JP4947051B2 - 導電膜および導電膜の製造方法 - Google Patents
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Description
(1)SiNバリア膜を設けて基板側からの水分透過を抑制する方法、
(2)加熱成膜などによって、ZnOの膜質(結晶性)を改善する方法
の二つの方法に大別される。
しかしながら、現在のところ実用可能な耐湿性を備えたZnO系透明導電膜を得ることができていないのが実情である。
酸化亜鉛にIII族元素酸化物をドーピングして基体上に成長させた二層以上の導電膜層を備えた、複数層構造を有する導電膜であって、
基体の表面と接するように形成された、III族元素酸化物をドーパントとして含み、または含まない、ZnOを主たる成分とする第1のZnO導電膜層と、
前記第1の導電膜層上に形成された、前記第1の導電膜層に含まれるIII族元素酸化物とは種類の異なるIII族元素酸化物をドーパントとして含む、透明性を有する第2のZnO導電膜層と
を備え、かつ、
前記第1のZnO導電膜層は、その膜厚が前記第2のZnO導電膜層の膜厚より小さいことを特徴としている。
請求項1〜8のいずれかに記載の導電膜の製造方法であって、
前記第1のZnO導電膜層を、スパッタリング法、蒸着法、蒸着イオンプレーティング法、レーザーアブレーション法、アークプラズマ蒸着法およびめっき法からなる群より選ばれる方法を用い、加熱しながら成膜を行う加熱成膜の方法により形成した後、前記第1のZnO導電膜層上に、スパッタリング法、蒸着法、蒸着イオンプレーティング法、レーザーアブレーション法、アークプラズマ蒸着法およびめっき法からなる群より選ばれる方法により、加熱しながら、または加熱せずに、前記第2のZnO導電膜層以降のZnO導電膜層を形成することを特徴としている。
耐湿性と配向性に優れた導電膜を効率よく製造することができる。
なお、隣接する導電膜層に含まれるIII族元素酸化物どうしの種類が異なればよく、組み合わせの態様に特別の制約はないので、例えば、2種類のIII族元素酸化物を一層ごとに交互に含有させるように構成することも可能であり、また、各層の何れにも異なる種類のIII族元素酸化物を含有させるように構成することも可能である。
なお、第1のZnO導電膜層の膜厚が5nm未満になると、第1のZnO導電膜層の高結晶性の情報を第2のZnO導電膜層に引き継ぐ効果が不十分になりやすい傾向があるため、第1のZnO導電膜層の膜厚は5nm以上とすることが望ましい。
すなわち、本願発明において、第1のZnO導電膜層は、低抵抗性などの特性よりも、その上に形成される第2のZnO導電膜層以降の導電膜層の結晶性や配向性を向上させ、耐湿性を向上させることに重点をおいて形成されることになるので、その膜厚を50nm以下に抑えることにより、導電膜全体としての低抵抗性などの特性を損なうことなく、耐湿性の向上などの実現を図ることが可能になり望ましい。
なお、III族元素酸化物のドープ量を増やすと、相対的に抵抗率が増大し、7重量%を超えると、実用に支障が生じるような程度にまで抵抗率が増大するため、III族元素酸化物の含有割合は7重量%以下にすることが望ましい。
また、III族元素酸化物のドープ量が少なくなりすぎると、導電膜として特性を確保することが困難になる場合があるため、通常は、0.5重量%以上のドープ量とすることが望ましいが、場合によってはそれ以下にすることが可能なこともある。
また、これらの方法を加熱成膜の方法と組み合わせることによりさらに、大きな効果を得ることが可能である。
2(2a) 第2のZnO導電膜層
2b,2c 第2のZnO導電膜層の上に形成されたZnO導電膜層
11 基体
したがって、III族元素をドープしたZnOは、サイト置換起因によるドナータイプの不純物添加と、酸素欠損起因による電子発生の両方を、キャリアの供給源としたn型の半導体である。
例えば、前述の文献に基づいて、トレース実験を行ったところ、図3に示すように、前述の文献のデータとほぼ同様のドーピング濃度で最も低い抵抗率を示した。
その結果、200時間経過後に,GZO膜において、ガラス基板上で約30%、フレキシブル基板であるPEN(ポリエチレンナフタレート)基板上で約60%の抵抗変化を確認した(図4)。
なお、上述の方法により得られるZnO導電膜は、図5に示すように、200時間の耐湿試験後の抵抗変化率が2%以下と小さく、優れた耐湿性を有していることが確認されている。
そして、ガラス基板(基体)11の表面には、第1のZnO導電膜層1として、III族元素酸化物であるGa2O3をドーパントとして含むZnO導電膜が形成されている。
さらに、第1のZnO導電膜層1上には、第2のZnO導電膜層2として、第1のZnO導電膜層1に含まれるIII族元素酸化物(Ga2O3)とは種類の異なるIII族元素酸化物であるAl2O3をドーパントとして含むZnO導電膜が形成されている。
まず、基体として無アルカリガラス(コーニング1737)からなるガラス基板を用意する。
そして、このガラス基板をイソプロピルアルコールおよびUV照射によって洗浄することにより清浄表面を得た。
そして、上記ガラス基板を成膜チャンバにセッティングし、5×10-5Paまで真空吸引した後、スパッタリングを行い、ZnO導電膜の成膜を行った。
なお、信頼性(抵抗)評価のための、全面成膜サンプルは別途作製し、4探針抵抗測定器による抵抗の測定に供した。
4探針抵抗測定器により求めた、AZO/GZO二層構造導電膜の抵抗(シート抵抗)は、基板内平均で18.6Ω/□であり、抵抗率は7.6×10-4Ωcmであった。
なお、図5には、比較のため、AZO単層構造導電膜について行った耐湿試験の結果を併せて示す。
図5に示すように、AZO単層構造導電膜の場合、200時間後の抵抗変化率が約12%と大きいのに対して、AZO/GZO二層構造導電膜の場合、ガラス基板上で200時間後の抵抗変化率が約1.5%と耐湿性が著しく改善することが確認された。
これにより、汎用性のあるPET(ポリエチレンテレフタレート)からなるフレキシブル基板上にも、実用可能な導電膜を形成することが可能であることが確認された。
ただし、図7のように、二層構造のZnO導電膜2(2a)の上にさらにZnO導電膜層(2b,2c……)を形成する場合、三層目以降のZnO導電膜層(2b,2c……)が、互いに隣接するZnO導電膜層が含有するIII族元素酸化物とは種類の異なるIII族元素酸化物をドーパントとして含有するように構成することが、結晶性が高く耐湿性に優れた透明導電膜を得る見地からは必要である。
したがって、本願発明は、フラットパネルディスプレイや太陽電池の透明電極など、種々の用途に広く適用することが可能である。
Claims (9)
- 酸化亜鉛にIII族元素酸化物をドーピングして基体上に成長させた二層以上の導電膜層を備えた、複数層構造を有する導電膜であって、
基体の表面と接するように形成された、III族元素酸化物をドーパントとして含み、または含まない、ZnOを主たる成分とする第1のZnO導電膜層と、
前記第1の導電膜層上に形成された、前記第1の導電膜層に含まれるIII族元素酸化物とは種類の異なるIII族元素酸化物をドーパントとして含む、透明性を有する第2のZnO導電膜層と
を備え、かつ、
前記第1のZnO導電膜層は、その膜厚が、前記第2のZnO導電膜層の膜厚より小さいこと
を特徴とする導電膜。 - 前記第2のZnO導電膜層上に、前記第2のZnO導電膜層に含まれるIII族元素酸化物とは種類の異なるIII族元素酸化物をドーパントとして含む、透明性を有する第3のZnO導電膜層を備えていることを特徴とする請求項1記載の導電膜。
- 前記第2のZnO導電膜層上に、互いに隣接する導電膜層に含まれるIII族元素酸化物とは種類の異なるIII族元素酸化物をドーパントとして含む、透明性を有する二層以上のZnO導電膜層を備えていることを特徴とする請求項1記載の導電膜。
- 前記第1のZnO導電膜層の膜厚が5〜50nmであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の導電膜。
- 前記第1のZnO導電膜層以外の、前記第2のZnO導電膜層以降のZnO導電膜層が、酸化亜鉛(ZnO)を主成分とし、III族元素酸化物を7重量%以下の割合で含有するものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の導電膜。
- ZnO(002)ロッキングカーブの半値幅が5°以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の導電膜。
- 前記基体が、ガラス、水晶、サファイア、シリコン、炭化ケイ素、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルスルフォン、ポリイミド、シクロオレフィン系ポリマーおよびポリカーボネイトからなる群より選ばれる少なくとも1種を主たる成分とするものであることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の導電膜。
- 前記各ZnO導電膜層が、スパッタリング法、蒸着法、蒸着イオンプレーティング法、レーザーアブレーション法、アークプラズマ蒸着法およびめっき法からなる群より選ばれる方法により成膜されたものであることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の導電膜。
- 請求項1〜8のいずれかに記載の導電膜の製造方法であって、
前記第1のZnO導電膜層を、スパッタリング法、蒸着法、蒸着イオンプレーティング法、レーザーアブレーション法、アークプラズマ蒸着法およびめっき法からなる群より選ばれる方法を用い、加熱しながら成膜を行う加熱成膜の方法により形成した後、
前記第1のZnO導電膜層上に、スパッタリング法、蒸着法、蒸着イオンプレーティング法、レーザーアブレーション法、アークプラズマ蒸着法およびめっき法からなる群より選ばれる方法により、加熱しながら、または加熱せずに、前記第2のZnO導電膜層以降のZnO導電膜層を形成すること
を特徴とする導電膜の製造方法。
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