JP4951551B2 - 半導体光検出装置 - Google Patents
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Description
Claims (3)
- 互いに対向する第1及び第2の主面を有する第1導電型の半導体基板と、
前記半導体基板の前記第1の主面側に形成されており、前記半導体基板との接合によりフォトダイオードを構成する第2導電型の半導体領域と、
前記半導体基板の前記第1の主面側に形成されており、前記フォトダイオードから出力された電気信号が入力される信号処理回路部と、を備え、
前記半導体基板には、前記第2の主面と前記信号処理回路部との間の所定位置に集光点を合わせてレーザ光を照射することによって、複数の改質領域が形成されており、
前記複数の改質領域のうち互いに隣接している改質領域の間隔は、光の入射によって前記半導体基板に発生するキャリアの拡散長よりも短く設定されていることを特徴とする半導体光検出装置。 - 前記半導体基板の前記第1の主面側には、前記信号処理回路部の外周の少なくとも一部に沿った領域の所定位置に集光点を合わせてレーザ光を照射することによって、改質領域がさらに形成されていることを特徴とする請求項1記載の半導体光検出装置。
- 前記半導体基板の前記第1の主面側に形成されている前記改質領域は、前記信号処理回路部の外周を囲むように形成されていることを特徴とする請求項2記載の半導体光検出装置。
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