているシラン(SiH4)はそのまま利用できるため、加熱部103bにおける加熱は必要ない。
吐出されたフリージェットは、基体ステージ106上に固定された基体160上に配置される。
窒化シリコン膜はCVDにより形成することができる。具体的には、水素系キャリアガスにシラン(SiH4)とアンモニア(NH3)を適量比率混合して導入し、加熱触媒体による触媒反応または熱分解反応により発生したラジカル、イオン等の堆積種をガラス基板上に堆積させることにより製膜する。
なお、シリレンとの反応性を有しないものとして、ポリエチレン、ポリスチレン等の有機材料も利用でき、これらをガラス基板上に下地層として設けてもよい。
また、ノズル102a,bを図3(B)に示すような配置で設置してもよい。
さらに、本発明の製膜装置はコンビナトリアルプロセスにも有効である。即ち、基体上の複数の領域に異なる製膜条件により形成した複数の膜を形成することができる。例えば、キャリアガスや反応性ガスの圧力やチャンバーの減圧度等の条件を調整することによって、1度に製膜条件の異なる複数の膜を形成することができる。
また、トリメチルガリウム(Me3Ga)とアンモニア(NH3)を用いると、重複領域にガリウムナイトライド(GaN)が形成される。
Claims (13)
- 基体上に膜を形成する製膜方法であって、
前記基体上の第1の領域に、第1のノズルからキャリアガスと共に吐出された、第1の化学種を含む第1の流れの少なくとも一部と、第2のノズルから吐出された、第2の化学種を含む第2の流れの少なくとも一部とを重ならせることにより、前記第1の化学種と前記第2の化学種との化学反応を誘起し、前記化学反応により生じた生成物の第1の膜を形成する第1工程と、
前記基体上の第2の領域に、第1のノズルからキャリアガスと共に吐出された、第1の化学種を含む第3の流れの少なくとも一部と、第2のノズルから吐出された、第2の化学種を含む第4の流れの少なくとも一部とを重ならせることにより、前記第1の化学種と前記第2の化学種との化学反応を誘起し、前記化学反応により生じた生成物の第2の膜を形成する第2工程と、を含む製膜方法。 - 請求項1に記載の製膜方法において、
前記第1および第2の化学種の少なくとも一方は反応活性種であることを特徴とする製膜方法。 - 請求項2に記載の製膜方法において、
前記反応活性種は電磁波の照射により発生させることを特徴とする製膜方法。 - 請求項2に記載の製膜方法において、
前記反応活性種は熱を与えることにより発生させることを特徴とする製膜方法。 - 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の製膜方法において、
前記基体は、最表面に前記第1および第2の化学種のいずれとも反応しない材料からなる下地膜を含んでいることを特徴とする製膜方法。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の製膜方法において、
前記第1および第2の化学種の流れはフリージェットであることを特徴とする製膜方法。 - 請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の製膜方法において、
前記第1のノズルからの前記第1の化学種の吐出と前記第2のノズルからの前記第2の化学種の吐出とは、1.3×10-1Pa以下の圧力に調整されたチャンバー内で行われることを特徴とする製膜方法。 - 基体上に膜を形成するパターニング方法であって、
前記基体上の第1の領域に、第1のノズルからキャリアガスと共に吐出された、第1の化学種を含む第1の流れの少なくとも一部と、第2のノズルから吐出された、第2の化学種を含む第2の流れの少なくとも一部とを重ならせることにより、前記第1の化学種と前記第2の化学種との化学反応を誘起し、前記化学反応により生じた生成物の第1の膜のパターンを形成する第1工程と、
前記基体上の第2の領域に、第1のノズルからキャリアガスと共に吐出された、第1の化学種を含む第3の流れの少なくとも一部と、第2のノズルから吐出された、第2の化学種を含む第4の流れの少なくとも一部とを重ならせることにより、前記第1の化学種と前記第2の化学種との化学反応を誘起し、前記化学反応により生じた生成物の第2の膜のパターンを形成する第2工程と、を含むパターニング方法。 - 請求項8に記載のパターニング方法において、
前記第1および第2の化学種の少なくとも一方は反応活性種であることを特徴とするパターニング方法。 - 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の製膜方法を使用する光学装置の製造方法。
- 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の製膜方法を使用する電子装置の製造方法。
- 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の製膜方法において、
前記キャリアガスは、不活性ガスであることを特徴とする製膜方法。 - 請求項8に記載のパターニング方法において、
前記キャリアガスは、不活性ガスであることを特徴とするパターニング方法。
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