JP2010023506A - 液体吐出ヘッドおよびその製造方法、構造体の形成方法 - Google Patents
液体吐出ヘッドおよびその製造方法、構造体の形成方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 基板1の主面1aに対して鈍角をなす側面12をもつ、第1の固体層3aを、基板上に設ける工程と、基板上に側面に接するように第2の固体層4aを設ける工程と、第1の固体層3aの、少なくとも側面の部分に対し、第2の固体層4aを介して露光を施す工程と、第1の固体層3aの、露光がなされた部分を除去する工程と、を行うことにより、流路のパターン3、4を形成することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【選択図】 図3
Description
前記基板の主面に対して鈍角をなす側面をもつ、ポジ型感光性樹脂からなる第1の固体層を、前記基板上に設ける工程と、前記基板上に前記側面に接するように前記流路のパターンとなる第2の固体層を設ける工程と、前記第1の固体層の、少なくとも前記側面の部分に対し、前記第2の固体層を介して露光を施す工程と、前記第1の固体層の、前記露光がなされた部分を除去する工程と、少なくとも前記第2の固体層上に該第2の固体層を被覆するように被覆層を設ける工程と、前記第2の固体層を除去して前記流路を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
まず第1に図3(a)に示されるように、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子2を有する基板1を用意する。
図3(d)に示される工程までは、第1の実施形態と同様に行う。
次いで、図5(b)に示されるように、第2の固体層に対して現像を施して第1の固体層3aの間に第2のパターン4を形成する。
次いで、図5(c)に示されるように、前記第2のパターン4を介して第1の固体層3aの露光を行う。
次いで、図5(d)に示されるように、第1の固体層3aに対して現像を施し、第1の固体層3aのうち、第2のパターン4と接触していた部分を除去して、第2のパターン4と離間した流路の第1のパターン3を形成する。以上のようにして、第1のパターン3上に第2のパターンが存在しない形態の流路形状のパターンを形成することができる。
図3(d)に示される工程までは、第1の実施形態と同様に行う。
次いで、図6(b)に示されるように、第2のパターン4を介して第1の固体層3aを露光する。
次いで、図6(c)に示されるように、第1の固体層3aに対して現像を施し、第1の固体層3aのうち、第2のパターン4と接触していた部分を除去して、第2のパターン4と離間した流路の第1のパターン3を形成する。
図9を参照して本発明の第4の実施形態について説明する。
次いで、図9(b)に示されるように、ポジ型感光性樹脂の層11をパターニングして、基板1上に、基板1の主面1aに対して底部より上部が小さく鈍角をなす斜面をもつポジ型感光性樹脂の第1の固体層3aを形成する。
次いで、図9(c)に示されるように、第1の固体層3a上に、第1の固体層3aの基板の主面に対して鈍角をなす斜面状の側外面に接するように第2の固体層4aを設ける。第2の固体層4aは第1の固体層3aを被覆してもよい。
次いで、図9(d)に示されるように、第2の固体層4aを露光する。
次いで、図9(e)に示されるように、第2の固体層4aに対して現像を施し、パターン4を形成するとともに、第1の固体層3aの一部を露出させる。パターン4の側部は固体層3aの側面が転写された形状であるため、結果として底部よりも上部の長さが長い形状となる。
次いで、図9(f)に示されるように、第1の固体層3aを除去する。
実施例と比較例との液体吐出ヘッドそれぞれを吐出装置に搭載して、インクを用いて記録紙に吐出をおこなった。比較例のヘッドを用いた記録において、高デューティーで吐出を行った場合には、白スジが出現する場合があった。これはリフィルが不足したため、一部の吐出口から吐出が行えなかったためであると考えられる。一方実施例のヘッドにおいては、高デューティーであっても問題なく吐出が行えた。
1a 主面
2 エネルギー発生素子
3 第1のパターン
3a 第1の固体層
4 第2のパターン
4a 第2の固体層
5 流路形成部材
6 吐出口(供給口に対して相対的に近い位置)
7 吐出口(供給口に対して相対的に遠い位置)
8 供給口
12 側面
13 流路
Claims (12)
- 基板と、該基板上に形成された、液体を吐出する吐出口と連通する液体の流路と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記基板に対して鈍角をなす側外面をもつ、ポジ型感光性樹脂からなる第1の固体層を、前記基板上に設ける工程と、
前記基板上に前記側外面に接するように前記流路の形状のパターンとなる第2の固体層を設ける工程と、
前記第2の固体層から前記パターンを形成する工程と、
前記第1の固体層の、少なくとも前記側外面の部分に対し、前記第2の固体層を介して露光を施す工程と、
前記第1の固体層の、前記露光がなされた部分を除去する工程と、
少なくとも前記パターン上に該パターンを被覆するように被覆層を設ける工程と、
前記パターンを除去して前記流路を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第2の固体層は、前記第1の固体層を被覆するように設けられることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1の固体層を露光する前に、前記第2の固体層をパターニングして前記流路の形状のパターンとすることを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記側面は前記基板上に設けられたポジ型感光性樹脂を露光することにより形成されたものであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1の固体層上に前記第2の固体層を設けた後、前記第2の固体層を研磨する工程をさらに有することを特徴とする請求項2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第2の固体層を研磨して前記第1の固体層を露出させることを特徴とする請求項5に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第2の固体層は前記第1の固体層を露光する光を80%以上の透過率で透過させることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1の固体層全体に対して前記露光を行うことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 基板と、該基板上に形成された、液体を吐出する吐出口と連通する液体の流路と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記基板に対して鈍角をなす側外面をもつ、第1の固体層を、前記基板上に設ける工程と、
前記基板上に前記側外面に接するように第2の固体層を設ける工程と、
前記第2の固体層から前記流路の形状のパターンを形成する工程と、
前記第1の固体層を除去する工程と、
前記パターン上に該パターンを被覆するように被覆層を設ける工程と、
前記第2のパターンを除去して前記流路を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 基板上に、該基板に対して鈍角をなす側外面をもつ第1の固体層を設ける工程と、
前記基板上に前記側外面に接するように構造体となるポジ型感光性樹脂からなる第2の固体層を設ける工程と、
前記第1の固体層を除去する工程と、
を有することを特徴とする構造体の形成方法。 - 基板上に、該基板に対して鈍角をなす側外面をもつ、ポジ型感光性樹脂からなる第1の固体層を設ける工程と、
前記基板上に前記側面に接するように第2の固体層を設ける工程と、
前記第1の固体層の、少なくとも前記側面の部分に対し、前記第2の固体層を介して露光を施す工程と、
前記第1の固体層の、前記露光がなされた部分を除去する工程と、
を有することを特徴とする構造体の製造方法。 - 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数の素子に対向して設けられた複数の吐出口と、該吐出口と該吐出口へ液体を供給するための供給口とを連通する流路と、該流路の一部であって前記素子を内包するエネルギー発生室と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記供給口から相対的に近い位置に設けられた二つの前記素子のそれぞれに対応する第1のエネルギー発生室と第2のエネルギー発生室との間に、前記供給口から相対的に遠い位置に設けられた前記エネルギー発生素子に対応する前記吐出口へと連通する第1の流路が設けられ、前記供給口から前記エネルギー発生素子へと向かう方向と交差する方向に関して、前記第1および第2のエネルギー発生室は前記吐出口側の長さより前記基板側の長さの方が長く、前記第1の流路は前記基板側の長さより前記吐出口側の長さの方が長いことを特徴とする液体吐出ヘッド。
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