JP4857355B2 - パターンマスク保持装置及び2つの保持システムを使用する方法 - Google Patents
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Description
明細書を通じて、“コントラスト装置”、“パターンジェネレータ”及び“パターンジェネレーティング装置”は、反射式及び透過式レチクル、マスク、液晶ディスプレイ、空間光変調器、グレーティング・ライト・バルブ、デジタルミラーデバイス、又はこの説明を読むことによって当業者に明らかになるような、パターンを光ビームに与えるために使用されることができるあらゆるその他の能動的又は受動的装置を含む。以下に説明する例においては、パターンジェネレータは、基板を露光するために物理的にスキャンされる。
前記のように、リソグラフィの間、基板ステージに配置された基板は、パターンジェネレータステージに配置されたパターンジェネレータによって形成されたイメージ(例えばパターン)に曝される。いくつかの例においては、パターンジェネレータのアレイを使用することができる。イメージはリソグラフィ装置に配置された投影光学系によって基板に投影される。リソグラフィの場合には投影光学系が使用されるが、特定の用途に応じて種々異なるタイプの露光装置を使用することができる。例えば、当業者に知られているように、エキシマレーザ、X線、イオン、電子又は光子リソグラフィはそれぞれ異なる露光装置を必要とする。リソグラフィの特定の例はここでは例示のために論じられる。
図1は、本発明が実施された1つの典型的なリソグラフィシステム100を示している。システム100は、光源102と、照明光学系104と、ビームスプリッタ108と、パターンジェネレータ108と、保持装置110と、投影光学系112と、基板114とを含んでいる。1つの例において、パターンジェネレータ116はビームスプリッタ106とパターンジェネレータ108との間に配置されている。
図2は、本発明が実施された1つの典型的なリソグラフィシステム200を示している。システム200は、光源202と、照明光学系204と、パターンジェネレータ208と、保持装置210と、投影光学系212と、基板214とを含んでいる。この例において、パターンジェネレータ208は透過型パターンジェネレータである。
図3は、本発明の1つの実施態様による、リソグラフィシステム(図示せず)のセクションのブロック図である。このセクションは、パターンジェネレータ308と保持装置310とを有している。この実施態様において、保持装置310は、パターンジェネレータ保持装置330と、第1及び第2のパターンジェネレータ保持システム332及び334をそれぞれ有している。
上述のように、第1のパターンジェネレータ保持システム332は1つ又は2つ以上の電極446を有しており、これらの電極は、電極446と表面440との間に引き付け電子ポテンシャルを生ぜしめるようにバイアスされている。1つの例において、電極446はチャック442内に配置されている。別の例において、電極446はチャック442の上側に配置されることができる。電極446がチャック442の上側に配置されている場合、電極は、漏洩を排除又は著しく低減するためにコーティングされるが、これは、電極446がチャック442内に配置されている場合には通常は不要である。
Egap=sqrt(p_clamp・2/e0)
e0の誘電定数を備えている。ギャップにおける電圧(Vgap)は、単に電界にギャップを掛けたものである:
Vgap=Egap・dgap
dgapはギャップの高さである。すなわち、約300Vのブレークスルー電圧を備えたこの例において(乾燥した空気において)、約3.5μm(0.3barの場合)又は約2.8μm(0.5barの場合)の最大ギャップが必要とされる。次いで、電極446における電圧は、ギャップと誘電体の厚さと定数との比に依存するが、通常は100μmのZerodur(R)の場合には約3kV未満である。
1つの例において、第2のパターンジェネレータ保持システム334は、表面440と、1つ又は2つ以上の端部448との間に形成された真空吸引又は押えつけ力を使用する。これは、真空ライン454を介して矢印452の方向に吸引を生ぜしめる真空源450を使用して行われる。1つの例において、パターンジェネレータ308の迅速な解放が望まれるならば、真空源は流れを反転させ、端部448を介してパターンジェネレータ308の表面440を押し離すこともできる。
本発明の様々な実施態様が上に説明されているが、これらの実施態様は、限定ではなく、例として示されただけであることが理解されるべきである。発明の精神及び範囲から逸脱することなく形式及び詳細において様々な変更がなされることが当業者に明らかであろう。したがって、本発明の広さ及び範囲は、上述の典型的な実施態様のいずれによっても限定されるべきではなく、請求項及びその均等物に基づいて限定されるべきである。
Claims (19)
- パターン付マスク保持装置が設けられているシステムにおいて、
該パターン付マスク保持装置に結合された第1のパターン付マスク保持システムが設けられており、該第1のパターン付マスク保持システムが、パターン付マスクをパターン付マスク保持装置に解放可能に結合するようになっており、
前記パターン付マスク保持装置に結合された第2のパターン付マスク保持システムが設けられており、該第2のパターン付マスク保持システムが、パターン付マスクをパターン付マスク保持装置に解放可能に結合するために、第1のパターン付マスク保持システムと同時に動作するようになっており、
露光動作のスキャニング部分の間にパターン付マスク保持装置とパターン付マスクとを移動させる、パターン付マスク保持装置に結合された移動装置が設けられており、
前記第1のパターン付マスク保持システムが、1つ又は2つ以上の電極を有する静電システムを含んでおり、前記電極は、前記電極とパターン付マスクとの間の反対静電電荷が相互に引き合うようにバイアスされており、
前記静電システムによって生成された前記反対静電電荷を引き付ける金属のコーティングを含むメンブレンが、前記パターン付マスク保持装置に設けられている、
システム。 - 第2のパターン付マスク保持システムが真空システムを含んでいる、
請求項1記載のシステム。 - 前記メンブレンを介して真空システムがパターン付マスクに相互作用する、
請求項2記載のシステム。 - 真空システムが、パターン付マスク保持装置の表面の実質的な部分に亘って真空吸引を生ぜしめる、
請求項2又は3記載のシステム。 - 移動装置がステージを含んでおり、
パターン付マスク保持装置が、前記ステージとパターン付マスクとに結合されたチャックを含んでいる、
請求項1記載のシステム。 - 前記チャックが、ゼロ膨張ガラス、Zerodur(R)、又はセラミックス材料から形成されている、
請求項5記載のシステム。 - パターン付マスクを監視する検出器が設けられており、
第1及び第2のパターン付マスク保持システムの動作を制御する制御装置が向けられており、前記検出器がパターン付マスクの滑りを検出した場合に第1及び第2のパターン付マスク保持システムが同時に動作するようになっている、
請求項1記載のシステム。 - 移動装置が、パターン付マスク保持装置とパターン付マスクとを8Gまでの加速度で移動させる、
請求項1記載のシステム。 - パターン付マスクを保持するパターン付マスク保持装置が設けられているシステムにおいて、
該パターン付マスク保持装置の移動の間にパターン付マスク保持装置に対するパターン付マスクの滑りを監視する監視システムが設けられており、該監視システムが、滑りが検出された場合に結果信号を発生するようになっており、
パターン付マスクをパターン付マスク保持装置に解放可能に結合する、パターン付マスク保持装置に結合された第1のパターン付マスク保持システムが設けられており、
パターン付マスクをパターン付マスク保持装置に解放可能に結合する、パターン付マスク保持装置に結合された第2のパターン付マスク保持システムが設けられており、
前記結果信号に基づいて第1又は第2のパターン付マスク保持システムの一方又は両方を使用可能にする制御装置が設けられており、
前記第1のパターン付マスク保持システムが、1つ又は2つ以上の電極を有する静電システムを含んでおり、前記電極は、前記電極とパターン付マスクとの間の反対静電電荷が相互に引き合うようにバイアスされており、
前記静電システムによって生成された前記反対静電電荷を引き付ける金属のコーティングを含むメンブレンが、前記パターン付マスク保持装置に設けられている、
システム。 - 第2のパターン付マスク保持システムが真空装置を含んでいる、
請求項9記載のシステム。 - 前記メンブレンを介して真空装置がパターン付マスクと相互作用するようになっている、
請求項10記載のシステム。 - 前記真空装置が、パターン付マスク保持装置の表面の実質的な部分に亘って真空吸引を生ぜしめるようになっている、
請求項10又は11記載のシステム。 - パターン対マスク保持装置が、
ステージと、
該ステージとパターン付マスクとに結合されたチャックと、を含んでいる、
請求項10記載のシステム。 - チャックが、ゼロ膨張ガラス、Zerodur(R)、又はセラミックス材料から形成されている、
請求項13記載のシステム。 - パターン付マスク保持装置が8Gまでの加速度で移動する、
請求項10記載のシステム。 - 方法において、
(a)第1の保持システムを使用してパターン付マスクをパターン付マスク保持装置に保持し、
(b)ステップ(a)と同時に、第2の保持システムを使用してパターン付マスクをパターン付マスク保持装置に保持する一方で、移動装置が、露光作業のスキャニング部分の間、パターン付マスク保持装置とパターン付マスクとを移動させ、
ステップ(a)が、第1の保持システムとして、1つ又は2つ以上の電極を有する静電システムを使用すること、前記電極が、前記電極とパターン付マスクとの間の反対静電電荷が相互に引き合うようにバイアスされていること、前記パターン付マスク保持装置に設けられたメンブレンが、前記静電システムによって生成された前記反対静電電荷を引き付ける金属のコーティングを有すること、を含む、
方法。 - ステップ(b)が、第2の保持システムとして真空システムを使用することを含む、
請求項16記載の方法。 - 移動の間にパターン付マスク保持装置に対するパターン付マスクの滑りを監視し、
滑りが検出された場合に第1及び第2の保持システムの動作を制御することを含む、
請求項16記載の方法。 - パターン付マスク保持装置とパターン付マスクとの移動が、約8Gまでの加速度で生じる、
請求項16記載の方法。
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