JP4869847B2 - ナノワイヤ素子の製造方法 - Google Patents
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- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
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- H01L29/0669—Nanowires or nanotubes
- H01L29/0673—Nanowires or nanotubes oriented parallel to a substrate
Description
120 : コラム構造 130 : 第2熱酸化膜
140 : 支持構造物 150 : シリコンナノワイヤ
160 : コラム構造 300 : 第2基板
310 : 粘着剤 320 : 電極
400 : シリコン第1基板 410 : 第1熱酸化膜
420 : コラム構造 430 : 第2熱酸化膜
450 : シリコンナノワイヤ 460 : ナノワイヤ構造物
470 : 第3熱酸化膜 500 : 第2基板
510 : 酸化膜 520 : 粘着剤
530 : 電極構造物 610 : シリコン第1基板
620 : フォトレジスト 630 : アンダーカット
640 : 熱酸化膜 670 : シリコンナノワイヤ
675 : 支持構造物 710 : 電極構造
810 : ナノワイヤ 820 : 電極
830 : 絶縁層 840 : 酸化膜
850 : 有機シラン層 860 : 受容体
870 : 検出対象粒子
Claims (21)
- (100)単結晶シリコン基板に第1熱酸化膜を形成する段階と、
ナノワイヤ領域及び前記ナノワイヤよりも広い幅を有し前記ナノワイヤをその一端又は両端において支持する支持構造物領域を確保するために前記第1熱酸化膜をパターン化する段階と、
前記シリコン基板をドライエッチングして支持構造物及びコラム構造を形成する段階と、
前記シリコン基板をシリコン異方性エッチング液でウェットエッチングして支持構造物及びコラム構造の高さ方向中央部分の幅を上部及び下部の幅より狭くする段階と、
前記シリコン基板に第2熱酸化膜を形成する段階と、
前記第1及び第2熱酸化膜を取り除いて前記ナノワイヤのうち前記支持構造物領域により支持される部分を除く部分を前記単結晶シリコン基板から離隔する段階と、
前記ナノワイヤを他の基板に転写する段階と、
を含むことを特徴とする半導体ナノワイヤ素子の製造方法。 - 前記単結晶シリコン基板をシリコン異方性エッチング液でウェットエッチングする段階後に、前記第1熱酸化膜をエッチングする段階を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
- 前記第1及び第2熱酸化膜の除去はフッ酸蒸気を用いて取り除くことを特徴とする請求項1に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
- 前記単結晶シリコン基板に第1熱酸化膜を形成する段階前に、前記支持構造物が形成される領域またはナノワイヤが形成される領域の一部に高濃度の不純物をドープする段階を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
- 前記不純物はホウ素であることを特徴とする請求項4に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
- 前記単結晶シリコン基板に第1熱酸化膜を形成する段階前に、前記全てのシリコン基板或いは前記ナノワイヤが定義される一部の領域に不純物をドープする段階を更に含み、前記ナノワイヤの電気的特性は前記不純物の種類及び濃度によって調節されることを特徴とする請求項1に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
- 前記ナノワイヤの支持構造物上に電極物質を蒸着する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
- (100)単結晶半導体基板に第1熱酸化膜を形成する段階と、
ナノワイヤ領域及び前記ナノワイヤよりも広い幅を有し前記ナノワイヤをその一端又は両端において支持する支持構造物領域を確保するために前記第1熱酸化膜をパターン化する段階と、
前記単結晶半導体基板をドライエッチングして支持構造物及びコラム構造を形成する段階と、
前記単結晶半導体基板をシリコン異方性エッチング液でウェットエッチングして支持構造物及びコラム構造の高さ方向中央部分の幅を上部及び下部の幅より狭くする段階と、
前記単結晶半導体基板に第2熱酸化膜を形成する段階と、
前記単結晶半導体基板及びナノワイヤ構造物の上面に位置する酸化膜をドライエッチングで取り除く段階と、
前記単結晶半導体基板に第3熱酸化膜を形成する段階と、
前記ナノワイヤを他の基板に転写する段階と、
を含むことを特徴とする半導体ナノワイヤ素子の製造方法。 - 前記ナノワイヤを前記他の基板へ転写する段階は、前記他の基板に予め形成された位置合わせ用マークパターンを用いることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
- 前記ナノワイヤを前記他の基板へ転写する段階は、
前記ナノワイヤが形成された前記単結晶半導体基板と前記他の基板とを密着させる段階と、
前記単結晶半導体基板及び前記他の基板に熱と圧力を加える段階と、
前記単結晶半導体基板を前記他の基板から分離する段階と、
を含むことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。 - 前記他の基板は酸化膜又は窒化膜が形成されたシリコン基板或いは水晶、セラミックス、ガラス、プラスチック、及びポリマー基板のうちいずれか一つであることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
- 前記ナノワイヤを前記他の基板に転写する段階後に、前記他の基板に電極を形成する段階を更に含むことを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
- 前記ナノワイヤを前記他の基板に転写する段階前に、前記他の基板に粘着剤を均一に塗布する段階と、
前記単結晶シリコン基板を前記他の基板から分離する段階後に、前記粘着剤を前記他の基板から取り除く段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。 - 前記他の基板に粘着剤を均一に塗布する段階後に、前記粘着剤にパターンを形成する段階を更に含むことを特徴とする請求項13に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
- 前記粘着剤にパターンを形成する段階は、フォトリソグラフィ工程又はインプリンティング工程により行われることを特徴とする請求項14に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
- 前記単結晶半導体基板上に形成されたナノワイヤを前記他の基板に転写する段階前に、フォトリソグラフィ工程又はホットエンボス加工を行って前記他の基板に粘着用パターンを形成する段階を更に含むことを特徴とする請求項10に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
- 半導体第1基板にフォトレジストを形成してパターン化し、ナノワイヤ形成領域及びナノワイヤをその一端又は両端において支持する支持構造物形成領域を確保する段階と、
前記半導体第1基板を反応性イオンエッチングして支持構造物及び垂直のトレンチ構造物を形成する段階と、
前記半導体第1基板をディープ反応性イオンエッチングして支持構造物及び垂直のトレンチ構造物の下部にアンダーカット形状を形成する段階と、
前記半導体第1基板を熱酸化させて半導体ナノワイヤを形成する段階と、
前記半導体ナノワイヤのうち前記支持構造物により支持される部分を除く部分が前記シリコン第1基板から離隔されるように前記半導体第1基板に形成された熱酸化膜を取り除く段階と、
前記半導体第1基板に形成された前記半導体ナノワイヤを第2基板に転写する段階と、
前記第2基板に電極を形成する段階と、
を含むことを特徴とする半導体ナノワイヤ素子の製造方法。 - 半導体基板をフォトレジストでパターン化し、半導体ナノワイヤ形成領域及び半導体ナノワイヤをその一端又は両端において支持する支持構造物形成領域を確保する段階と、
前記半導体基板を反応性イオンエッチングして支持構造物及び垂直のトレンチ構造物を形成する段階と、
前記半導体基板をディープ反応性イオンエッチングして支持構造物及び垂直のトレンチ構造物の下部にアンダーカット形状を形成する段階と、
前記半導体基板を熱酸化して熱酸化膜を形成する段階と、
前記半導体ナノワイヤの上層部が露出されると共に前記半導体ナノワイヤと前記半導体基板との間の熱酸化膜は完全に除去されないように熱酸化膜をエッチングする段階と、
前記半導体基板に電極を形成する段階と、
前記ナノワイヤのうち前記支持構造物により支持される部分を除く部分が前記半導体ナノワイヤ基板からリリースされるように酸化膜を取り除く段階と、
前記半導体ナノワイヤを他の基板に転写する段階と、
を含むことを特徴とする半導体ナノワイヤ素子の製造方法。 - 半導体ナノワイヤの上層部が露出されると共に前記半導体ナノワイヤと前記半導体基板との間の熱酸化膜は完全に除去されないように熱酸化膜をエッチングする段階は、ウェットエッチング又はドライエッチングを用いることを特徴とする請求項18に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
- 請求項8の方法により半導体ナノワイヤが転写された他の基板に前記単結晶半導体基板ではない相異なる基板上に形成された半導体ナノワイヤを繰り返して転写する方法で高密度のナノワイヤアレイ、クロスされたナノワイヤアレイの積層又は多層構造を形成することを特徴とする半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
- 前記半導体ナノワイヤを繰り返して転写する方法は、
既に転写されたナノワイヤの厚さより一層厚い粘着剤を前記他の基板上に塗布する段階S1と、
半導体ナノワイヤを転写する段階S2と、
前記粘着剤を取り除く段階S3と、
前記段階S1、S2、S3を繰り返して行う段階と、
を含むことを特徴とする請求項20に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
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