JP4857354B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
また、nは4以下、mは5以下の自然数である]
上記i線反射防止膜10に用いることができる市販品としては、東京応化工業(株)製 SWK−T7 LEなどがある。
次いで、図3(h)に示されたように、第2の層10をマスクとして、前記第1の層9を全面露光する。
その後に、図3(i)に示されたように、所定のエッチング液で現像することで、第1の層9を、後に形成される流路の形状を有するパターン(流路パターン)9aとする。
以下に実施例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。
エポキシ樹脂:EHPE−3150(ダイセル化学(株)製) 53重量%
光カチオン重合開始剤:SP−172(旭電化工業(株)製) 3重量%
メチルイソブチルケトン 44重量%
次いで、被覆層3を所定のパターンに露光する。この時にマスク13を使用し、i線ステッパー(FPA3000i5+(キヤノン(株)製))を用いて4000J/m2で露光した後、メチルイソブチルケトンで現像し、φ9〜φ16の吐出口4を形成した。
3 被覆層
4 吐出口
5 エネルギー発生素子
6 流路
7 チャンバ
8 供給口
9 第1フォトレジスト
10 i線反射防止膜
10a 第2の層
11a レジストパターン
Claims (9)
- 液体を吐出する吐出口と連通する流路の壁を具える流路壁部材と、該流路壁部材と接することで前記流路を形成する基板と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記流路の形状を有するパターンとなる、感光性樹脂からなる第1の層を前記基板上に設ける工程と、
前記感光性樹脂の感光波長領域内の光を吸収することが可能な、前記流路の形状に対応した形状を有する第2の層を、前記第1の層と接触するように前記第1の層上に設ける工程と、
前記第2の層をマスクとし前記光を用いた前記第1の層の露光を含む前記第1の層のパターニングを行い、前記第1の層から前記パターンを形成する工程と、
前記第2の層および前記パターンを被覆するように、前記流路壁部材となる、感光性樹脂からなる被覆層を設ける工程と、
前記光を用いた前記被覆層の露光を含む前記被覆層のパターニングを行い、前記被覆層に前記吐出口を形成する工程と、
前記第2の層および前記パターンを除去することにより前記流路を形成する工程と、
を有する液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第2の層を前記第1の層上に設ける工程は、
前記第2の層となる材料層を前記第1の層上に設ける工程と、
前記パターンに対応した形状を有するレジストパターン層を前記材料層上に設ける工程と、
前記レジストパターン層をマスクとして前記材料層をエッチングすることにより前記材料層を前記第2の層とする工程と、
を有し、
前記第2の層上に前記レジストパターン層が設けられた状態で前記第1の層を露光することを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第2の層上に前記レジストパターン層が設けられた状態で前記第1の層を露光した後に、前記レジストパターン層と前記第1の層の露光された部分とを一括して除去する工程を有することを特徴とする請求項2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第2の層上に前記レジストパターン層が設けられた状態で前記第1の層を露光し、前記レジストパターン層を除去した後に、前記第2の層および前記パターンを被覆するように、前記流路壁部材となる感光性樹脂からなる被覆層を、前記基板上に設けることを特徴とする請求項3に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記被覆層はネガ型感光性樹脂からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1の層はポジ型感光性樹脂からなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記被覆層に対してi線を用いて露光を行うことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第2の層は前記被覆層の感光波長域内の光を吸収する層である請求項1乃至7のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第2の層は、(A)水酸基を有するビスフェニルスルホン類及びベンゾフェノン類の中から選ばれた1種のヒドロキシ化合物とアクリル酸又はメタクリル酸とのエステルを単量体の一部として用いて得た重合体又は共重合体を(B)ヒドロキシアルキル基又はアルコキシアルキル基あるいはその両方で置換されたアミノ基を少なくとも2個有する含窒素化合物の中から選ばれた架橋剤で架橋させて得られるレジスト、で架橋させた材料を含有する請求項1乃至8のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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