JP4856982B2 - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
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Description
図1は本発明の第1の実施形態によるインクジェット記録ヘッドのノズル構造を示している。同図(a)はインクジェット記録ヘッドの複数のノズルのうちの隣接する長・短ノズル領域を基板に対して垂直な方向から見た平面透視図である。同図(b)は(a)のA−A’線に沿った断面図、(c)は(a)のB−B’線に沿った断面図、(d)は(a)のC−C’線に沿った断面図である。
図3は本発明の第2の実施形態によるインクジェット記録ヘッドのノズル構造を示している。
図4は本発明の第3の実施形態によるインクジェット記録ヘッドのノズル構造を示している。
図5は本発明の第4の実施形態によるインクジェット記録ヘッドのノズル構造を示している。同図(a)はインクジェット記録ヘッドの複数のノズルのうちの隣接する長・短ノズル領域を基板に対して垂直な方向から見た平面透視図である。同図(b)は(a)のA−A’線に沿った断面図、(c)は(a)のC−C’線に沿った断面図である。図6(a)のB−B’線に沿った断面構造は第1の実施形態の図1(c)と同じである。なお、上記の実施形態と同一構成要素には同一の符号を付してある。
図6は本発明の第5の実施形態によるインクジェット記録ヘッドのノズル構造を示している。同図(a)はインクジェット記録ヘッドの複数のノズルのうちの隣接する長・短ノズル領域を基板に対して垂直な方向から見た平面透視図である。同図(b)は(a)のA−A’線に沿った断面図、(c)は(a)のC−C’線に沿った断面図である。図6(a)のB−B’線に沿った断面構造は第1の実施形態の図1(c)と同じである。なお、上記の実施形態と同一構成要素には同一の符号を付してある。
図7は本発明の第6の実施形態によるインクジェット記録ヘッドのノズル構造を示している。
上記の各実施形態の記録ヘッドは、下記の製法によって製造される。千鳥配置のヒータ4を含む素子基板1を形成する第1工程と、素子基板1上にインクの流路を構成する供給路層および中段層をそれぞれ形成する第2工程と、供給路層に所望のノズルパターンを形成し、中段層に所望のノズルパターンを形成する第3工程とを経る。また、供給路層及び中段層上に被覆樹脂層を形成する第4工程と、被覆樹脂層に吐出口9を形成する第5工程と、素子基板1に供給口を形成する第6工程と、供給路層及び中段層を溶出する第7工程とを経て記録ヘッドを製造する。各工程の詳細は下記のとおりである。
2 流路構成部材
3 密着向上層
4 ヒータ
5 発泡室
6 インク供給路
7A 長ノズル
7B 短ノズル
8 吐出口部
9 吐出口
10 中段部
11 柱状フィルタ
12 中段層
Claims (2)
- 液滴を吐出させるためのエネルギを発生する吐出エネルギ発生素子が千鳥配置された素子基板と、
千鳥配置された各吐出エネルギ発生素子に対向配置された吐出口と、吐出エネルギ発生素子を内包する吐出エネルギ発生室と、吐出エネルギ発生室にインクを供給する供給路とからなるノズルで、所定の長さの供給路の長ノズルと当該長ノズルより供給路が短い短ノズルとを交互に配置する流路構成部材と、
を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記素子基板と前記流路構成部材との間に設けられた密着向上層をさらに備え、該密着向上層が、前記短ノズルの供給路には形成されているが前記長ノズルの供給路の少なくとも一部には形成されていないことで、前記長ノズルの供給路の平均高さが、前記短ノズルの供給路の平均高さよりも高くなっていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 前記密着向上層が形成されていない前記一部は、前記長ノズルのインク供給方向に対して直交する方向の幅が最も狭い最狭部である、請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。
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