JP4859045B2 - 固体撮像素子および電子情報機器 - Google Patents
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Description
さらに、光電変換蓄積部と半導体基板表面とを分離する第2導電型半導体ピンニング層が光電変換蓄積部上に形成されている。この第2導電型半導体ピンニング層によって低ノイズ化を図ることが可能となる。
さらに、光電変換蓄積部と第2導電型ウェル領域間に半導体基板の低濃度第1導電型半導体領域が形成される。この第1導電型低濃度半導体領域によって、光電変換蓄積部の転送ゲート電極に対するオーバーラップ幅を小さくすることができて、図11(c)に示した従来のMOS型イメージセンサのような電荷溜りが発生することをより確実に防ぎ、残像発生の原因を解消することができる。
さらに、光電変換蓄積部と半導体基板表面とを分離する第2導電型半導体ピンニング層を光電変換蓄積部上に形成している。この第2導電型半導体ピンニング層によって低ノイズ化を図ることができる。
(実施形態1)
本実施形態1では、転送トランジスタのチャネル領域を構成するウェル領域が、光電変換蓄積部側のゲート電極端面に対し、かつ光電変換蓄積部に対して電荷検出部側に後退して形成されている特徴構成を図2〜図6で詳細に説明する前に、本実施形態1の単位画素部の回路構成について図1を用いて詳細に説明する。
(実施形態2)
本実施形態1では、p型ウェル領域14は光電変換蓄積部13の先端部に対して電荷検出部23(FD)側に所定量(所定距離)だけ後退して形成され、かつ光電変換蓄積部13はその端部がゲート電極18下に潜り込んで平面視でゲート電極18とオーバーラップしている場合について説明したが、本実施形態2では、光電変換蓄積部13の先端部が、ゲート電極18下において、n型低濃度半導体領域24とp型ウェル領域14との界面Zに接する(b=cの場合)かまたは、その端部がp型ウェル領域14の界面Z内に入って位置している場合(b≧cの場合)について説明する。
(実施形態3)
図8(a)は、本発明の実施形態3のMOS型イメージセンサ10Bについて、フォトダイオード部から転送トランジスタを介して電荷検出部に至る信号電荷の転送経路の断面構造図(b<0の場合)であって、図8(b)および図8(c)は、図8(a)において点線でa−a‘で示す、光電変換蓄積部と、転送ゲート電極下のチャネル領域と、電荷検出部からなる信号電荷の転送経路におけるポテンシャル分布図であって、図8(b)は、転送ゲート電極に印加される転送制御信号としての転送パルスφTXがローレベルであるときのポテンシャル分布図、図8(c)は、転送ゲート電極に印加される転送制御信号としての転送パルスφTXがハイレベルであるときのポテンシャル分布図である。
(実施形態4)
図9は、本発明の実施形態4として、本発明の実施形態1の単位画素部を有する固体撮像素子としてのMOS型イメージセンサを撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。
さらに、光電変換蓄積部と第2導電型ウェル領域間に半導体基板の低濃度第1導電型半導体領域が形成される。この第1導電型低濃度半導体領域によって、光電変換蓄積部の転送ゲート電極に対するオーバーラップ幅を小さくすることができて、図11(c)に示した従来のMOS型イメージセンサのような電荷溜りが発生することをより確実に防ぎ、残像発生の原因を解消することができる。
さらに、光電変換蓄積部と半導体基板表面とを分離する第2導電型半導体ピンニング層を光電変換蓄積部上に形成している。この第2導電型半導体ピンニング層によって低ノイズ化を図ることができる。
2 転送トランジスタ
3 増幅トランジスタ
4 リセットトランジスタ
5 画素選択トランジスタ
6 出力信号線
7 転送信号線
8 リセット信号線
9 画素選択信号線
10,10A,10B MOS型イメージセンサ
11 半導体基板(半導体基板領域)
12 埋め込み半導体層
13,13A,13B 光電変換蓄積部
14 第1の半導体ウェル領域
15 素子分離領域
16 ピンニング層
17 絶縁膜
18 転送ゲート電極
19 リセットトランジスタのゲート電極
20 増幅トランジスタのゲート電極
21 画素選択トランジスタのゲート電極
22 第2の半導体ウェル領域
23 電荷検出部
24 低濃度半導体領域
30 固体撮像装置
40 メモリ部
50 表示手段
60 通信手段
70 電子情報機器
Claims (29)
- 半導体基板に設けられた単位画素部として、光を信号電荷に光電変換して蓄積する光電変換蓄積部を構成する第1導電型半導体領域と、該光電変換蓄積部と該半導体基板の表面とを分離する第2導電型半導体ピンニング層と、該光電変換蓄積部から該信号電荷を電荷検出部に転送可能とする転送トランジスタのチャネル領域を構成する第2導電型ウェル領域および、該転送トランジスタのゲート電極とを有し、
残像を抑制するように、該第2導電型ウェル領域は該光電変換蓄積部側の該ゲート電極端面に対して該電荷検出部側に後退して形成されており、
該光電変換蓄積部を構成する第1導電型半導体領域と該チャネル領域を構成する第2導電型ウェル領域との間に、該第1導電型半導体領域よりも低不純物濃度の低濃度第1導電型半導体領域が設けられている固体撮像素子。 - 前記第2導電型ウェル領域は、前記光電変換蓄積部に対して該電荷検出部側に後退して形成されている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記光電変換蓄積部はその端部が前記ゲート電極下に位置して平面視で該ゲート電極とオーバーラップしている請求項1または2に記載の固体撮像素子。
- 撮像画像に残像が現れないように、平面視で前記光電変換蓄積部と前記ゲート電極とのオーバーラップ幅と、前記第2導電型ウェル領域の前記ゲート電極端面に対する前記電荷検出部側への後退幅とが設定されている請求項3に記載の固体撮像素子。
- 前記光電変換蓄積部と前記ゲート電極とのオーバーラップ幅は、前記第2導電型ウェル領域の前記ゲート電極端面に対する前記電荷検出部側への後退幅が0.24μmの場合に、0.06μm以上0.24μm未満の範囲に設定されている請求項3または4に記載の固体撮像素子。
- 前記光電変換蓄積部と前記ゲート電極とのオーバーラップ幅は、0.20μm±0.05μmの範囲に設定されている請求項5に記載の固体撮像素子。
- 前記第2導電型ウェル領域の前記ゲート電極端面に対する前記電荷検出部側への後退幅は、前記光電変換蓄積部と前記ゲート電極とのオーバーラップ幅が0.20μmの場合に、0.20μmを超え0.40μm以下の範囲に設定されている請求項3または4に記載の固体撮像素子。
- 前記第2導電型ウェル領域の前記ゲート電極端面に対する前記電荷検出部側への後退幅は、0.24μm以上0.30μm以下の範囲に設定されている請求項7に記載の固体撮像素子。
- 前記第2導電型半導体ピンニング層が前記光電変換蓄積部に対してオフセット形成されている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記光電変換蓄積部上の半導体基板表面側が、前記第2導電型半導体ピンニング層と前記ゲート電極とによって完全に覆われている請求項1または9に記載の固体撮像素子。
- 前記第2導電型半導体ピンニング層の電荷検出部側端部と前記ゲート電極の光電変換蓄積部側端部とが一致している請求項1、9および10のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記低濃度第1導電型半導体領域は第1導電型半導体基板領域である請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記光電変換蓄積部を構成する第1導電型半導体領域の不純物濃度は、1×1017cm−3〜4×1017cm−3の範囲に設定されている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記低濃度第1導電型半導体領域の不純物濃度は、1×1014cm−3〜1×1015cm−3の範囲に設定されている請求項1または12に記載の固体撮像素子。
- 前記光電変換蓄積部は、平面視でその周囲が、前記単位画素部を分離する素子分離領域と接しないように、前記チャネル領域を構成する第2導電型ウェル領域と同じウェル領域によって覆われている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記単位画素部は、マトリクス状に複数配列されている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 半導体基板に設けられた単位画素部として、光を信号電荷に光電変換して蓄積する光電変換蓄積部を構成する第1導電型半導体領域と、該光電変換蓄積部と該半導体基板の表面とを分離する第2導電型半導体ピンニング層と、該光電変換蓄積部から該信号電荷を電荷検出部に転送可能とする転送トランジスタのチャネル領域を構成する第2導電型ウェル領域および、該転送トランジスタのゲート電極とを有し、
残像を抑制するように、該第2導電型ウェル領域は該光電変換蓄積部側の該ゲート電極端面に対して該電荷検出部側に後退して形成されており、
該単位画素部は、画素内回路部として、該転送トランジスタから該電荷検出部に読み出された信号電圧に応じて増幅した信号を出力する増幅トランジスタと、該電荷検出部を所定の電圧にリセット可能とするリセットトランジスタとを有し、
該画素内回路部の各トランジスタチャネル領域を構成する第2導電型ウェル領域と、該転送トランジスタのチャネル領域を構成する第2導電型ウェル領域とは不純物濃度が互いに異なっている固体撮像素子。 - 前記単位画素部は、画素内回路部として、前記転送トランジスタから前記電荷検出部に読み出された信号電圧に応じて増幅した信号を出力する増幅トランジスタと、該電荷検出部を所定の電圧にリセット可能とするリセットトランジスタとを有する請求項1または16に記載の固体撮像素子。
- 前記画素内回路部として、前記増幅トランジスタからの信号を出力信号線に読み出し可能とする画素選択トランジスタをさらに有する請求項18に記載の固体撮像素子。
- 前記画素内回路部の各トランジスタチャネル領域を構成する第2導電型ウェル領域と、該転送トランジスタのチャネル領域を構成する第2導電型ウェル領域とは不純物濃度が互いに異なっている請求項18または19に記載の固体撮像素子。
- 前記画素内回路部の各トランジスタチャネル領域を構成する第2導電型ウェル領域と、前記転送トランジスタのチャネル領域を構成する第2導電型ウェル領域との各不純物濃度がそれぞれ独立して設定制御されている請求項17〜20のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記画素内回路部におけるトランジスタチャネル領域を構成する第2導電型ウェル領域の不純物濃度は、2×1017cm−3±1×1017cm−3の範囲に設定され、前記転送トランジスタのチャネル領域を構成する第2導電型ウェル領域の不純物濃度は、3×1016cm−3〜1×1017cm−3の範囲に設定されている請求項17〜21のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記光電変換蓄積部が埋め込み型フォトダイオードから構成されている請求項1〜3のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記光電変換蓄積部と第1導電型半導体基板領域とを分離する第2導電型半導体層が設けられ、該光電変換蓄積部を構成する第1導電型半導体領域が、該第2導電型半導体層と、平面視で該光電変換蓄積部の周囲を囲むように設けられた第2導電型ウェル領域と、該光電変換蓄積部上に設けられた第2導電型半導体ピンニング層とによって埋め込まれて埋め込み型フォトダイオードが構成されている請求項1〜3および23のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記第1導電型がn型であり、前記第2導電型がp型であるか、または、該第1導電型がp型であり、該第2導電型がn型である請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記第2導電型ウェル領域の前記ゲート電極端面に対する前記電荷検出部側への後退幅は、0.45μm以上0.55μm以下の範囲に設定されている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記光電変換蓄積部は、光電変換部と電荷蓄積部とが一体的に構成されており、平面視で受光部全域を覆っている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記第2導電型ウェル領域の前記ゲート電極端面に対する前記電荷検出部側への後退幅が、電荷転送時に電荷転送が可能な程度の電位障壁以下のレベルになるように設定されている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 請求項1〜28のいずれかに記載の固体撮像素子を撮像部に用いた電子情報機器。
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