JP4806651B2 - ガスベアリング、およびそのようなベアリングを備えたリソグラフィ装置 - Google Patents
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- 第1ベアリング表面を画定する第1ベアリング部分と、第2ベアリング表面を画定する第2ベアリング部分と、前記第1ベアリング表面と前記第2ベアリング表面の間のギャップと、前記ギャップにガスを供給するように構成されたガス供給デバイスと、を備えるガスベアリングであって、
前記第1ベアリング部分が、強磁性材料を有し、
前記第2ベアリング部分が、前記第1ベアリング部分の前記強磁性材料と相互作用するように構成された複数の永久磁石を有し、
前記第2ベアリング部分が、下部壁面を有し、前記下部壁面が、前記永久磁石を支持する第1側面および前記第2ベアリング表面を形成する第2側面を含み、前記第2ベアリング表面は、前記永久磁石と前記第1ベアリング表面との間に配置されており、
前記複数の永久磁石のそれぞれは、相互に間隔を空けて配置された複数のボンディング領域を介して、前記第2ベアリング部分の前記下部壁面に固定されている、
ガスベアリング。 - 前記ガス供給デバイスが、前記第2ベアリング部分中に複数のガスダクトを有し、
前記ガスダクトが、前記第2ベアリング表面で開いている、
請求項1に記載のガスベアリング。 - 前記第2ベアリング部分が、前記永久磁石に隣接する前記下部壁面の前記第1側面から延在する複数のリブを有する、
請求項1に記載のガスベアリング。 - 前記永久磁石が、前記第2ベアリング表面にほぼ垂直な交互に方向が変わる磁化を有する複数のサブ磁石を含む、
請求項1に記載のガスベアリング。 - 前記永久磁石が、複数のサブ磁石を有し、
前記サブ磁石の磁化方向が、前記第2ベアリング表面又は前記第2ベアリング表面にほぼ垂直な平面に対して傾けられている、
請求項1に記載のガスベアリング。 - 前記永久磁石が、強磁性材料からなるヨーク部分を有し、
前記ヨーク部分は、前記永久磁石の前記第2ベアリング表面と反対側の面に位置している、
請求項1に記載のガスベアリング。 - パターンをパターニングデバイスから基板上に転写するように構成され、ガスベアリングを備えるリソグラフィ装置であって、
前記ガスベアリングは、
第1ベアリング表面を画定する第1ベアリング部分と、第2ベアリング表面を画定する第2ベアリング部分と、前記第1ベアリング表面と前記第2ベアリング表面の間のギャップと、前記ギャップにガスを供給するように構成されたガス供給デバイスと、を含み、
前記第1ベアリング部分が、強磁性材料を有し、
前記第2ベアリング部分が、前記第1ベアリング部分の前記強磁性材料と相互作用するように構成された複数の永久磁石を有し、
前記第2ベアリング部分が、下部壁面を有し、前記下部壁面が、前記永久磁石を支持する第1側面および前記第2ベアリング表面を形成する第2側面を含み、前記第2ベアリング表面は、前記永久磁石と前記第1ベアリング表面との間に配置されており、
前記複数の永久磁石のそれぞれは、相互に間隔を空けて配置された複数のボンディング領域を介して、前記第2ベアリング部分の前記下部壁面に固定されている、
リソグラフィ装置。 - 放射ビームを調整するように構成された照明システムと、パターニングデバイスを支持するように構成されたパターニング支持体であってパターン付き放射ビームを形成してその断面内にパターンを有する前記放射ビームを付与可能であるパターニングデバイスと、基板を支持するように構成された基板支持体と、前記基板のターゲット部分の上に前記パターン化放射ビームを投影するように構成された投影システムと、を備えるリソグラフィ装置であって、
前記パターニング支持体、前記基板支持体、または両方が、ガスベアリングを有し、
前記ガスベアリングは、
第1ベアリング表面を画定する第1ベアリング部分と、第2ベアリング表面を画定する第2ベアリング部分と、前記第1ベアリング表面と前記第2ベアリング表面の間のギャップと、前記ギャップにガスを供給するように構成されたガス供給デバイスと、を含み、
前記第1ベアリング部分が、強磁性材料を有し、
前記第2ベアリング部分が、前記第1ベアリング部分の前記強磁性材料と相互作用するように構成された複数の永久磁石を有し、
前記第2ベアリング部分が、下部壁面を有し、前記下部壁面が、前記永久磁石を支持する第1側面および前記第2ベアリング表面を形成する第2側面を含み、前記第2ベアリング表面は、前記永久磁石と前記第1ベアリング表面との間に配置されており、
前記複数の永久磁石のそれぞれは、相互に間隔を空けて配置された複数のボンディング領域を介して、前記第2ベアリング部分の前記下部壁面に固定されている、
リソグラフィ装置。 - 強磁性材料を含みかつ第1ベアリング表面を画定する第1ベアリング部分と、複数の永久磁石を受けるように適合したフレームを含みかつ第2ベアリング表面を画定する第2ベアリング部分と、前記第1ベアリング表面と前記第2ベアリング表面の間のギャップにガスを供給するように構成されたガス供給デバイスと、を備えるガスベアリングであって、
前記第2ベアリング部分が、下部壁面を有し、前記下部壁面が、前記永久磁石を支持する第1側面および前記第2ベアリング表面を形成する第2側面を含み、前記第2ベアリング表面は、前記永久磁石と前記第1ベアリング表面との間に配置されており、
前記第2ベアリング部分の前記複数の永久磁石が、前記第1ベアリング部分の前記強磁性材料と前記フレームの一部を介して前記ギャップを減少させる相互作用をするように構成されており、
前記複数の永久磁石のそれぞれは、相互に間隔を空けて配置された複数のボンディング領域を介して、前記第2ベアリング部分の前記下部壁面に固定されている、
ガスベアリング。 - 第1ベアリング表面を画定しかつ強磁性材料を含む第1部分を、第2ベアリング表面を画定しかつ複数の永久磁石を受けるように適合したフレームを含む第2部分に対して移動させる方法であって、
前記第2部分が、下部壁面を有し、前記下部壁面が、前記永久磁石を支持する第1側面および前記第2ベアリング表面を形成する第2側面を含み、前記第2ベアリング表面は、前記永久磁石と前記第1ベアリング表面との間に配置されており、
前記複数の永久磁石のそれぞれは、相互に間隔を空けて配置された複数のボンディング領域を介して、前記第2部分の前記下部壁面に固定されており、
前記第1ベアリング表面と前記第2ベアリング表面の間にギャップを生ずるように前記第1ベアリング表面と前記第2ベアリング表面の間にガスを供給すること、および、
前記第2部分の前記複数の永久磁石と前記第1部分の前記強磁性材料の間に前記フレームの一部を介して前記ギャップを減少させるために磁気的相互作用を生じさせること、を含む、
方法。
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