JP4882480B2 - 保護膜除去装置、薬液の回収方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
上述した液浸露光を行うにあたって、液浸露光時における、レジストの溶出を抑えると共に液層をウエハ表面に残りにくくするために、ウエハにレジスト液を塗布した後、ウエハの表面に撥水性の保護膜を形成することが検討されている。
上面に基板よりも大きい開口部が形成されたカップ体と、このカップ体内に設けられ、基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部に保持された基板の表面に、フッ素系の溶剤である保護膜の除去液を供給する除去液供給ノズルと、
前記除去液供給ノズルから供給された除去液とこの除去液により溶解した保護膜の溶解液との混合液である薬液を基板から振り切るために基板保持部を鉛直軸回りに回転させる駆動機構と、
前記カップ体の内周面との間に、前記薬液が通流する排液路をなす隙間を形成するガイド部材と、
基板上の液の振り切りを行っていないときに前記排液路を封止する封止手段と、
前記カップ体の底部に回収路を介して接続された回収タンクと、を備えており、かつ、
前記封止手段が、以下に列挙するいずれかの特徴を有する。
(1) 前記封止手段は、前記ガイド部材のガイド面部の一部により構成され、前記ガイド部材は、昇降機構により昇降自在に構成され、ガイド部材を上昇させたときに前記ガイド面部の一部が前記カップ体の内周面に密接して排液路が封止される。
(2) 前記封止手段は、前記ガイド部材のガイド面部にて全周に亘って形成された封止用部材と、この封止用部材を下方側から突き上げるためのリング状の突き上げ部材と、この突き上げ部材を昇降させるための昇降機構と、を備え、
前記封止用部材を突き上げて前記カップ体の内周面に密接させることにより排液路を封止する。
(3) 前記封止手段は、カップ体の内周面及びガイド部材のガイド面部の一方に全周に亘って形成された液受け部と、
この液受け部とカップ体の内周面との隙間に液リングを形成して当該隙間を封止するための封止用の液を供給する液供給部と、
液受け部上の液を吸引する手段と、を備える。
前記基板保持部にカップ体の上面開口部を通じて基板を水平に載置して保持する工程と、
次いで除去液供給ノズルからフッ素系の溶剤である保護膜の除去液を基板の表面に供給すると共に基板保持部を鉛直軸回りに回転させ、前記除去液とこの除去液により溶解した保護膜の溶解液との混合液である薬液を基板から振り切り、前記排液路を通じて排出する工程と、
排出された薬液を回収する工程と、
基板上の液の振り切りを行っていないときに前記排液路を封止する工程と、を含み、かつ、
前記排液路を封止する工程が、以下に列挙するいずれかの特徴を有する。
(1) 前記排液路を封止する工程は、ガイド部材を上昇させ前記ガイド面部の一部が前記カップ体の内周面に密接して排液路が封止される工程である。
(2) 前記排液路を封止する工程は、前記ガイド部材のガイド面部にて全周に亘って形成された封止用部材を下方側から突き上げて前記カップ体の内周面に密接させる工程である。
(3) 前記排液路を封止する工程は、カップ体の内周面及びガイド部材のガイド面部の一方に全周に亘って形成された液受け部とカップ体の内周面との隙間に液リングを形成して当該隙間を封止する工程である。
また図6に示すように保護膜除去装置40のカップ体52の底面部から延びた回収管64の先端部は例えば塗布、現像装置の外部に設けられた回収タンク80の上部開口部に挿入され、回収タンク80の底面近傍まで伸びている。前記回収管64にはバルブV1が介設されている。また図6に示すように前記回収タンク80は回収タンク満杯検出手段である重量センサ82の上に載置されており、回収タンク80が予め設定した重さになったときに、重量センサ82の重量計測値に基づいて図示しないアラーム発生部からアラームが発せられると共に図示しない操作パネル上に回収タンク80が満杯であることが表示されるようになっている。
W ウエハ
40 保護膜除去装置
5 ガイドリング
5a 隙間
50 スピンチャック
52 カップ体
54 昇降機構
62 排気管
64 回収管
63 吸引ポンプ
70 除去液供給ノズル
74 純水液供給ノズル
80 回収タンク
82 重量センサ
9 制御部
90 封止用部材
91 支持部材
V1 バルブ
Claims (11)
- レジスト膜の表面に撥水性の保護膜を形成した状態で液浸露光した後の基板に対して保護膜の除去処理を行う装置において、
上面に基板よりも大きい開口部が形成されたカップ体と、
このカップ体内に設けられ、基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部に保持された基板の表面に、フッ素系の溶剤である保護膜の除去液を供給する除去液供給ノズルと、
前記除去液供給ノズルから供給された除去液とこの除去液により溶解した保護膜の溶解液との混合液である薬液を基板から振り切るために基板保持部を鉛直軸回りに回転させる駆動機構と、
前記カップ体の内周面との間に、前記薬液が通流する排液路をなす隙間を形成するガイド部材と、
基板上の液の振り切りを行っていないときに前記排液路を封止する封止手段と、
前記カップ体の底部に回収路を介して接続された回収タンクと、を備え、
前記封止手段は、前記ガイド部材のガイド面部の一部により構成され、前記ガイド部材は、昇降機構により昇降自在に構成され、ガイド部材を上昇させたときに前記ガイド面部の一部が前記カップ体の内周面に密接して排液路が封止されることを特徴とする保護膜除去装置。 - レジスト膜の表面に撥水性の保護膜を形成した状態で液浸露光した後の基板に対して保護膜の除去処理を行う装置において、
上面に基板よりも大きい開口部が形成されたカップ体と、
このカップ体内に設けられ、基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部に保持された基板の表面に、フッ素系の溶剤である保護膜の除去液を供給する除去液供給ノズルと、
前記除去液供給ノズルから供給された除去液とこの除去液により溶解した保護膜の溶解液との混合液である薬液を基板から振り切るために基板保持部を鉛直軸回りに回転させる駆動機構と、
前記カップ体の内周面との間に、前記薬液が通流する排液路をなす隙間を形成するガイド部材と、
基板上の液の振り切りを行っていないときに前記排液路を封止する封止手段と、
前記カップ体の底部に回収路を介して接続された回収タンクと、を備え、
前記封止手段は、前記ガイド部材のガイド面部にて全周に亘って形成された封止用部材と、この封止用部材を下方側から突き上げるためのリング状の突き上げ部材と、この突き上げ部材を昇降させるための昇降機構と、を備え、
前記封止用部材を突き上げて前記カップ体の内周面に密接させることにより排液路を封止することを特徴とする保護膜除去装置。 - 前記封止用部材は、リング状の弾性膜であることを特徴とする請求項2記載の保護膜除去装置。
- 前記封止用部材は、前記ガイド面部に嵌合しているリング状の嵌合部材であることを特徴とする請求項2記載の保護膜除去装置。
- レジスト膜の表面に撥水性の保護膜を形成した状態で液浸露光した後の基板に対して保護膜の除去処理を行う装置において、
上面に基板よりも大きい開口部が形成されたカップ体と、
このカップ体内に設けられ、基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部に保持された基板の表面に、フッ素系の溶剤である保護膜の除去液を供給する除去液供給ノズルと、
前記除去液供給ノズルから供給された除去液とこの除去液により溶解した保護膜の溶解液との混合液である薬液を基板から振り切るために基板保持部を鉛直軸回りに回転させる駆動機構と、
前記カップ体の内周面との間に、前記薬液が通流する排液路をなす隙間を形成するガイド部材と、
基板上の液の振り切りを行っていないときに前記排液路を封止する封止手段と、
前記カップ体の底部に回収路を介して接続された回収タンクと、を備え、
前記封止手段は、カップ体の内周面及びガイド部材のガイド面部の一方に全周に亘って形成された液受け部と、
この液受け部とカップ体の内周面との隙間に液リングを形成して当該隙間を封止するための封止用の液を供給する液供給部と、
液受け部上の液を吸引する手段と、を備えたことを特徴とする保護膜除去装置。 - カップ体内に設けられた基板保持部と、前記カップ体の内周面との間に、排液路をなす隙間を形成するガイド部材と、を備えた保護膜の除去装置を用い、レジスト膜の表面に撥水性の保護膜を形成した状態で液浸露光した後の基板に対して保護膜の除去処理を行う方法において、
前記基板保持部にカップ体の上面開口部を通じて基板を水平に載置して保持する工程と、
次いで除去液供給ノズルからフッ素系の溶剤である保護膜の除去液を基板の表面に供給すると共に基板保持部を鉛直軸回りに回転させ、前記除去液とこの除去液により溶解した保護膜の溶解液との混合液である薬液を基板から振り切り、前記排液路を通じて排出する工程と、
排出された薬液を回収する工程と、
基板上の液の振り切りを行っていないときに前記排液路を封止する工程と、を含み、
前記排液路を封止する工程は、ガイド部材を上昇させ前記ガイド面部の一部が前記カップ体の内周面に密接して排液路が封止される工程であることを特徴とする保護膜除去方法。 - カップ体内に設けられた基板保持部と、前記カップ体の内周面との間に、排液路をなす隙間を形成するガイド部材と、を備えた保護膜の除去装置を用い、レジスト膜の表面に撥水性の保護膜を形成した状態で液浸露光した後の基板に対して保護膜の除去処理を行う方法において、
前記基板保持部にカップ体の上面開口部を通じて基板を水平に載置して保持する工程と、
次いで除去液供給ノズルからフッ素系の溶剤である保護膜の除去液を基板の表面に供給すると共に基板保持部を鉛直軸回りに回転させ、前記除去液とこの除去液により溶解した保護膜の溶解液との混合液である薬液を基板から振り切り、前記排液路を通じて排出する工程と、
排出された薬液を回収する工程と、
基板上の液の振り切りを行っていないときに前記排液路を封止する工程と、を含み、
前記排液路を封止する工程は、前記ガイド部材のガイド面部にて全周に亘って形成された封止用部材を下方側から突き上げて前記カップ体の内周面に密接させる工程であることを特徴とする保護膜除去方法。 - 前記封止用部材は、リング状の弾性膜であることを特徴とする請求項7記載の保護膜除去方法。
- 前記封止用部材は、前記ガイド面部に嵌合しているリング状の嵌合部材であることを特徴とする請求項7記載の保護膜除去方法。
- カップ体内に設けられた基板保持部と、前記カップ体の内周面との間に、排液路をなす隙間を形成するガイド部材と、を備えた保護膜の除去装置を用い、レジスト膜の表面に撥水性の保護膜を形成した状態で液浸露光した後の基板に対して保護膜の除去処理を行う方法において、
前記基板保持部にカップ体の上面開口部を通じて基板を水平に載置して保持する工程と、
次いで除去液供給ノズルからフッ素系の溶剤である保護膜の除去液を基板の表面に供給すると共に基板保持部を鉛直軸回りに回転させ、前記除去液とこの除去液により溶解した保護膜の溶解液との混合液である薬液を基板から振り切り、前記排液路を通じて排出する工程と、
排出された薬液を回収する工程と、
基板上の液の振り切りを行っていないときに前記排液路を封止する工程と、を含み、
前記排液路を封止する工程は、カップ体の内周面及びガイド部材のガイド面部の一方に全周に亘って形成された液受け部とカップ体の内周面との隙間に液リングを形成して当該隙間を封止する工程であることを特徴とする保護膜除去方法。 - 基板上のレジスト膜を液浸露光する前に当該レジスト膜の上に形成された撥水性の保護膜を、液浸露光後に、フッ素系の溶剤である除去液により除去するための保護膜除去装置に用いられ、コンピュータ上で動作するプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記プログラムは請求項6ないし10のいずれか一つに記載された保護膜の除去を実行するためにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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