JP2020027829A - 受光素子 - Google Patents
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Abstract
Description
下部電極10に、上部電極15に対して正の高電圧VHを印加する。これにより高電圧VHが、ショットキー電極14と高濃度n型層11との間に印加される。高電圧VHは、ショットキー電極14と低濃度n型層12とによって形成されるショットキー接合面SJに対する逆バイアス電圧である。図1(B)および(C)に、高電圧VHを印加した場合の、受光素子1の深さ方向(Z軸負方向)の電位勾配を示す。図1(B)は、図1(A)のB−B線における電位勾配である。すなわち、高濃度p型層13が形成されている領域の電位勾配を示している。図1(C)は、図1(A)のC−C線における電位勾配である。すなわち、開口部13aおよび特定領域16が形成されている領域の電位勾配を示している。図1(B)および(C)の深さ位置は、隣接する図1(A)の断面図と対応している。図1(B)および(C)において、横軸は電位を示している。また縦軸は、ショットキー電極14を基準とした場合の、下部電極10までの深さ位置を示している。
受光素子1の窓部15aからアイセーフ帯光(例:1550nm、エネルギー:0.8eV)が入射され、光がショットキー電極14で自由電子吸収されると、低濃度n型層12側に電子が放出される。この放出された電子を、特定領域16の先端部16a近傍の高電界領域HFで加速することができる。高電界領域HFでアバランシェ増幅を起こすことができるため、受光素子1の受光感度を大きく上昇させることが可能になる。
受光素子1aのリーク電流は、ショットキー電極14と接している低濃度n型層12の幅が狭くなるほど小さくなる。すなわち、高濃度p型層13Mの開口幅を狭くするほど、リーク電流を小さくすることができる。一方、開口幅が狭くなるほど、特定領域16と高濃度p型層13とのX方向距離が近くなるため製造が困難となる。実施例2に係る受光素子1aでは、高濃度p型層13Mを上層と下層に分けている。そして、上層L1の開口部の幅W11を狭くすることで、リーク電流を低減することができる。また、下層L2の開口部の幅W12を広くすることで、特定領域16と高濃度p型層13MとのX方向距離を大きくすることができる。リーク電流を低減することと、製造を容易にすることとを両立することができる。
特定領域16Mと高濃度n型層11とは、低濃度n型層12によって隔てられているが、低濃度n型層12によって電気的に接続されている。そのため、実施例1と同様にして、特定領域16Mの先端部16Ma近傍に高電界領域を形成することができる。そして実施例3の特定領域16Mは、実施例1の特定領域16(図1)に比して、深さが浅いため製造が容易である、という利点がある。
本明細書では、n型層に対してAuを用いてショットキー電極を形成する例について説明したが、この形態に限られず、他の金属を用いてもよい。例えば、Ni、Pb、Rh、Co、Re、Te、Ir、Pt、Seなどの金属を用いることができる。
Claims (8)
- 受光素子であって、
第1導電型の半導体である第1層と、
前記第1層の表層部に設けられており、第1の厚みを有する第1導電型の半導体である第2層であって、不純物濃度が前記第1層よりも低い前記第2層と、
前記第2層の表層部の一部に、第1の厚みよりも薄い第2の厚みを有して形成されている第2導電型の半導体である第3層と、
前記第2層の表面および前記第3層の表面にまたがって配置されている金属層と、
前記第2層および前記第3層の表面に対する垂直上方からみたときに、前記第3層が形成されていない領域内であって、前記第2層の領域内に配置されている、第1導電型の半導体である特定領域と、
を備えており、
前記特定領域の不純物濃度は前記第2層の不純物濃度よりも高く、
前記特定領域は前記第2層によって前記第3層から隔てられており、
前記特定領域と前記第3層との距離は、前記第1層と前記第3層との距離よりも近い、受光素子。 - 前記第2層および前記第3層の表面に対する垂直上方からみたときに、前記第2層が前記第3層によって囲まれている、請求項1に記載の受光素子。
- 前記第2層を囲んでいる前記第3層の開口部の幅は、前記第3層の表面よりも、前記第3層の内部の方が大きい、請求項2に記載の受光素子。
- 前記特定領域と前記第1層とは、前記第2層によって隔てられている、請求項1〜3の何れか1項に記載の受光素子。
- 前記特定領域と前記第1層とが接続している、請求項1〜3の何れか1項に記載の受光素子。
- 前記金属層と前記第1層との間には、前記金属層と前記第2層とによって形成されるショットキー接合に対する逆バイアス電圧が印加される、請求項1〜5の何れか1項に記載の受光素子。
- 前記半導体はシリコンである、請求項1〜6の何れか1項に記載の受光素子。
- 前記金属層はAuである、請求項1〜7の何れか1項に記載の受光素子。
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JP2018150588A JP6879273B2 (ja) | 2018-08-09 | 2018-08-09 | 受光素子 |
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JP6879273B2 JP6879273B2 (ja) | 2021-06-02 |
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Citations (3)
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---|---|---|---|---|
JPS5117035B1 (ja) * | 1970-05-20 | 1976-05-29 | ||
JPS52101990A (en) * | 1976-02-21 | 1977-08-26 | Hitachi Ltd | Semiconductor device for photoelectric transducer and its manufacture |
US20050167709A1 (en) * | 2002-09-19 | 2005-08-04 | Augusto Carlos J. | Light-sensing device |
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- 2018-08-09 JP JP2018150588A patent/JP6879273B2/ja active Active
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JPS5117035B1 (ja) * | 1970-05-20 | 1976-05-29 | ||
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US20050167709A1 (en) * | 2002-09-19 | 2005-08-04 | Augusto Carlos J. | Light-sensing device |
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