JP4943084B2 - ピンホール検査装置用電極 - Google Patents

Description

本発明はピンホール検査装置用の電極に係り、特に可撓性を有する容器、や表面に特殊な凹凸を有する容器のピンホール検査を行うピンホール検査装置に有用な電極に関する。

導電性を有する液体を封入した容器のピンホールを検査する装置は、種々提案されている。一概にピンホール検査装置と称しても、検査対象とする容器は、一定の形状を保つように形成された形状固定型の容器から、可撓性を有する容器（可撓性包装体：ソフトバッグ）までの多岐にわたる。このような種々の形態、特性を有する容器にはそれぞれ、検査対象とする容器の形状、特性に合わせた検査電極が用いられる。例えば、形状固定型の容器のピンホール検査を行う際に最も多く用いられる電極としては、特許文献１に示されるようなブラシ状の電極である。また、複雑な形状の容器や、可撓性を有するいわゆるソフトバッグ等のピンホール検査を行う際には、特許文献２に示されるような鎖状電極が用いられることがある。

このように、ピンホール検査装置に用いられる電極は、検査対象とする容器の形状や特性に応じて適宜選択されることで、種々の形状、特性を有する容器のピンホール検査を行うことが可能とされている。
特開２００２−１４８２４１号公報 特開平１０−２８８５６４号公報

上記特許文献に示されているような電極を選択的に用いれば、様々な形状、特性を有する容器のピンホール検査を行うことが可能となると考えられる。しかし、上記特許文献に示されているような電極には次のような問題がある。まず、ブラシ状電極は、検査対象とする面が山形である場合、ブラシの先端が割れてしまい、検査面に電極が追従することができなくなってしまう虞がある。次に、鎖状電極は、電極の先端部以外の部分を検査対象とする容器面に這わすこととなるため、検査面の形状変化に対する応答性が悪く、走査速度の低下を招く虞がある。
そこで本発明では、検査面に対する追従性、及び応答性が良好で、様々な形状、特性を持つ容器のポンホール検査に有用なピンホール検査装置用電極を提供することを目的とする。

上記目的を達成するための本発明に係るピンホール検査装置用電極は、少なくとも導電性を有する液体を封入した容器に電圧を印加してピンホールの有無を検査するピンホール検査装置に用いられる電極であって、検査対象とする容器を搬送するラインと交差する方向に沿って配置された回転軸と、前記回転軸に対して複数、櫛歯状に配置される針状の導電性部材と、前記回転軸に対して、前記複数の導電性部材を個別に回動可能に配置する支持部と、前記導電性部材を前記回転軸を基点とする垂線に対して前記容器の搬送方向に傾いた位置を定常位置として設置するためのストッパと、前記回転軸に対して回動させられた前記導電性部材を、前記定常位置に復帰させる復帰手段とを有することを特徴とする。

また、上記構成のピンホール検査装置用電極において、前記復帰手段は、導電性部材の復帰方向に付勢力を付与する弾性体とすることができる。また、前記復帰手段は、錘としても良い。
また、上記構成のピンホール検査装置用電極では、前記回転軸に対して櫛歯状に配置される前記導電性部材の配置幅は、検査領域よりも広く設定されていることが望ましい。
さらに、上記構成のピンホール検査装置用電極では、前記導電性部材の先端に曲面部を設けるようにすることが望ましい。

上記のような構成のピンホール検査装置用電極によれば、検査対象とする容器の検査面に対する追従性、及び応答性が良好で、様々な形状、特性を持つ容器のピンホール検査に適用することができる。また、検査面に対する追従性、応答性が良好であるため、速い速度での走査にも対応することができ、検査時間の短縮化を図ることも可能となる。また、復帰手段にバネ等の弾性体を用いることにより、検査面に対する追従性をさらに向上させることが可能となる。また、復帰手段を錘とした場合には、電極全体の構成を簡単なものとしつつ、検査面に対する追従性を確保することが可能となる。
さらに、電極部剤の先端に曲面部を設けるようにすることで、検査対象とする容器が傷つき易い素材であったとしても、検査により容器表面を傷めることを防止することができる。

以下、本発明のピンホール検査装置用電極に係る実施の形態について図面を参照しつつ説明する。なお、以下に示す実施の形態は、本発明に係る一部の実施形態であり、本発明の技術的範囲は以下の実施形態のみに拘束されるものでは無い。

図１は、本実施形態に係るピンホール検査装置用電極を搭載したピンホール検査装置の一例を示す概略側面図であり、図２は、同ピンホール検査装置の平面構成の概略を示す図である。
本実施形態に係るピンホール検査装置用電極は、種々の形態、特性を有する容器のピンホール検査を可能とするが、本実施形態では一般にピンホール検査が困難とされる可撓性包装体（ソフトバッグ）を検査対象容器として例に挙げ、このソフトバッグに形成されたピンホールを検査するピンホール検査装置用電極として以下に説明する。図１に示すピンホール検査装置１００にてピンホール検査を行うソフトバッグ１１０は、図３に示すような形態のものとする。すなわち、１つのソフトバッグ１１０に対して、種類や濃度の異なる２種類の液体を封入することを可能としたものであり、具体的構成は次のようなものである。

液体を封入する封入口１１５ａ，１１５ｂをソフトバッグ１１０の両端に配置し、樹脂等の絶縁性物質で構成された可撓性を有するフィルムを重ね合わせ、その周縁部１１７を熱圧着等により接合する。これにより、封入口１１５ａ，１１５ｂ以外の周縁部１１７が封止された可撓性包装体が構成される。そして、内部に封入する２種類の液体の容量に応じて、包装体の内部に分割部１１６を形成し、第１封入部１１２と第２封入部１１４を構成する。分割部１１６の形成は、周縁部１１７の接合と同様に熱圧着によるものとすることができるが、分割部１１６を形成する際の熱圧着は、周縁部１１７よりも圧着部を狭くしておくと良い。このような構成とすることにより、各封入部（第１封入部１１２と第２封入部１１４）にそれぞれ導電性を有する液体を封入した後、各封入部を押圧することで、前記分割部１１６の圧着部が剥離し、２種類の液体をソフトバッグ１１０の内部で混合することができるようになるからである。

上記のような構成のソフトバッグ１１０の第１封入部１１２と第２封入部１１４のそれぞれに液体を封入し、それぞれの封入口１１５ａ，１１５ｂを封止すると、各封入部１１２，１１４には図３に示すように気体（例えば空気）１１８が混入し、空気層（気体溜り）を構成することがある。ソフトバッグ１１０を構成するフィルム内部に空気溜りが構成された部分では、フィルムと液体との間に絶縁層が形成されることとなるため、ピンホールが形成されていた場合であっても火花放電が生ずることは無く、当該部位に対するピンホール検査は困難とされている。

図１に示すピンホール検査装置１００は、上記のような２液制のソフトバッグ１１０のピンホール検査を行うことを可能とするために、２つの検査部を備える構成とした。図１に示すピンホール検査装置１００の基本構成は、第１検査部１０と第２検査部３０、及び前記ソフトバッグ１１０を各検査部１０，３０に搬入するための搬送手段４０とから成る。そして、前記第１検査部１０と前記第２検査部３０との間には、搬送されるソフトバッグ１１０の姿勢を補正するための姿勢補正部２０を設けるようにしている。

上記のような基本構成を有するピンホール検査装置１００において、前記第１検査部１０は、図４に示すように、振動付与手段６０、高電圧印加電極５０、及び検知電極７０ａ，７０ｂとを基本として構成される。本実施形態における前記振動付与手段６０は、図５に示すように、回転軸６２と、この回転軸６２に固定された複数のブロック（プレート）６４とから構成される。前記ブロック６４は、その断面形状を六角形としている。そして、このような断面多角形のブロック６４を備える振動付与手段６０では、それぞれのブロック６４においてソフトバッグ１１０を押圧するタイミングをずらすため、隣接するブロック６４との間で、六角形の頂点部分の配置をずらす構成とすることが望ましい。例えば回転軸６２とブロック６４とをキー６６により固定する場合において、隣接するブロック６４間の配置を円周方向に３０°づつずらして配置する場合には、次のような構成とすると良い。まず、各ブロック６４には回転軸６２を挿通させる貫通孔６５を設け、貫通孔６５構成後に、配置を３０°ずらした２つのキー溝６８ａ，６８ｂを形成する。このような構成とすることにより、１種類のブロック６４を２つの形態で回転軸６２に固定することが可能となるからである。

上記のようにして構成する振動付与手段６０の構成材料は、少なくともブロック６４が樹脂等の絶縁性物質により構成されるようにする。また、振動付与手段６０によるソフトバッグ１１０の押圧は、回転軸６２を回転させながら、ブロック６４における六角形の頂点部分により連続的になされるものであり、ソフトバッグ１１０の表面に振動（衝撃）を加えることを目的としてなされる。このため、ブロック６４の頂点部分を含むエッジ部分は、ソフトバッグ１１０に損傷を与える事が無いように、Ｒを設けるようにすることが望ましい。また、振動付与手段６０の回転軸６２の固定位置は、検査対象とするソフトバッグ１１０の厚みやブロック６４の形状等を踏まえて決定する。本実施形態の場合は、前記ブロック６４の頂点部分がソフトバッグ１１０を押圧し、ブロック６４の平面部分はソフトバッグ１１０に接触しない程度の高さとなる位置に、前記回転軸６２を固定することが望ましい。このように構成された振動付与手段６０によれば、検査部１０，３０に搬入されたソフトバッグ１１０の上側表面を連続的に押圧し、当該部分に振動（衝撃）を付与する。振動を付与されたソフトバッグ１１０の内部では、内包された液体の上面に波紋が広がり、内部液体が攪拌、あるいは波打ったような状態となる（攪拌作用と称す）。このような攪拌作用により、ソフトバッグ１１０の内部表層部に形成された空気溜りに溜まった空気は、小さな気泡となり一時的に拡散することとなる。

なお、上記のように構成される振動付与手段６０の回転軸６２には、詳細を図示しないモータ６９を駆動源として回転が付与される。回転軸６２の回転方向は、ソフトバッグ１１０の送り方向が、詳細を後述する搬送手段４０によるソフトバッグ１１０の搬送方向と同一となるようにする。また、振動付与手段６０におけるブロック６４の回転速度、すなわち送り速度は、前記搬送手段４０の送り速度に合わせるようにすることが望ましい。このような回転制御を行うことにより、ソフトバッグ１１０の搬送姿勢が傾くことを防止することができる。

前記検知電極７０ａ，７０ｂは、前記ソフトバッグ１１０の搬送方向に沿って、第１検知電極７０ａと第２検知電極７０ｂが設けられる。また、前記第１検知電極７０ａと第２検知電極７０ｂは互いに、ソフトバッグ１１０の下側表面に接触するように設けられ、各検知電極７０ａ，７０ｂは検知対象とするソフトバッグ１１０の搬送方向の長さよりも短い間隔をあけて配置される。

一方、前記高電圧印加電極５０は、前記第１検知電極７０ａと前記第２検知電極７０ｂとの間に配置され、前記ソフトバッグ１１０の上側表面に接触するように設けられる。前記高電圧印加電極５０は、高圧電源の陽極側に接続され、前記２つの検知電極７０ａ，７０ｂは前記高圧電源の陰極側に接続されると共に接地される。そして、前記検知電極７０ａ，７０ｂと接地点との間には電流計測手段（電流計）が設けられ、ピンホール部に発生する放電による電流変化を検知可能な構成としている。なお、高電圧印加電極５０と第１検知電極７０ａ、及び第２検知電極７０ｂとの配置を上記のようにすることで、高電圧印加電極５０がソフトバッグ１１０に接触している間は、少なくとも一方の検知電極７０（７０ａ，７０ｂ）がソフトバッグ１１０に接触していることとなり、検査ミスを防ぐことが可能となる。

本実施形態の場合、前記高電圧印加電極５０と前記第１検知電極７０ａ、及び第２検知電極７０ｂとの形状、構成は、略同一とすることができる。その具体的形状、構成については、図６を参照して説明する。本実施形態における高電圧印加電極５０、第１検知電極７０ａ、及び第２検知電極７０ｂ（以下、総括する場合には単に電極と称す）は、弾性変形可能な針状の導電性部材（以下、針状電極５１（７１ａ，７１ｂ）と称す）より構成されており、各検査部（第１検査部１０、第２検査部３０）では、前記針状電極５１を複数、ソフトバッグ１１０の幅方向、すなわちソフトバッグ１１０の搬送方向と直交する方向に沿うように配置し、櫛歯状を成すようにしている。針状電極５１の配置幅は、検査領域よりも僅かに広く設定することが望ましい。

本実施形態で説明するピンホール検査装置１００では、２液制のソフトバッグ（図３参照）１１０を検査するため、各検査部における針状電極５１の配置幅は、第１封入部１１２または第２封入部１１４の幅よりもわずかに広い幅程度としておけば良い。針状電極５１は、その１本１本が、個別に回動可能な支持部５２（７２ａ，７２ｂ）に固定されている。前記支持部５２は、その中心に、ソフトバッグ１１０の幅方向に沿って配置された回転軸を挿通させている。そして針状電極５１は前記支持部５２を介して、ソフトバッグ１１０に電圧を印加したり、放電電流の検知を行う電極部５３（７３ａ，７３ｂ）と、前記電極部５３の重量を相殺する錘を備えたカウンタ部５４（７４ａ，７４ｂ）とに分別することができる。

前記電極部５３は、前記支持部５２の設置位置を基点とする垂線に対して、ソフトバッグ１１０の搬送方向に僅かに傾いた位置を定常位置として設置されることが望ましい。そして、各針状電極５１の電極部５３は、ソフトバッグ１１０が接触した際に当該ソフトバッグ１１０の接触に伴ってソフトバッグ１１０の搬送方向に回動すると共に、前記ソフトバッグ１１０の表面に沿って付勢するように構成される。

針状電極５１に対する付勢力の付与は、弦巻バネ等の弾性部材５８（７８ａ，７８ｂ）によって成すようにすれば良い。具体的には、前記支持部５２を固定する固定部５５（７５ａ，７５ｂ）に、前記ソフトバッグ１１０の搬送方向に支持端５７（７７ａ，７７ｂ）を有するステー５６（７６ａ，７６ｂ）を配置する。そして、前記ステー５６の支持端５７から前記針状電極５１におけるカウンタ部５４に前記弾性部材５８を接続し、針状電極５１が定常位置から回動した際に、引張りの力が生ずる構成ように構成するのである。このような構成とすることにより、針状電極５１には定常位置に戻ろうとする力が付与されることとなり、ソフトバッグの進行により電極部５３が回動させられた場合には、前記ソフトバッグ１１０の表面形状に沿うように付勢力が付与されることとなる。そして、ソフトバッグ１１０の幅方向に沿って複数設けられた針状電極５１のそれぞれが個別に回動、付勢を繰り返すこととなるため、本実施形態における電極は、検査面から脱落したり、検査面に追従することができなくなったりする虞が無い。例えば本実施形態に係る電極を用いてソフトバッグ１１０表面のピンホール検査を行う場合、ソフトバッグ１１０の表面に凹凸があったとしても、図７に示すように電極部５１は、ソフトバッグ１１０表面に付勢することとなる。なお、電極部５１の先端は、接触によるソフトバッグ１１０表面の損傷を防止するために、ソフトバッグ１１０の搬送方向に沿って屈曲させ、ソフトバッグ１１０との接触部に丸みを持たせておくと良い。また、本実施形態では、前記電極が定常位置を越えて垂直状態とならないように、固定部５５の上部にストッパ５９（７９ａ，７９ｂ）を設ける構成としている。

本実施形態で説明するピンホール検査装置１００では、２液制のソフトバッグ１１０における第１封入部１１２と第２封入部１１４とを個別段階的に検査するようにしているため、第１検査部１０でのピンホール検査を実施した際に、ソフトバッグ１１０の搬送姿勢がくずれ、搬送方向に対してソフトバッグ１１０が傾いた状態となることがある。このため、前記姿勢補正部２０では、傾いたソフトバッグ１１０の姿勢を補正するようにすることで、第２検査部３０でのピンホール検査を適切に行うことを可能な状態とするのである。

このような機能を有する前記姿勢補正部２０の具体的構成は次のようなものであれば良い。すなわち、ソフトバッグ１１０に接触し、その搬送を強制的に止めることで姿勢を補正する姿勢補正板８０と、この姿勢補正板８０を固定する回動部８２、回動部８２と連動するアーム部８４に接続されたシリンダ機構９０、前記回動部８２を固定する固定部８６、及び前記シリンダ機構９０を回動可能に支持する支持部９４である。このような構成から成る姿勢補正部２０は、シリンダ機構９０のロッド９２が伸長することにより、回動部８２に連動するアーム部８４が押し上げられ、回動部８２に固定された姿勢補正板８０が回動する。このような構成の姿勢補正部２０によれば、姿勢補正板８０が垂下された状態では、ソフトバッグ１１０の進行を妨げる。進行が妨げられたソフトバッグ１１０の姿勢は、当該姿勢補正板８０の配置形態に沿った状態、すなわち搬送方向に対して直交した状態に補正される。その後、シリンダ機構９０のロッド９２を伸長させることで姿勢補正板８０は跳ね上げられる。姿勢補正板８０が跳ね上げられると、進行を妨げられていたソフトバッグ１１０は再び進行を開始し（搬送が開始され）、姿勢補正板８０の下側を通過して第２検査部３０へと搬入される。

前記第２検査部３０の構成は、その殆どが上記第１検査部１０と同様であり、第１検査部１０と第２検査部３０との相違点は、振動付与手段６０、及び電極５０，７０ａ，７０ｂの配置位置のみである。すなわち、本実施形態に係るピンホール検査装置１００では、２液制のソフトバッグ１１０における各封入部１１２，１１４を個別段階的に検査するために第１検査部１０と第２検査部３０を設けている。このため、第１検査部１０を第１封入部１１２の検査部とした場合には第２検査部３０を第２封入部１１４の検査部とするため、その振動付与手段６０と電極の配置位置を、ソフトバッグ１１０の搬送方向に対して線対称な位置関係となるようにずらしている。なお、振動付与手段６０及び電極５０，７０ａ，７０ｂの配置幅は、各封入部１１２，１１４の幅に合わせて設定するようにすれば良い。他の構成については上述した第１検査部１０と同様であるため、その詳細な説明は省略することとする。

前記搬送手段４０は、本実施形態の場合、搬送方向に沿って配置された複数のローラ４２によって構成される。また、本実施形態における搬送手段４０では、各検査部１０，３０において検知電極７０ａ，７０ｂを設けるために、当該部分にはローラ４２を配置しないようにしている。

上記のような構成のピンホール検査装置に搭載された電極５０，７０ａ，７０ｂでは、図１中右方向から左方向へ向かってソフトバッグ１１０が搬送され、ソフトバッグ１１０が第１検査部１０に到達すると、まず、ソフトバッグ１１０の下面側から第１検知電極７０ａが接触する。第１検知電極７０ａがソフトバッグ１１０に接触すると、第１検知電極７０ａを構成する各針状電極７１ａは、ソフトバッグ１１０の下面側形状に沿って回動し、ソフトバッグ１１０の下側表面に付勢する。

そしてソフトバッグ１１０がそのまま進行すると、ソフトバッグ１１０の上面側に高電圧印加電極５０が接触する。高電圧印加電極５０を構成する針状電極５１も、前記第１検知電極７０ａと同様に、ソフトバッグ１１０の表面形状（上側表面）に沿って回動し、付勢する。

双方の電極５０，７０ａを接触させたまま搬送されて振動付与手段６０の配置位置に至ると、ソフトバッグ１１０の上側表面には振動付与手段６０により連続的な振動が付与され、ソフトバッグ１１０上面内部に形成された空気溜りに溜まった空気が拡散される。空気が拡散され、濡れ性を得たソフトバッグの上面内部は導電性を得るため、ピンホール検査を行うことが可能な状態となる。前記高電圧印加電極５０を構成する針状電極５１は、個別に回動可能であり、ソフトバッグ１１０の表面に付勢するため、検査表面から脱落することなくピンホール検査を行うことができる。

また、ソフトバッグ１１０が振動付与手段６０の配置位置に到達する頃には、ソフトバッグ１１０の下面側に第２検知電極７０ｂが接触し、第２検知電極７０ｂを構成する各針状電極５１がソフトバッグ１１０の下側表面に追従することとなる。このため、ソフトバッグ１１０の進行により第１検知電極７０ａがソフトバッグ１１０から離れた場合であっても、ソフトバッグ１１０のピンホール検査を行うことができる。なお、ソフトバッグ１１０にピンホールが存在していた場合、ピンホール部分で火花放電が生じ、検知電極７０ａ，７０ｂ側に流れる電流に変化が生ずるため、ピンホールの有無を検知することができる。

このように、複数の針状電極を検査対象とする容器の幅方向に配置し、各針状電極を個別に回動可能な支持部に固定し、各針状電極の電極部を検査対象とする容器表面に付勢させるようにしたことで、電極が検査位置からずれることがなくなり、容器の形状、特性に関わらず、簡易迅速なピンホール検査を行うことが可能となる。

次に、図８、及び図９を参照して、本発明のピンホール検査装置用電極に係る第２の実施形態について説明する。なお、本実施形態に係る電極５０，７０ａ，７０ｂの基本的構成は、上述した第１の実施形態に係る電極と同じである。すなわち、回動可能な支持部５２，７２ａ，７２ｂと、この支持部５２，７２ａ，７２ｂに支持される針状電極５１，７１ａ，７１ｂとを基本とする。

本実施形態に係る電極５０，７０ａ，７０ｂの特徴は、ソフトバッグ１１０の表面に対する付勢力を与える復帰手段として、錘１５８，１７８ａ，１７８ｂを設ける構成とした点である。復帰手段としてバネ等の弾性部材を用いるのでなく、錘を用いるようにすることで、電極の構成を簡略化することができるようになる。

復帰手段として錘を用いる構成を採る場合には、検知電極７０ａ，７０ｂと高電圧印加電極５０とで、その構成が異なることとなる。具体的には、検知電極７０ａ，７０ｂの場合、図８に示すように、錘１７８ａ，１７８ｂは、カウンタ部７４ａ，７４ｂに配置する構成となる。このような構成とすることにより、錘１７８ａ，１７８ｂが引力により垂直方向へ落下しようとする力を利用して、電極部７３ａ，７３ｂを定常位置まで復帰させることが可能となり、検査時においてはソフトバッグ１１０表面に電極部７３ａ，７３ｂを付勢させることができる。なお、錘１７８ａ，１７８ｂの形状は、隣接する針状電極７１ａ，７１ｂとの接触を防ぐことができる形状であれば特に限定するものでは無い。例えば平板状等であれば良い。

一方、高電圧印加電極５０の場合、図９に示すように、錘１５８は電極部５３に配置する構成となる。錘１５８を電極部５３に配置することにより、上記検知電極７０ａ，７０ｂと同様な作用を奏することが可能となるからである。
このように、復帰手段に錘を用いた場合であっても、上記第１の実施形態に示した電極と同様な作用を奏することができ、種々の形状、特性を有する容器を効率的に検査することが可能となる。

本発明に係るピンホール検査装置用電極を搭載したピンホール検査装置の概略側面を示す図である。 本発明に係るピンホール検査装置用電極を搭載したピンホール検査装置の概略平面を示す図である。 ２液制のソフトバッグの構成例を示す図である。 検査部の構成例を示す図である。 検査部における振動付与手段の構成例を示す図である。 第１の実施形態に係る電極の構成例を示す図である。 検査表面に追従する電極の様子を示す参考図である。 第２の実施形態に係る検知電極の構成例を示す図である。 第２の実施形態に係る高電圧印加電極の構成例を示す図である。

符号の説明

１０………第１検査部、２０………姿勢補正部、３０………第２検査部、４０………搬送手段、５０………高電圧印加電極、６０………振動付与手段、６２………回転軸、６４………ブロック、６９………モータ、７０ａ………第１検知電極、７０ｂ………第２検知電極、８０………姿勢補正板、８２………回動部、８４………アーム部、８６………固定部、９０………シリンダ機構、９２………ロッド、９４………支持部、１００………ピンホール検査装置、１１０………ソフトバッグ。

Claims (4)

1. 少なくとも導電性を有する液体を封入した容器に電圧を印加してピンホールの有無を検査するピンホール検査装置に用いられる電極であって、
   検査対象とする容器を搬送するラインと交差する方向に沿って配置された回転軸と、
   前記回転軸に対して複数、櫛歯状に配置される針状の導電性部材と、
   前記回転軸に対して、前記複数の導電性部材を個別に回動可能に配置する支持部と、
   前記導電性部材を前記回転軸を基点とする垂線に対して前記容器の搬送方向に傾いた位置を定常位置として設置するためのストッパと、
   前記回転軸に対して回動させられた前記導電性部材を、前記定常位置に復帰させる復帰手段とを有することを特徴とするピンホール検査装置用電極。
2. 前記復帰手段は、導電性部材の復帰方向に付勢力を付与する弾性体であることを特徴とする請求項１に記載のピンホール検査装置用電極。
3. 前記復帰手段は、錘であることを特徴とする請求項１に記載のピンホール検査装置用電極。
4. 前記回転軸に対して櫛歯状に配置される前記導電性部材の配置幅は、検査領域よりも広く設定されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１に記載のピンホール検査用電極。

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