JP4845692B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
液体吐出ヘッドの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4845692B2 JP4845692B2 JP2006320248A JP2006320248A JP4845692B2 JP 4845692 B2 JP4845692 B2 JP 4845692B2 JP 2006320248 A JP2006320248 A JP 2006320248A JP 2006320248 A JP2006320248 A JP 2006320248A JP 4845692 B2 JP4845692 B2 JP 4845692B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive material
- material layer
- positive photosensitive
- light
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
続いて図3を参照して本発明の実施例を説明する。
2 基板
3 インク供給口
4 流路壁形成部材
5 吐出口
6 第一のポジ型感光性材料層
7 第二のポジ型感光性材料層
8 第三のポジ型感光性材料層
9 被覆樹脂層
10 流路
11 パターン
Claims (6)
- 液体を吐出する吐出口と、該吐出口に連通する液体の流路が設けられた液体吐出ヘッドの製造方法において、
基板上に、第一のポジ型感光性材料層を形成する工程と
前記第一のポジ型感光性材料層上に前記第一のポジ型感光性材料層が感光する波長の光を吸収する光吸収剤を含有し、前記波長の光に感光する第二のポジ型感光性材料層を形成する工程と、
前記第二のポジ型感光性材料層上に前記波長の光に感光する第三のポジ型感光性材料層を形成する工程と、
前記第三のポジ型感光性材料層を形成する工程の後に、前記波長の光によって前記第三のポジ型感光性材料層を露光する工程と、
前記第三のポジ型感光性材料層を露光する工程の後に、前記第三のポジ型感光性材料層を現像する工程、ならびに前記波長の光によって前記第二のポジ型感光性材料層および前記第一のポジ型感光性材料層を露光する工程と、
前記第三のポジ型感光性材料層を現像する工程、ならびに前記波長の光によって前記第二のポジ型感光性材料層および前記第一のポジ型感光性材料層を露光する工程の後に、前記第二のポジ型感光性材料層および前記第一のポジ型感光性材料層の現像を行う工程と、
前記現像が行われた前記第一のポジ型感光性材料層、第二のポジ型感光性材料層および、前記第三のポジ型感光性材料層を被覆するように前記基板上に被覆層を形成する工程と、
前記被覆層を形成する工程の後に、前記被覆層に前記吐出口を形成する工程と、
前記吐出口を形成する工程の後に、前記第一のポジ型感光性材料層、第二のポジ型感光性材料層および前記第三のポジ型感光性材料層を除去して、前記流路を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第二のポジ型感光性材料層および前記第一のポジ型感光性材料層を露光する前記波長の光の強度は、前記第三のポジ型感光性材料を露光する工程における前記波長の光の強度よりも強いことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第一のポジ型感光性材料層、第二のポジ型感光性材料層および第三のポジ型感光性材料層が含有する感光性材料は同一の組成物からなる請求項1または2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記感光性材料がポリメチルイソプロペニルケトンである請求項3に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記被覆層を形成する工程は、塗布によって行うことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第二のポジ型感光性材料層の厚みは2μm以下であり、前記第二のポジ型感光性材料層の光吸収剤の含有量は、前記感光性材料に対して3重量パーセント以上であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006320248A JP4845692B2 (ja) | 2005-12-02 | 2006-11-28 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005349487 | 2005-12-02 | ||
JP2005349487 | 2005-12-02 | ||
JP2006320248A JP4845692B2 (ja) | 2005-12-02 | 2006-11-28 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007176162A JP2007176162A (ja) | 2007-07-12 |
JP2007176162A5 JP2007176162A5 (ja) | 2010-01-14 |
JP4845692B2 true JP4845692B2 (ja) | 2011-12-28 |
Family
ID=38301789
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006320248A Expired - Fee Related JP4845692B2 (ja) | 2005-12-02 | 2006-11-28 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4845692B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5159336B2 (ja) * | 2008-01-25 | 2013-03-06 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
JP5495954B2 (ja) * | 2010-05-31 | 2014-05-21 | キヤノン株式会社 | 微細パターンの製造方法 |
JP5701119B2 (ja) * | 2011-03-23 | 2015-04-15 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000318167A (ja) * | 1999-05-07 | 2000-11-21 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
JP4532785B2 (ja) * | 2001-07-11 | 2010-08-25 | キヤノン株式会社 | 構造体の製造方法、および液体吐出ヘッドの製造方法 |
-
2006
- 2006-11-28 JP JP2006320248A patent/JP4845692B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007176162A (ja) | 2007-07-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101012898B1 (ko) | 액체 토출 헤드 제조 방법 | |
JP3833989B2 (ja) | インクジェットプリントヘッドの製造方法 | |
JP4834426B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
JP5084630B2 (ja) | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法、構造体およびその製造方法 | |
JP5153951B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
JP5230189B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP4729730B2 (ja) | インクジェットプリントヘッドの製造方法 | |
JP5111544B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
US8083324B2 (en) | Inkjet printhead and method of manufacturing the same | |
JP6000715B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP4845692B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
US7682779B2 (en) | Method for manufacturing liquid discharge head | |
JP5153276B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
US20090201343A1 (en) | Liquid ejection head and manufacturing method of liquid ejection head | |
JP2005125619A (ja) | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 | |
JP2007216415A (ja) | 液体噴射記録ヘッド、およびその製造方法 | |
JP2008030272A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 | |
JP5743637B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2009226862A (ja) | 液体吐出記録ヘッドの製造方法、及び液体吐出記録ヘッド | |
JP5111449B2 (ja) | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法、構造体の形成方法 | |
JP6132652B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2009226845A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法及び微細構造体の製造方法 | |
JP2005125577A (ja) | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 | |
JP2009148937A (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091124 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091124 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100201 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20100630 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110726 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110907 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111004 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111011 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141021 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141021 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |