JP2009184265A - 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】エネルギー作用室を画成する壁面が吐出口に向かうにつれて狭くなるような形状を有している液体吐出ヘッドであっても、オリフィスプレートと基板との間で剥がれの生じ難い液体吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】ヒータ３０２の配置されたヒータ形成面に対して直交する方向に対し、吐出口３０１に近づくにつれて、第一の圧力室３０３が狭まるように第一の圧力室３０３を画成する壁面が第一の圧力室３０３の内方に向かって傾斜している。インク流路３０６を画成する壁面は、インク吐出方向に対して傾斜している。そして、インク流路を画成する壁面のインク流路３０６の傾斜の角度は、第一の圧力室３０３を画成する壁面の第一の圧力室３０３の内方に向かう傾斜の角度よりも小さく形成されている。
【選択図】図３

Description

本発明は、記録媒体に対して液体を吐出する液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法に関する。

一般に利用されている記録装置の形式として、記録ヘッドにおけるエネルギー作用室内部に貯留されているインクに対してエネルギーを与えて吐出口から液滴を吐出するインクジェット記録装置がある。

インクジェット記録装置の記録ヘッドとしては、例えば、図９に示されているものがある。図９には、インクジェット記録装置で用いられる記録ヘッドの一部が開示されている。

また、インクジェット記録装置の記録ヘッドとしては、例えば、特許文献１に開示されているインクジェット記録装置がある。特許文献１では、エネルギー作用室を画成する壁面が吐出口に向かうにつれて狭くなるようにテーパ形状に形成されているノズルを有する記録ヘッドが提案されている。エネルギー作用室が吐出口に向かうにつれて狭くなるように形成されているので、エネルギー作用室の内部を移動するインクの移動の際の抵抗が少なくなる。従って、インクが移動し易くなり、少ないエネルギーでインクを吐出することができる。これにより、記録の際の吐出効率の向上が図れる。

近年では、このようなインクジェット記録装置の記録ヘッドに対して、高速かつ高画質に記録が行われることへの要求が高まっている。このような高速かつ高画質に記録が行われる記録装置とするために、記録ヘッドにはノズルがより高密度に配置することが求められている。ノズルが高密度に配置されることで記録によって得られる画像が高精細になり、画像の品質を向上させることができる。また、インクジェット記録装置における記録ヘッドは、その構造上、ノズル密度を高くするのに比較的コストが安価で済む。

特開２００６−２９００００号公報

しかしながら、特許文献１に開示されている記録ヘッドのように、エネルギー作用室が吐出口に向かうにつれて狭くなるように形成されると、記録素子が配置されているエネルギー作用室における底面ではエネルギー作用室の幅が比較的広く形成される。ここで、一般に、吐出口が形成されているオリフィスプレートと、記録素子が配置された基板とは、エネルギー作用室における記録素子が配置された記録素子形成面上で接着されることになる。従ってノズルが高密度にかつ、エネルギー作用室がテーパ形状になると、エネルギー作用室の内部に供給される液体の流量の割には、吐出口が形成されているオリフィスプレートと基板との間の接着領域が少なくなる傾向にある。これにより、オリフィスプレートと基板との間の接着面積が十分でなく、それらの間で剥がれが生じる虞がある。

そこで、本発明の目的は上記の事情に鑑み、エネルギー作用室を画成する壁面が吐出口に向かうにつれて狭くなるような形状を有している液体吐出ヘッドであっても、オリフィスプレートと基板との間で剥がれの生じ難い液体吐出ヘッドを提供することである。また、そのような液体吐出ヘッドを製造する製造方法を提供することである。

本発明の液体吐出ヘッドによれば、内部に液体を貯留するためのエネルギー作用室と、前記エネルギー作用室に配置され、前記エネルギー作用室の内部の液体に付与するためのエネルギーを発生させる記録素子と、前記エネルギー作用室に連通し、前記記録素子によってエネルギーが付与された液体を吐出するための吐出口と、液体供給口から前記エネルギー作用室に液体を供給する液体流路とを有するノズルを具えた液体吐出ヘッドにおいて、前記記録素子の配置された記録素子形成面に対して直交する方向に対し、前記吐出口に近づくにつれて、前記エネルギー作用室が狭まるように、前記エネルギー作用室を画成する壁面が前記エネルギー作用室の内方に向かって傾斜し、前記液体流路を画成する壁面が液体吐出方向に対して傾斜し、前記液体流路を画成する壁面の前記液体流路の傾斜の角度は、前記エネルギー作用室を画成する壁面の前記エネルギー作用室の内方に向かう傾斜の角度よりも小さいことを特徴とする。

また、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法によれば、基板とオリフィスプレートとの間に形成され、内部に液体を貯留するためのエネルギー作用室と、前記エネルギー作用室に配置され、前記エネルギー作用室の内部の液体に付与するためのエネルギーを発生させる記録素子と、前記エネルギー作用室に連通し、前記記録素子によってエネルギーが付与された液体を吐出するための吐出口と、液体供給口から前記エネルギー作用室に液体を供給する液体流路とを有するノズルを具えた液体吐出ヘッドの製造方法において、前記記録素子の配置された前記基板に対して感光性を有するｎ層の樹脂層を順次塗布し（ｎ：整数）、最も上に配置されている第ｎ層に対して、第ｎ層の感光特性に対応した光を露光させると共に、所定の形状通りに第ｎ層を残すために第ｎのマスクを介して露光させて感光させ、一部の第ｎ層を除去し、第ｎ層の樹脂層を所定の形状通りに形成する工程に関して、同様の工程を繰り返し、上からｎ番目に配置されている第一の樹脂層に対して、第一の樹脂層の感光特性に対応した光を露光させると共に、所定の形状通りに第一の樹脂層を残すために第一のマスクを介して露光させて感光させ、一部の第一の樹脂層を除去し、前記第一の樹脂層から第ｎ層の樹脂層までの残された部分が配置された前記基板を覆うように前記オリフィスプレートを形成するオリフィスプレート形成材を塗布し、所定の位置に吐出口を形成し、前記基板に残されている前記第一の樹脂層から第ｎ層の樹脂層までの一部を除去することで、液体の吐出される液体吐出方向に対して複数層の異なる形状を有するエネルギー作用室または液体流路の少なくともいずれかを形成する。

また、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法によれば、基板とオリフィスプレートとの間に形成され、内部に液体を貯留するためのエネルギー作用室と、前記エネルギー作用室に配置され、前記エネルギー作用室の内部に貯留されている液体に付与するためのエネルギーを発生させる記録素子と、前記エネルギー作用室に連通し、前記記録素子によってエネルギーが付与された液体を吐出するための吐出口と、液体供給口から供給され前記エネルギー作用室に貯留される液体が通る液体流路とを有するノズルを具えた液体吐出ヘッドの製造方法において、前記記録素子の配置された前記基板に対して感光性を有する第一の樹脂層、第二の樹脂層を順次塗布し、前記第二の樹脂層に対して、前記第二の樹脂層の感光特性に対応した光を露光させると共に、所定の形状通りに前記第二の樹脂層を残すために第二のマスクを介して露光させて感光させ、一部の第二の樹脂層を除去し、前記第一の樹脂層に対して、第一の樹脂層の感光特性に対応した光を露光させると共に、所定の形状通りに第一の樹脂層を残すために第一のマスクを介して露光させて感光させ、一部の第一の樹脂層を除去し、前記第一の樹脂層の一部と前記第二の樹脂層の残された部分が配置された前記基板を覆うように前記オリフィスプレートを形成するオリフィスプレート形成材を塗布し、所定の位置に吐出口を形成し、前記基板に残っている第一の樹脂層及び第二の樹脂層を除去することで、液体の吐出される液体吐出方向に対して二層の異なる形状を有するエネルギー作用室または液体流路の少なくともいずれかを形成する。

本発明によれば、エネルギー作用室が吐出口に向かうにつれて幅が狭くなるように形成されたとしても、液体吐出ヘッドの記録素子形成面における面積を十分に確保することができるので、信頼性の高い液体吐出ヘッドを提供することができる。また、そのような液体吐出ヘッドの製造方法を提供することができる。

以下、本発明を実施するための実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
（第一実施形態）
図１は、本発明の実施形態に係る記録装置としてのインクジェット記録装置に用いられる液体吐出ヘッドとしての記録ヘッド１を搭載したインクジェットカートリッジの斜視図である。本実施形態における記録ヘッド１としては、顔料系ブラックインクを吐出させるための顔料インク用チップ２と、染料系カラーインクを吐出させるための染料インク用チップ３とを有している。これらのチップを有する記録ヘッド１を搭載したインクジェットカートリッジが不図示の記録装置に搭載される。顔料インク用チップ２及び染料インク用チップ３はいずれも複数の吐出口を有し、それぞれのチップに形成されている吐出口からインク滴を吐出することが可能である。記録が行われる際には、記録ヘッド１に対して対向する位置に記録媒体が配置され、記録媒体に対してインク滴を吐出して着弾させることで記録が行われ、所定の画像を形成する。

顔料ブランクインクの主な使用用途は、テキストの記録などである。そのため、顔料インク用チップ２においては画像の記録ほどの高精細な記録は要求されていない。従って、吐出量が約３０ｐｌと、染料インク用チップ３による吐出量の１〜５ｐｌと比べると顔料インク用チップ２における吐出量は比較的多い。そのため、吐出口サイズも顔料インク用チップ２の方が、染料インク用チップ３よりも大きい傾向にある。本実施形態では、顔料インク用チップ２には液体供給口としてのインク供給口を挟んで二列ずつ吐出口列が形成され、インク供給口の片側には３００ｄｐｉピッチ（約８４μｍ）で２５６個の吐出口が配置され、両側で５１２個の吐出口が配置されている。

図２は本発明が用いられた染料インク用チップ３のノズル構成を示す。ノズル３００は、圧力室５００、吐出口３０１及びインク流路３０６を有している（図３参照）。インク供給口の延在する方向と同方向に配列された二列のノズル列が共通液室３０９及び共通液室内部に形成されているインク供給口を挟んで両側部に並べられて配置されている。また、それぞれのノズル列には、吐出量及び後述するインク流路の長さの異なる２種類のノズル３００Ａと３００Ｂが交互に１２００ｄｐｉのピッチで配列されている。隣接するノズルの間には、オリフィスプレート３０８が配置されてこれによって隣接するノズルの間が仕切られている。また、共通液室３０９に対するノズル３００Ａの対岸にはノズル３００Ｂが配置され、ノズル３００Ｂの対岸にはノズル３００Ａが配置するように構成されている。本実施形態においては、インク供給口の両側にノズル列を配しているが、それに限られず、インク供給口の少なくとも一方の側にノズルが千鳥状に配されていても良い。

図３は本発明が用いられたノズルの構造を示す図である。図３（ａ）には本実施形態の記録ヘッド１における平面図が示されており、図３（ｂ）にはＣ−Ｃ線、Ｄ−Ｄ線、Ｅ−Ｅ線及びＦ−Ｆ線に沿う断面図が示されており、図３（ｃ）にはＡ−Ａ線及びＢ−Ｂ線に沿う断面図が示されている。

図３（ｂ）に示されるように、本実施形態の記録ヘッド１は、基板３０５とオリフィスプレート３０８とが接着されて貼り合わされることで内部に液体としてのインクを貯留するためのエネルギー作用室としての圧力室５００が形成される。そして、圧力室の内部には、貯留されているインクに付与するためのエネルギーを発生させるための記録素子としてのヒータ３０２が配置される。また、圧力室に連通し、ヒータ３０２によってエネルギーが付与されたインクを吐出するための吐出口３０１が、ヒータ３０２に対向する位置に形成されている。

また、図３（ａ）に示されるように、共通液室３０９及びインク供給口を挟んで両側部にノズル列が配置されている。それぞれのノズル列においては、比較的長いインク流路３０６Ａを有したノズルと、比較的短いインク流路３０６Ｂを有したノズルとの二種類のノズルが交互に配置されている。ここで、インク流路３０６は、不図示のインクタンクからインク供給口に供給されたインクが、インク供給口から供給されて圧力室に貯留される際に、共通液室と圧力室との間でインクを通す流路である。本実施形態では、比較的長い方のインク流路を有するノズルをノズル３００Ａとし、比較的短い方のインク流路を有するノズルをノズル３００Ｂとしている。また、ノズル３００Ａにおける吐出口を吐出口３０１Ａとし、ヒータをヒータ３０２Ａとしている。同様に、ノズル３００Ｂにおける吐出口を吐出口３０１Ｂとし、ヒータをヒータ３０２Ｂとしている。

本実施形態では、吐出口３０１Ａは吐出口３０１Ｂよりも吐出するインク滴の吐出量が少なく、吐出口３０１Ａの開口面積は吐出口３０１Ｂの開口面積よりも小さい。また、これに伴いヒータ３０２Ｂよりもヒータ３０２Ａの方が面積及び発熱量が小さい。

また、インク流路の短い方のノズルにおける圧力室５００Ｂのインク供給口から最も遠い部位は、インク流路の長い方のノズルにおける圧力室５００Ａのインク供給口から最も近い部位よりもインク供給口に近い。従って、ノズル３００Ａと３００Ｂとでは、ノズルの配列方向において圧力室同士がオーバーラップしないように千鳥状に構成されている。

また、ヒータの配置された記録素子形成面Ｐとしてのヒータ形成面に対して直交する方向に対し、吐出口３０１に近づくにつれて、圧力室５００が狭まるように圧力室を画成する壁面が圧力室の内方に向かって傾斜している。

本実施形態では、それぞれの圧力室５００は、インク流路と連通した第一のエネルギー作用室としての第一の圧力室３０３と、吐出口に連通した第二のエネルギー作用室としての第二の圧力室３０４とを有している。第一の圧力室３０３を画成する壁面における圧力室５００の内側に向かう方向への傾斜は、第二の圧力室３０４の内側に向かう方向への傾斜よりも大きい。また、第一の圧力室３０３の容積は、第二の圧力室の容積３０４よりも大きい。図３（ｂ）、（ｃ）の各断面図に示すように、ノズル３００Ａ、３００Ｂのいずれにおいても、第一の圧力室３０３Ａ、３０３Ｂは第二の圧力室３０４Ａ、３０４Ｂよりも大きく形成されている。ヒータ形成面への投影においては、第二の圧力室３０４Ａ、３０４Ｂは第一の圧力室３０３Ａ、３０３Ｂに内包される大きさとなっている。

そして、本実施形態では第一の圧力室３０３を形成する全ての壁面が吐出口に向かって開口が狭くなるように傾斜している。また、ここでは、第二の圧力室３０４及び吐出口３０１も吐出方向に向かって開口が狭くなる傾斜を有している。ただし、第二の圧力室３０４の傾斜は第一の圧力室３０３の傾斜よりもやや小さく形成されている。第一の圧力室３０３の壁面の傾斜を大きく形成することで発泡により近い位置でインクの流れを吐出方向に整流でき、吐出効率向上に貢献することになる。

このような記録ヘッドを用いた記録装置によって記録を行う際の、記録ヘッド１の動作について説明する。

ヒータ３０２Ａ、３０２Ｂはインクを急加熱することによってヒータ表面に膜沸騰を発生させる。ヒータ面からの発泡圧力は、ヒータを取り囲む第一の圧力室３０３Ａ、３０３Ｂ及び第二の圧力室３０４Ａ、３０４Ｂの壁面の形状によって制御され、インクが吐出口３０１に向かって誘導される。吐出に使われるインクは、共通液室３０９からフィルタ３０７を経由してインク流路３０６Ａ、３０６Ｂを介して圧力室に供給される。このとき、フィルタ３０７、インク中のゴミを濾過し、吐出を阻害する異物がノズル内に侵入することを防ぐために配置されている。

ここで、第一の圧力室の壁面に上述のような傾斜があることによる効果を説明する。図４に、本実施形態の記録ヘッドの有するノズルからインクの吐出が開始された直後の状態におけるインク供給方向に沿う断面図を示す。

図４（ａ）、（ｂ）に示されるノズルは、第一の圧力室以外の部分は全て共通な形状を有している。そして、図４（ａ）の記録ヘッドでは第一の圧力室の壁面に本実施形態のような傾斜があるものが示されており、図４（ｂ）の記録ヘッドでは第一の圧力室の壁面に傾斜がないものが示されている。図４（ａ）に示される記録ヘッドでは、第一の圧力室の傾斜によりヒータ３０２で発生した気泡が壁面に沿ってより吐出方向に向かって成長する。その結果、吐出口に向かうインクの流れがより強められ、図４（ｂ）の記録ヘッドに比べてインク吐出速度が速い。すなわち、図４（ａ）の記録ヘッドの方が吐出効率が高く、言い換えれば、図４（ｂ）に示される記録ヘッドと同じ吐出速度を得るのに図４（ａ）に示される記録ヘッドのヒータの方が、発熱量が少なくて済む。ヒータによる発熱量が小さくて済むので、ヒータ駆動時の基板３０５の温度上昇が低減される。従って、インク滴が吐出された後にインクがリフィルされ、圧力室内部に貯留されている吐出前のインクが、不必要に加熱されてインク吐出状態が不安定化することを抑制できる。

ところが、このように圧力室内部の壁面を傾斜させると、圧力室５００における開口部の面積が、吐出方向に対してヒータ３０２に近い部位で大きくなる。従って、このままではインク供給口から圧力室５００に供給されるインクの量の割には、基板３０５とオリフィスプレート３０８との間の接着部分の面積が狭くなってしまう傾向にある。このため、基板３０５に対してオリフィスプレート３０８の剥がれが起き易く、信頼性の低い記録ヘッドとなる虞がある。また、隣接するノズルの間の壁の厚さがヒータに近い位置で薄くなってしまう傾向にある。従って、記録ヘッドの強度が不足する虞がある。

しかしながら、本実施形態の記録ヘッドにおいては、液体流路としてのインク流路を画成する壁面が液体の吐出方向に向かうにつれて傾斜している。そして、インク流路を画成する壁面の傾斜の角度は、圧力室を画成する壁面の圧力室の内方に向かう傾斜の角度よりも小さく形成されている。つまり、インク流路を画成する壁面の傾斜の角度が、ヒータ形成面に対して垂直な面を基準として、圧力室を画成する壁面よりもインク流路の外側に向かって傾斜している。なお、インク流路を画成する壁面の傾斜は、ヒータ形成面に対して垂直な面を基準にマイナス方向、つまり、ヒータ形成面に対して垂直な面よりもインク流路の外方に向かって傾斜しても良い。従って、隣接するノズルの間の圧力室に近い位置ではノズルの仕切りとなる壁の厚さが薄い可能性があるが、インク流路の近傍では、インク流路を画成する壁面の傾斜角度が圧力室よりも小さいので、ノズルの間の壁の厚さが薄くなり難い。従って、記録ヘッドの強度が確保される。

また、特に、本実施形態では、インク流路におけるインクの吐出されるインク吐出方向に対して最も液体吐出方向としてのインク吐出方向における外側に位置する部分の流路幅が、最もインク吐出方向における内側に位置する部分の流路幅よりも大きい。

また、本実施形態では、インク流路は、断面が略矩形状である二つの流路がインク吐出方向に並べられた形状を有しており、インク吐出方向の外側に位置する流路における流路幅が、吐出方向の内側に位置する流路における流路幅よりも大きい。

ここで、本実施形態におけるインク吐出方向の外側とは、記録ヘッドの、インク滴を吐出する方向に向かった側の部位のことをいうものとする。また、本実施形態におけるインク吐出方向の内側とは、記録ヘッドの基板側の部位のことをいうものとする。

図３（ｂ）に示されるように、Ｄ−Ｄ及びＥ−Ｅ線に沿う断面図において、インク流路３０６Ａ、３０６Ｂは二つの略矩形状の流路が吐出方向に対して並べられて形成されている。そして、流路の幅は、吐出方向に対して基板に近い下方部分よりも記録ヘッドの外側に近い上方部分の方が大きくなっている。また、インク流路３０６Ａ、３０６Ｂを形成する壁は吐出方向に対して下層及び上層とも傾斜は少なく、ヒータ形成面に対して垂直に近い面を有している。ここで、インク流路３０６Ａ、３０６Ｂのそれぞれは、ノズルからの吐出量及び最大吐出周波数に応じて、必要十分なインク供給速度が得られるように、断面積が調整される。すなわち、インク供給速度を増やして、より大きい吐出量をより短い吐出周期で吐出できるようにするためには、インク流路３０６Ａ、３０６Ｂの断面積はより大きいことが望ましい。

また、本実施形態では、インク吐出方向の外側に位置する流路における流路幅は、インク吐出方向内側に位置する流路における流路幅よりも大きく形成されている。従って、インク流路を画成する壁面が、ヒータ形成面に対して直交するインクの吐出方向に対し、インクの吐出される方向に向かうにつれて、インク流路が広がるように外側に傾斜している壁面を有している。

Ｄ−Ｄ線に沿う断面におけるインク流路３０６Ａと第一の圧力室３０３Ｂ、Ｅ−Ｅ線に沿う断面におけるインク流路３０６Ａとインク流路３０６Ｂにおいて、ヒータ基板３０５とオリフィスプレート３０８の密着面積は最下部の開口幅によって決まる。インク流路の断面積を確保しつつより大きい密着面積を確保するには、インク流路３０６Ａ、３０６Ｂの壁は、第一の圧力室３０３Ａ、３０３Ｂの壁が有するような傾斜は極力持たずに、垂直あるいは上層側に開口が広がる傾斜を持つことが好ましい。また、その方が、ノズル３００Ａとノズル３００Ｂ同士をより近接して設置できるようになる。本実施形態では、第一の圧力室３０３Ａ、３０３Ｂの壁と、インク流路３０６Ａ、３０６Ｂの壁とで傾斜を上記のように異ならせることで、吐出効率とオリフィスプレート３０８との密着信頼性の両立を図っている。また、さらに、本実施形態のインク流路３０６Ａ、３０６Ｂは、下層よりも上層の幅を大きくすることで、密着面積を減らさずにより大きい流路断面積が得られるように配慮されている。

このように、本実施形態では、インク流路３０６においては開口面積がインク吐出方向に対して外側にいくにつれて大きくなっており、ヒータ形成面Ｐに近づくにつれてインク流路３０６の開口面積が小さくなっている。従って、隣接するノズル３００の間におけるインク流路３０６の近傍では、ノズル３００の間を仕切るための壁が厚く形成されることになる。これにより、圧力室５００の近傍で低下した記録ヘッド１の強度がインク流路の近傍で補われて高くなり、圧力室５００を画成する壁面が傾斜することによる記録ヘッドの信頼性の低下を抑えることができる。また、基板３０５とオリフィスプレート３０８との間の接着面積が拡大することにより、これらの間での剥がれの発生が抑えられる。従って、圧力室を画成する壁面が傾斜することによる接着面積の減少によって、剥がれの可能性が高くなり信頼性が低下することを抑えることができる。

次に、図５（ａ）〜（ｐ）を参照しながら、本実施形態の記録ヘッド１を製造するための製造方法について説明する。本実施形態の製造方法においては、インクの吐出されるインク吐出方向に対して二層の異なる形状を有する圧力室またはインク流路の少なくともいずれかを形成することを可能とする記録ヘッドの製造方法である。

図５（ａ）は、まず、基板に対してヒータが配置された際の平面図であり、図５（ｂ）はその際の基板のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。基板３０５は、本実施形態ではＳｉによって形成されており、Ｓｉ基板にパターニング処理等により複数のヒータ３０２Ａ及び３０２Ｂが配置されることでヒータ基板が形成される。また、図示はしていないが、このときにそれぞれのヒータに電圧を印加するための配線が所定の形状通りに形成される。さらに、ヒータ３０２Ａ、３０２Ｂ及び基板を覆うようにヒータ３０２に対してその上の層を電気的に絶縁させるための絶縁膜（不図示）が配置される。さらに、絶縁膜を覆うように、気泡が消泡した際に生じるキャビテーションからヒータ３０２Ａ、３０２Ｂの表面を保護するための保護膜（不図示）が配置される。

それから、ヒータ３０２Ａ、３０２Ｂの配置された基板３０５に対して感光性を有する第一の樹脂層３２０、第二の樹脂層３３０を順次塗布する。本実施形態では、第一の樹脂層３２０及び第二の樹脂層３３０は、スピンコート法により塗布される。図５（ｃ）に、第一の樹脂層３２０が塗布された基板３０５の平面図を示し、図５（ｄ）に、図５（ｃ）のＤ−Ｄ線に沿う断面図を示す。また、図５（ｅ）に、第一の樹脂層３２０及び第二の樹脂層３３０が塗布された基板３０５の平面図を示し、図５（ｆ）に、図５（ｅ）のＦ−Ｆ線に沿う断面図を示す。これらの樹脂層３２０、３３０はいずれも露光された部分が溶媒可溶性となるような感光特性を有している。また、第一の樹脂層３２０及び第二の樹脂層３３０では、それぞれが異なる波長領域で溶媒可溶性を示すように、それぞれ感光特性の異なる材料から形成されている。また、本実施形態では、第二の樹脂層３３０は第一の樹脂層３２０の感光波長領域の少なくとも一部を吸収する材料から形成されることとする。

次に、第一の樹脂層３２０及び第二の樹脂層３３０が塗布された基板３０５に対して、露光装置を用いて露光させる。このとき、第二の樹脂層３３０に対して、所定の形状通りに第二の樹脂層３３０を残すためにフィルタとしての第二のマスクを介して露光させて感光させる。第二のマスクによって第二の樹脂層３３０に対して露光させる際には、第二の樹脂層３３０の感光特性に対応した光を露光させる。具体的には、第二の樹脂層３３０が溶媒可溶性を示すような、第二の樹脂層３３０の感光特性に対応する波長領域を有した光を用いて露光させる。このようにして、第二のマスクを介して第二の樹脂層３３０を露光させて、第二の樹脂層３３０における感光した部分に関してその後に溶媒によって溶解させ感光した部分を除去する。その結果、図５（ｇ）、（ｈ）に示されるように、第二の樹脂層３３０によって所定のノズルパターンが形成される。このとき、第二のマスクは、第二の樹脂層３３０のみのパターニングを行うために、第一の樹脂層３２０が感光するような波長の光を遮断することが望まれる。図５（ｇ）は、第二の樹脂層３３０によって所定のノズルパターンが形成された際の、基板３０５、第一の樹脂層３２０及び第二の樹脂層３３０の平面図であり、図５（ｈ）は、このときの図５（ｇ）におけるＨ−Ｈ線に沿う断面図である。第二の樹脂層３３０は露光をマスクによって遮断された部分のみが残り、後に塗布されるインク流路を形成するための型となる。

次に、第二の樹脂層３３０の下層である第一の樹脂層３２０に対して、所定の形状通りに第一の樹脂層を残すためにフィルタとしての第一のマスクを介して露光させて感光させる。第一のマスクによって第一の樹脂層３２０に対して露光させる際には、第一の樹脂層３２０の感光特性に対応した光を露光させる。具体的には、第一の樹脂層３２０が溶媒可溶性を示すような、第一の樹脂層３３０の感光特性に対応する波長領域を有した光を用いて露光させる。このようにして、第一のマスクを介して第一の樹脂層３２０を露光させて、第一の樹脂層３２０における感光した部分に関してその後に溶媒によって溶解させ感光した部分を除去する。その結果、図５（ｉ）、（ｊ）に示されるように、第一の樹脂層３２０によって所定のノズルパターンが形成される。図５（ｉ）は、第一の樹脂層３２０によって所定のノズルパターンが形成された際の、基板３０５、第一の樹脂層３２０及び第二の樹脂層３３０の平面図であり、図５（ｊ）は、このときの図５（ｉ）におけるＪ−Ｊ線に沿う断面図である。第一の樹脂層３２０は露光をマスクによって遮断された部分のみが残り、後に塗布されるインク流路を形成するための型となる。

また、本実施形態では、第一の樹脂層３２０は第二の樹脂層３３０の感光波長の一部を吸収することとし、第二の樹脂層３３０に対する感光波長とその後に露光される光との両方の光が露光されることで第一の樹脂層３２０が感光することとする。こうすることで、第二の樹脂層３３０の残された部位の下に位置する部位の第一の樹脂層は、後述するような回析した光によって感光する部分以外は感光せずに残されることになる。

また、それぞれの樹脂層の感光特性に対応した光をそれぞれの樹脂層におけるパターニングの際に露光させる際には、全ての層についての感光特性に対応した波長を有する光を照射し、特定の波長領域を有する光のみを通すフィルタでその光を露光させても良い。また、それとは別に、それぞれの樹脂層に対して露光させる毎に、異なる波長領域の光を照射することで、樹脂層の感光特性に対応する波長領域の光を露光させることとしても良い。

次に、図５（ｋ）、（ｌ）に示されるように、第一の樹脂層３２０の一部と第二の樹脂層３３０の一部とが配置された基板３０５を覆うように、後にオリフィスプレートを形成することになる流路形成材３４０を塗布する。図５（ｋ）は、第一の樹脂層３２０の一部と第二の樹脂層３３０の一部とが配置された基板３０５上に流路形成材３４０が塗布された際の基板３０５、第一の樹脂層３２０及び第二の樹脂層３３０の平面図である。また、図５（ｌ）は図５（ｋ）におけるＬ−Ｌ線に沿う断面図である。

次に、流路形成材３４０が固化した後に、図５（ｍ）、（ｎ）に示されるように、所定の位置に吐出口３０１Ａ、３０１Ｂを形成する。図５（ｍ）は、流路形成材３４０に吐出口３０１Ａ、３０１Ｂが形成された際の流路形成材３４０、基板３０５、第一の樹脂層３２０及び第二の樹脂層３３０の平面図である。また、図５（ｎ）は、図５（ｍ）におけるＮ−Ｎ線に沿う断面図である。このとき、本実施形態では吐出口３０１Ａ、３０１Ｂに相当する部分を、露光と現像によってオリフィスプレート形成材３４０から除去することで形成する。露光時には、流路形成材３４０に対するマスクパターンのフォーカスをアンダーフォーカスあるいはオーバーフォーカスにすることによって、吐出口内部に傾斜をつけることも可能である。

次に、図５（ｏ）、（ｐ）に示されるように、所定のエッチング液により、第一の樹脂層３２０及び第二の樹脂層３３０において、パターニングによって残す部分以外の部分について除去する。図５（ｏ）に、除去部分が除去されてノズルが形成された際の、流路形成材３４０、基板３０５、第一の樹脂層３２０及び第二の樹脂層３３０の平面図を示す。また、図５（ｐ）に、図５（ｏ）におけるＰ−Ｐ線に沿う断面図を示す。このようにして、インク吐出方向に対して二層の異なる形状を有する圧力室またはインク流路の少なくともいずれかを形成することが可能になる。本実施形態では、インク吐出方向に対して二層の異なる形状を有するインク流路及び圧力室の両方がヒータ基板３０５に形成される。

本実施形態では、第一の樹脂層に対して、所定の形状通りに第一の樹脂層を残すために第一のマスクを介して露光させて感光させる工程では、一部で、第二の樹脂層の下部に第一の樹脂層の端部が位置するように感光させている。この場合、光の回析を用いて、第二の樹脂層の下部に光を回り込ませて第一の樹脂層への露光を行う。また、第一の樹脂層を、液体吐出方向の外側に向かうにつれて傾斜させるように第一の樹脂層を残す際には、光の回析を用いて、第一のマスクの下部に光を回り込ませて第一の樹脂層への露光を行う。このときの光Ｌの軌道について、図６を参照して説明する。

図６に示されるように、第一の樹脂層を露光させる際に用いる第一のマスク３０５の端部が第二の樹脂層３３０Ｂの端部よりも内方に位置している場合には、第一の樹脂層３２０の真中辺りの高さの部分で光が回析を行って第二の樹脂層３３０Ｂの内側に回り込む。これにより、この部分では、第二の樹脂層３３０Ｂの内側に位置する部位の第一の樹脂層も、露光時の回折光（あるいは散乱光）によって感光し、後に除去されることになる。また、第二の樹脂層３３０Ｂの直下における回析光の回り込むことのできない位置にある第一の樹脂層は、光が第一の樹脂層３２０の上部に到達する前に第二の樹脂層３３０Ｂを通過するときに減衰または吸収されることによって露光されない。また、回析した光は弱いので、第一の樹脂層の内部における下方の深い部位では、光が回析して内側に回り込み難く、光が第一の樹脂層３３０Ｂよりも内側の部位にまで届き難い。これにより、第二の樹脂層３３０Ｂの下部では、露光された際の第一の樹脂層３２０における感光されない部分は、図６に示されるように、第一の樹脂層における中間付近の高さの部分が縮径して湾曲した形状となっている。このとき、結果的に第一の樹脂層３２０における感光されない部分は、最もインク吐出方向に対して外側の部位が最もインク吐出方向に対して内側の部位よりも幅が大きく形成されている。従って、第一の樹脂層３２０における感光されない部分は、インク吐出方向の外側に向かうにつれてその部位の幅が広くなるように、端部が傾斜を有している。

また、本実施形態では、その他に、第一の樹脂層に対して第一のマスク３０５を介して露光させて感光させる工程において、一部で、第一の樹脂層がインク吐出方向の外側に向かうにつれて端部が内方に位置するように傾斜して形成されている。この工程では、光の回析を用いて、マスク３０５の下部に光を回り込ませている。図６に示される第二の樹脂層３３０Ａでは、第二の樹脂層３３０Ａの端部がマスク３０５の端部よりも内側に入り込んでいる。従って、第二の樹脂層３３０Ａは、マスク３０５で回析した光を遮らない。従って、マスク３０５で回析した光が障害なく第一の樹脂層に到達するので、第一の樹脂層の上部ではマスク３０５で回析した光がマスク３０５の端部の内側に大きく入り込む。また、第一の樹脂層における下方の深い位置では、第二の樹脂層３３０Ｂの下部と同様に、光が回析するとその光は弱くなるので、回析して内側に回り込み難く、光がマスク３０５よりも内側の部位にまで届き難い。これにより、第二の樹脂層３３０Ａの下部では、露光された際の第一の樹脂層３２０における感光されない部分は、インクの吐出方向の外側に向かうにつれてその幅が狭くなるように、すなわち端部が内方に位置するように傾斜して形成されている。

第一の樹脂層、第二の樹脂層に対してマスクを介して露光させて感光させ、除去部分を除去する工程が終わると、その後、パターニング後の樹脂層を、例えば１２０〜１４０℃程度で所定時間加熱し、硬化させる。このようにして、インク流路を画成する壁面に傾斜を形成する。本実施形態では、第一の樹脂層における壁面の傾斜は、例えば１０°〜４０°程度が好ましい。

このように、第一の樹脂層において感光されない部分の形状については、マスクの位置を調節することによって制御している。本実施形態では、図６に示されるように、マスク３０５の端部の位置が第二の樹脂層における残された部位の端部に対して突出するかしないかによって第一の樹脂層における感光されない部分の形状を変えている。

なお、本実施形態では、圧力室及びインク流路において、インク吐出方向に二層の異なる形状を有する流路が形成されていることとしている。しかしながら、本発明はこれに限定されず、二層以上の複数層がインク吐出方向に重ねられて形成されても良い。その際には、ヒータの配置された基板に対して感光性を有するｎ層の樹脂層を順次塗布する（ｎ：整数）。そして、重ねられた樹脂層のうち最も上に配置されている第ｎ層に対して、第ｎ層の感光特性に対応した光を露光させると共に、所定の形状通りに第ｎ層を残すために第ｎのマスクを介して露光させて感光させ、一部の第ｎ層を除去する。

それから、第ｎ層の樹脂層を所定の形状通りに形成する工程に関して、第（ｎ−１）の樹脂層から第二の樹脂層に至るまで、順次同様の工程を繰り返す。そして、上からｎ番目に配置されて最下層に配置されている第一の樹脂層に対して、第一の樹脂層の感光特性に対応した光を露光させると共に、所定の形状通りに第一の樹脂層を残すために第一のマスクを介して露光させて感光させ、一部の第一の樹脂層を除去する。それから、第一の樹脂層から第ｎの樹脂層までの残された部分が配置された基板を覆うようにオリフィスプレートを形成する流路形成材を塗布する。それから、所定の位置に吐出口を形成し、基板に残されている第一の樹脂層から第ｎの樹脂層までの一部を除去することで、液体の吐出される液体吐出方向に対して複数層の異なる形状を有する圧力室または液体流路の少なくともいずれかを形成する。三層以上の層から形成される樹脂層を用いて記録ヘッドを製造する際には、このような方法を用いて製造が行われても良い。

（第二実施形態）
本発明の第二の実施形態について図７を参照して説明する。なお、上記第一実施形態と同様に構成できる部分については図中同一符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。

本実施形態では、図７（ｂ）のＦ−Ｆ断面に示されるように、フィルタ３０７がオリフィスプレートと一体的に形成されている。本実施形態では、フィルタ３０７は、インク流路３０６Ａ及びインク流路３０６Ｂの延長線上に延びる流路の間に円柱状に形成されている。また、本実施形態では、フィルタ３０７は、上層にある略円板状の部材と下層にある凹状の側面を有するように形成されたフランジ状の部材との２層の部材が組み合わされて構成されている。そして、上層の円板部材５０２よりも下層のフランジ部材５０１の方が太い形状を有している。

ここで、Ｆ−Ｆ断面において隣接するフィルタ３０７間の流路の断面積、及び図示しないが、オリフィスプレート３０８の端部とフィルタ３０７の間の流路断面積は、第一実施形態の図３に示されるＦ−Ｆ断面のものと同様の構成となっている。従って、第一実施形態と同等のフィルタ３０７の濾過性能、インク供給性能を保持したまま、基板３０５とオリフィスプレート３０８との接着面積を増加させることでヒータ基板３０５とフィルタ３０７との密着性向上を達成している。さらに、フィルタ３０７の上層の円板部材５０２と下層のフランジ部材５０１とがほぼ同じ太さであっても構わないが、本実施形態では敢えて円板部材５０２をフランジ部材５０１より細く（インクの流路となる部分を大きく）形成している。これにより、ヒータ基板３０５とオリフィスプレート３０８との間の接着面積を確保することで密着性能は維持したまま、流路の面積を増加させることでインク供給性能の向上を図ることもできる。

ここで、図７（ｃ）に示されるＡ-Ａ断面と、Ｂ-Ｂ断面との第一の圧力室を比較する。本実施形態では、共通液室３０９から圧力室までのインク流路が長いノズル３００Ａの第一の圧力室の方が、インク流路の短いノズル３００Ｂの第一圧力室よりもヒータ形成面に垂直な面を基準とした壁面の有する傾斜が大きい。これは、ノズル３００Ｂにおいては、第一の圧力室３０３Ｂのすぐ近傍にノズル３００Ａのインク流路３０６Ａが位置しているので、ヒータ基板３０５との密着面積を確保してノズル３００Ｂの強度を確保することを優先していることによる。そのため、ノズル３００Ｂでは、第一の圧力室３０３Ｂを画成する壁面の傾斜を少なくしているのである。そして、近傍に他のノズルのインク流路が形成されていないノズル３００Ａについては、第一の圧力室３０３Ａを画成する壁面の傾斜を弊害のない範囲で極力大きくしている。これにより、ノズル３００Ａによる吐出効率の向上を図っている。なお、本実施形態ではノズル３００Ａよりもノズル３００Ｂの方が、相対的に吐出量が大きく、ヒータサイズもノズル３００Ｂの方が大きい構成としたが、その関係は逆であってもよい。そうすることで、よりヒータサイズの大きいノズル３００Ａに対して積極的に吐出効率を上げ、ヘッド発熱の抑制効果をより高めるようにすることもできる。

（第三実施形態）
次に、本発明の第三の実施形態について図８を参照して説明する。なお、上記第一実施形態及び第二実施形態と同様に構成できる部分については図中同一符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。本実施形態では、図８に示されるように、第一の圧力室３０３Ａ、３０３Ｂ及びインク流路３０６Ａ、３０６Ｂが一層によって形成されている。このような場合であっても、上記の第一実施形態及び第二実施形態と同様に、本発明の記録ヘッドが得られる。

本実施形態のようなノズルを製造するには、インク流路を形成する型材（樹脂層）のパターニングを行う際に、壁の傾斜を大きくしたい第一の圧力室３０３Ａ、３０３Ｂと、壁面の傾斜を少なくしたいインク流路３０６Ａ、３０６Ｂとで、別のマスクを用いる。

そして、第一の圧力室３０３Ａ、３０３Ｂと、インク流路３０６Ａ、３０６Ｂとで異なる露光条件でパターニングすれば良い。例えば、第一の圧力室３０３Ａ、３０３Ｂに相当する部分の樹脂層を形成する際にはインク流路３０６Ａ、３０６Ｂに相当する部分の樹脂層を形成する際よりも露光量を大きくすれば良い。

（他の実施形態）
なお、本発明の液体吐出ヘッドは、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に搭載可能である。そして、この液体吐出ヘッドを用いることによって、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど種々の記録媒体に記録を行うことができる。なお、本明細書内で用いられる「記録」とは、文字や図形などの意味を持つ画像を記録媒体に対して付与することだけでなく、パターンなどの意味を持たない画像を付与することも意味することとする。

さらに、「インク」または「液体」とは、広く解釈されるべきものであり、記録媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成、記録媒体の加工、或いはインクまたは記録媒体の処理に供される液体を言うものとする。ここで、インクまたは記録媒体の処理としては、例えば、記録媒体に付与されるインク中の色材の凝固または不溶化による定着性の向上や、記録品位ないし発色性の向上、画像耐久性の向上などのことを言う。

本発明の第一実施形態における記録ヘッドを用いたインクジェットカートリッジの斜視図である。 図１のインクジェットカートリッジにおける記録ヘッドの要部を拡大した拡大図である。 （ａ）は、図２の記録ヘッドにおけるノズル構成を説明するための断面図であり、（ｂ）はＣ−Ｃ、Ｄ−Ｄ、Ｅ−Ｅ、Ｆ−Ｆ線に沿う断面図であり、（ｃ）はＡ−Ａ、Ｂ−Ｂ線に沿う断面図である。 （ａ）は、図３の第一の圧力室を画成する壁面を傾斜させた記録ヘッドによりインク滴を吐出する際の断面図であり、（ｂ）は、比較例としての第一の圧力室を画成する壁面に傾斜の無い記録ヘッドによりインク滴を吐出する際の断面図である。 （ａ）〜（ｐ）は、図３の記録ヘッドを製造する製造工程を説明するための説明図である。 第一の樹脂層及び第二の樹脂層に露光させる際の光の軌道を模式的に示した説明図である。 （ａ）は本発明の第二実施形態の記録ヘッドにおけるノズル構成を説明するための断面図であり、（ｂ）はＣ−Ｃ、Ｄ−Ｄ、Ｅ−Ｅ、Ｆ−Ｆ線に沿う断面図であり、（ｃ）はＡ−Ａ、Ｂ−Ｂ線に沿う断面図である。 （ａ）は本発明の第三実施形態の記録ヘッドにおけるノズル構成を説明するための断面図であり、（ｂ）はＣ−Ｃ、Ｄ−Ｄ、Ｅ−Ｅ、Ｆ−Ｆ線に沿う断面図であり、（ｃ）はＡ−Ａ、Ｂ−Ｂ線に沿う断面図である。 従来の記録ヘッドのノズルの構成を示す断面図である。

符号の説明

１ 記録ヘッド
３０１ 吐出口
３０２ ヒータ
３０３ 第一の圧力室
３０４ 第二の圧力室
３０５ 基板
３０６ インク流路
３２０ 第一の樹脂層
３３０ 第二の樹脂層
３４０ オリフィスプレート形成材

Claims (12)

1. 内部に液体を貯留するためのエネルギー作用室と、
   前記エネルギー作用室に配置され、前記エネルギー作用室の内部の液体に付与するためのエネルギーを発生させる記録素子と、
   前記エネルギー作用室に連通し、前記記録素子によってエネルギーが付与された液体を吐出するための吐出口と、
   液体供給口から前記エネルギー作用室に液体を供給する液体流路と
   を有するノズルを具えた液体吐出ヘッドにおいて、
   前記記録素子の配置された記録素子形成面に対して直交する方向に対し、前記吐出口に近づくにつれて、前記エネルギー作用室が狭まるように、前記エネルギー作用室を画成する壁面が前記エネルギー作用室の内方に向かって傾斜し、
   前記液体流路を画成する壁面が液体吐出方向に対して傾斜し、
   前記液体流路を画成する壁面の前記液体流路の傾斜の角度は、前記エネルギー作用室を画成する壁面の前記エネルギー作用室の内方に向かう傾斜の角度よりも小さいことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記液体流路を画成する壁面は、前記記録素子形成面に対して直交する方向に対し、液体の吐出される方向に向かうにつれて、前記液体流路が広がるように外側に傾斜している部分を備えることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記液体流路における、液体の吐出される液体吐出方向に対して最も液体吐出方向の外側に位置する部分の流路幅が、最も液体吐出方向の内側に位置する部分の流路幅よりも大きいことを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記液体流路は、断面が略矩形状である二つの流路が前記液体吐出方向に並べられた形状を有しており、液体吐出方向の外側に位置する流路における流路幅が、液体吐出方向の内側に位置する流路における流路幅よりも大きいことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記エネルギー作用室は、前記液体流路と連通した第一のエネルギー作用室と前記吐出口に連通した第二のエネルギー作用室とを有し、
   前記第一のエネルギー作用室を画成する壁面におけるエネルギー作用室の内側に向かう方向への傾斜は、前記第二のエネルギー作用室の内側に向かう方向への傾斜よりも大きいことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記エネルギー作用室は、前記液体流路と連通した第一のエネルギー作用室と前記吐出口に連通した第二のエネルギー作用室とを有し、
   前記第一のエネルギー作用室の容積は、前記第二のエネルギー作用室の容積よりも大きいことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記液体供給口の少なくとも一方の側に前記液体流路の長さが異なる二種類のノズルが交互に配置され、
   前記液体流路の短い方のノズルにおけるエネルギー作用室の前記液体供給口から最も遠い部位は、前記液体流路の長い方のノズルにおけるエネルギー作用室の前記液体供給口から最も近い部位よりも前記液体供給口に近いことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記液体流路の短い方のノズルから吐出される液体の吐出量は、前記液体流路の長い方のノズルから吐出される液体の吐出量よりも多いことを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 基板とオリフィスプレートとの間に形成され、内部に液体を貯留するためのエネルギー作用室と、
   前記エネルギー作用室に配置され、前記エネルギー作用室の内部の液体に付与するためのエネルギーを発生させる記録素子と、
   前記エネルギー作用室に連通し、前記記録素子によってエネルギーが付与された液体を吐出するための吐出口と、
   液体供給口から前記エネルギー作用室に液体を供給する液体流路と
   を有するノズルを具えた液体吐出ヘッドの製造方法において、
   前記記録素子の配置された前記基板に対して感光性を有するｎ層の樹脂層を順次塗布し（ｎ：整数）、
   最も上に配置されている第ｎ層に対して、第ｎ層の感光特性に対応した光を露光させると共に、所定の形状通りに第ｎ層を残すために第ｎのマスクを介して露光させて感光させ、一部の第ｎ層を除去し、
   第ｎ層の樹脂層を所定の形状通りに形成する工程に関して、同様の工程を繰り返し、上からｎ番目に配置されている第一の樹脂層に対して、第一の樹脂層の感光特性に対応した光を露光させると共に、所定の形状通りに第一の樹脂層を残すために第一のマスクを介して露光させて感光させ、一部の第一の樹脂層を除去し、
   前記第一の樹脂層から第ｎ層の樹脂層までの残された部分が配置された前記基板を覆うように前記オリフィスプレートを形成するオリフィスプレート形成材を塗布し、
   所定の位置に吐出口を形成し、
   前記基板に残されている前記第一の樹脂層から第ｎ層の樹脂層までの一部を除去することで、
   液体の吐出される液体吐出方向に対して複数層の異なる形状を有するエネルギー作用室または液体流路の少なくともいずれかを形成する液体吐出ヘッドの製造方法。
10. 基板とオリフィスプレートとの間に形成され、内部に液体を貯留するためのエネルギー作用室と、
    前記エネルギー作用室に配置され、前記エネルギー作用室の内部に貯留されている液体に付与するためのエネルギーを発生させる記録素子と、
    前記エネルギー作用室に連通し、前記記録素子によってエネルギーが付与された液体を吐出するための吐出口と、
    液体供給口から供給され前記エネルギー作用室に貯留される液体が通る液体流路と
    を有するノズルを具えた液体吐出ヘッドの製造方法において、
    前記記録素子の配置された前記基板に対して感光性を有する第一の樹脂層、第二の樹脂層を順次塗布し、
    前記第二の樹脂層に対して、前記第二の樹脂層の感光特性に対応した光を露光させると共に、所定の形状通りに前記第二の樹脂層を残すために第二のマスクを介して露光させて感光させ、一部の第二の樹脂層を除去し、
    前記第一の樹脂層に対して、第一の樹脂層の感光特性に対応した光を露光させると共に、所定の形状通りに第一の樹脂層を残すために第一のマスクを介して露光させて感光させ、一部の第一の樹脂層を除去し、
    前記第一の樹脂層の一部と前記第二の樹脂層の残された部分が配置された前記基板を覆うように前記オリフィスプレートを形成するオリフィスプレート形成材を塗布し、
    所定の位置に吐出口を形成し、
    前記基板に残っている第一の樹脂層及び第二の樹脂層を除去することで、
    液体の吐出される液体吐出方向に対して二層の異なる形状を有するエネルギー作用室または液体流路の少なくともいずれかを形成する液体吐出ヘッドの製造方法。
11. 前記第一の樹脂層に対して、所定の形状通りに第一の樹脂層を残すために第一のマスクを介して露光させて感光させる工程で、
    第二の樹脂層の下部に第一の樹脂層の端部を有するように第二の樹脂層の形状を残す際には、光の回析を用いて、第二の樹脂層の下部に光を回り込ませることを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
12. 前記第一の樹脂層に対して、所定の形状通りに第一の樹脂層を残すために第一のマスクを介して露光させて感光させる工程で、
    第一の樹脂層を、液体吐出方向の外側に向かうにつれて傾斜させるように第一の樹脂層を残す際には、光の回析を用いて、前記第一のマスクの下部に光を回り込ませることを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

Images