JP2014131854A - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、基板の上に、第一の感光性樹脂からなる第一の層を形成する工程と、前記第一の層の上に、前記第一の感光性樹脂の感光波長を有する光の透過を低減することが可能な材料を用いて、少なくとも一部の側面部分に光の透過分布を具備するマスク層を形成する工程と、前記第一の層に対して第一の露光処理及び第一の現像処理を行い、前記液体流路の型となる流路型パターンを形成する工程と、ここで、前記流路型パターンのテーパー角度θが95°<θであり、前記流路型パターンを被覆するように被覆樹脂層を形成する工程と、前記被覆樹脂層をパターニングして、前記吐出口を有する前記流路形成部材を形成する工程と、を含む液体吐出ヘッドの製造方法である。
【選択図】図1
Description
液体を吐出する吐出口及び該吐出口に連通する液体流路を形成する流路形成部材を基板上に有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(1)前記基板の上に、第一の感光性樹脂からなる第一の層を形成する工程と、
(2)前記第一の層の上に、前記第一の感光性樹脂の感光波長を有する光の透過を低減することが可能な材料を用いて、少なくとも一部の側面部分に光の透過分布を具備するマスク層を形成する工程と、
(3)前記第一の層に対して前記マスク層をマスクとした第一の露光処理及び第一の現像処理を行い、前記液体流路の型となる流路型パターンを形成する工程と、ここで、前記流路型パターンの基板面に垂直な断面における上面と側面の間のテーパー角度をθとしたとき、95°<θであり、
(4)前記流路型パターンを被覆するように被覆樹脂層を形成する工程と、
(5)前記被覆樹脂層をパターニングして、前記吐出口を有する前記流路形成部材を形成する工程と、
(6)前記流路型パターンを除去して前記液体流路を形成する工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
また、本発明は、前記第一の層に対して前記マスク層をマスクとした第一の露光処理及び第一の現像処理を行い、前記液体流路の型となる流路型パターンを形成する工程を含む。
図2は、本実施形態の製造方法を説明するための断面工程図であり、図1(a)のA−A’線における模式的断面図である。以下、図2を参照して、本実施形態について説明する。
流路型パターンを除去した後、キュア工程を施してもよい。
図3は、本実施形態の製造方法を説明するための断面工程図であり、図1のB−B´線における模式的断面図である。以下、図3を参照して、本実施形態について説明する。
本実施形態では、流路形成部材が液体流路間の隔壁を含む構成を有し、液体流路は、該隔壁を構成する内周側壁と、外周側壁とを有する形態について特に説明する。さらに、本実施形態では、流路型パターンが、前記内周側壁を形成するための内側側面と、前記外周側壁を形成するための外側側面とを有し、前記外側側面が前記テーパー角度をつけて形成される形態について特に説明する。
図4は、本実施形態の製造方法を説明するための断面工程図であり、図1(a)のA−A’線における断面模式図である。以下、図4を参照して、本実施形態について説明する。
以下に示す工程に従って、液体吐出ヘッドを作製した。なお、図2は図1のA−A’線における断面工程図である。以下に、本実施例の具体的な製造方法について説明する。
比較例1を図6を参照して説明する。
実施例1と同様に吐出エネルギー発生素子212が設けられた基板211に対し、感光性樹脂層を用いて第1の層221を形成する(図7(a))。
2、12 吐出エネルギー発生素子
3、13 共通液室
4、14 流路壁部材
5、15 吐出口
6、16 独立供給口
7、17 液体流路
21 第一の層
31 第二の層
41 マスク
42 露光光
51 配線もしくは密着層等のパターン
61 テーパー開始点
62 テーパー終了点
71 基板に形成されているパターン
72 型と同時に形成されるパターン
73 吐出口と同時に形成されるパターン
Claims (6)
- 液体を吐出する吐出口及び該吐出口に連通する液体流路を形成する流路形成部材を基板上に有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(1)前記基板の上に、第一の感光性樹脂からなる第一の層を形成する工程と、
(2)前記第一の層の上に、前記第一の感光性樹脂の感光波長を有する光の透過を低減することが可能な材料を用いて、少なくとも一部の側面部分に光の透過分布を具備するマスク層を形成する工程と、
(3)前記第一の層に対して前記マスク層をマスクとした第一の露光処理及び第一の現像処理を行い、前記液体流路の型となる流路型パターンを形成する工程と、ここで、前記流路型パターンの基板面に垂直な断面における上面と側面の間のテーパー角度をθとしたとき、95°<θであり、
(4)前記流路型パターンを被覆するように被覆樹脂層を形成する工程と、
(5)前記被覆樹脂層をパターニングして、前記吐出口を有する前記流路形成部材を形成する工程と、
(6)前記流路型パターンを除去して前記液体流路を形成する工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記工程(2)は、
前記第一の層の上に、前記第一の感光性樹脂の感光波長を有する光の透過を低減することが可能な第二の感光性樹脂からなる第二の層を形成する工程と、
前記第二の層に対して第二の露光処理及び第二の現像処理を行い、前記マスク層を形成する工程と、
を含み、
前記第二の露光処理は、結像位置を前記第二の層の表面より基板側にずらして結像露光する処理である請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記流路形成部材は、前記液体流路間の隔壁を含み、
前記液体流路は、該隔壁を構成する内周側壁と、外周側壁とを有し、
前記流路型パターンは、前記内周側壁を形成するための内側側面と、前記外周側壁を形成するための外側側面とを有し、
前記外側側面が前記テーパー角度をつけて形成される請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記内側側面は基板面に対して略垂直に形成されている請求項3に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記マスク層が少なくとも2層で構成されている請求項1乃至4のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第一の感光性樹脂がポジ型感光性樹脂である請求項1乃至5のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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