JP4954197B2 - パターンを被転写体に転写する手段 - Google Patents
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Description
1)低空間周波数(<2/λ)を有する伝搬波
2)高空間周波数(>2/λ)を有するエバネッセント波
Claims (26)
- 凸部および凹部を有する構造物を含み、前記構造物の上に、導波路が層として配置された第1の面を有し、前記第1の面のパターンを、感光性被膜で覆われた第2の面を有する被転写体に、前記パターニングされた第1の面を前記被膜に接触させること及び前記被膜が前記凹部を埋めるように前記凸部を前記被膜に押し付けることによって、転写することに使用可能であるテンプレートにおいて、
前記テンプレートは、キャリヤベースをさらに備え、前記導波路は、前記第1の面において前記キャリヤベース上に配置されており、前記導波路が、光を中に導き、前記被膜のうちの前記パターンに対応する部分にエバネッセント波を漏らすようになっていることを特徴とする、テンプレート。 - 前記第1の面の、前記導波路のうちの選択された部分の上に、非透過性シールドが配置されることを特徴とする、請求項1に記載のテンプレート。
- 前記凹部の、前記導波路の上に非透過性シールドが配置されることを特徴とする、請求項1に記載のテンプレート。
- 前記非透過性シールドが前記第1の面の前記パターンを形成することを特徴とする、請求項2に記載のテンプレート。
- 前記感光性被膜がネガ型レジスト材料から作られることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載のテンプレート。
- 前記感光性被膜がポジ型レジスト材料から作られることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載のテンプレート。
- 前記キャリヤベースが金属材料から作られることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載のテンプレート。
- 前記キャリヤベースがニッケルから作られることを特徴とする、請求項7に記載のテンプレート。
- 前記導波路が、SiO2、Si3N4、ダイヤモンド、サファイア、またはITOから選択される材料から作られることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載のテンプレート。
- 前記導波路の厚さが5nm以下であることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載のテンプレート。
- パターニングされた第1の面を有するテンプレートから、感光性被膜で覆われた第2の面を有する被転写体に、パターンを転写する装置であって、前記パターニングされた第1の面を前記被膜に接触配置する接触手段と、前記被膜を放射線で露光するための光源とを備える装置において、
前記テンプレートが、キャリヤベースと、前記第1の面において前記キャリヤベース上に配置された導波路とを備え、
前記第1の面は、凸部および凹部を有する構造物を備え、前記構造物の上に、前記導波路が層として配置され、
前記装置は、前記被膜が前記凹部を埋めるように前記凸部を前記被膜に押し付けるためのプレス機をさらに備え、
前記光源が、前記導波路に導入するために結合され、前記導波路が、前記被膜をエバネッセント波で露光するために、光を中に導き、前記被膜のうちの前記パターンに対応する部分にエバネッセント波を漏らすようになっていることを特徴とする、装置。 - 前記光源が、前記テンプレートの周辺部分において光を前記導波路に導入するようになっていることを特徴とする、請求項11に記載の装置。
- 前記光源が環状であることを特徴とする、請求項12に記載の装置。
- 前記光源がUV放射線を発するようになっていることを特徴とする、請求項11に記載の装置。
- 前記光源がUVダイオードのアレイを備えることを特徴とする、請求項11に記載の装置。
- レンズ装置が、前記光源からの放射線を前記導波路の放射線入力に結合するようになっていることを特徴とする、請求項11に記載の装置。
- 光ファイバ装置が、前記光源からの放射線を前記導波路の放射線入力に結合するようになっていることを特徴とする、請求項11に記載の装置。
- 前記テンプレートが、請求項1〜10のいずれか一項に従って創案されていることを特徴とする、請求項11〜17のいずれか一項に記載の装置。
- パターニングされた第1の面を有するテンプレートから、感光性被膜で覆われた第2の面を有する被転写体に、パターンを転写する方法であって、
前記第1の面は、凸部および凹部を有する構造物を備え、前記構造物の上に、前記導波路が層として配置されており、
前記パターニングされた第1の面を前記被膜に接触配置するステップと、
前記被膜が前記凹部を埋めるように前記凸部を前記被膜に押し付けるステップと、
前記第1の面に配置された前記導波路に光を導入するステップと、
前記導波路からのエバネッセント波で前記被膜を露光して、前記被膜の、選択された部分の特性に影響を与えるステップと、
を備える方法。 - 前記テンプレートを前記被転写体から分離するステップと、
前記特性に依存する現像プロセスにおいて前記被膜から材料を除去して、前記被膜の前記選択された部分に対応する三次元構造物を作成するステップと、
を備える、請求項19に記載の方法。 - 前記感光性被膜がネガ型レジスト材料から作られ、
前記選択された部分を、前記エバネッセント波で露光することによって硬化させるステップと、
現像プロセスにおいて非硬化部分を除去するステップと、
を備える、請求項19または20に記載の方法。 - 前記感光性被膜がポジ型レジスト材料から作られ、
前記選択された部分を、現像プロセスにおいて前記エバネッセント波で露光することによって可溶にするステップと、
現像プロセスにおいて前記可溶部分を除去するステップと、
を備える、請求項19または20に記載の方法。 - 前記現像プロセスにおいて前記第2の面の選択された範囲を露光するステップを備える、請求項20〜22のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1の面の前記導波路の上に非透過性シールドが配置され、
前記導波路から、前記非透過性シールド内のアパーチャを通って、前記被膜の前記選択された部分まで、前記エバネッセント波を導くステップを備える、請求項19〜23のいずれか一項に記載の方法。 - 前記テンプレートの周辺部分において前記導波路に光を導入するステップを備える、請求項19〜24のいずれか一項に記載の方法。
- UV放射線が前記導波路に導入される、請求項19〜25のいずれか一項に記載の方法。
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