JP4853057B2 - 強誘電体メモリ装置の製造方法 - Google Patents
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Description
さらに、酸化膜(SiO2)でも不十分な場合などでは、窒化チタン(TiN)膜をハードマスクに用いることも提案されている。
前記強誘電体キャパシタ層上にチタン酸化物層を形成する工程と、
前記チタン酸化物層を、200℃以上500℃以下での高温エッチングでパターニングし、マスクパターンを形成する工程と、
前記マスクパターンをマスクにして、前記強誘電体キャパシタ層をエッチングし、下部電極と強誘電体膜と上部電極とを有した強誘電体キャパシタを形成する工程と、を備え、
前記基体上に強誘電体キャパシタ層を形成する工程では、前記基体と下部電極層との間に酸素バリア層を形成するようにし、
前記マスクパターンを形成する工程は、前記チタン酸化物層上に第2マスクパターンを形成する工程と、該第2マスクパターンを用いて前記チタン酸化物層を高温エッチングし、マスクパターンを形成する工程と、を有してなり、
前記強誘電体キャパシタを形成する工程は、前記マスクパターンと前記第2マスクパターンとからなる積層マスクパターンをマスクにして前記上部電極層と強誘電体層と下部電極層とをエッチングし、パターニングする工程と、続いて前記積層マスクパターンから前記第2マスクパターンを選択的に除去する工程と、その後、残った前記マスクパターンをマスクにして前記酸素バリア層をエッチングし、パターニングする工程と、を有してなることを特徴とする。
また、基体上に下部電極層と強誘電体層と上部電極層とからなる強誘電体キャパシタ層を形成する形成する工程と、
前記強誘電体キャパシタ層上にチタン酸化物層を形成する工程と、
前記チタン酸化物層を、200℃以上500℃以下での高温エッチングでパターニングし、マスクパターンを形成する工程と、
前記マスクパターンをマスクにして、前記強誘電体キャパシタ層をエッチングし、下部電極と強誘電体膜と上部電極とを有した強誘電体キャパシタを形成する工程と、を備えたことを特徴としている。
このようにすれば、前記マスクパターンと前記第2マスクパターンとからなる積層マスクパターンをマスクにしてエッチングするので、チタン酸化物からなるマスクパターンの負担を少なくしてこれの膜厚を薄くすることができ、したがってエッチングがされにくいチタン酸化物層に対するエッチングを必要最小限に抑えることができる。
テトラエトキシシランを原料とする化学気相堆積法でのシリコン酸化物層の形成は、比較的容易な成膜法であり、また、得られたシリコン酸化物層もエッチングが容易で加工性が良好であるため、第2マスクパターンの形成が容易になる。
このようにすれば、基体と下部電極との間に酸素バリア膜を形成することにより、例えば強誘電体キャパシタ形成後の工程である酸素雰囲気下での熱処理(強誘電体膜の特性回復のためのリカバリーアニール)で、基体中に形成されたプラグが酸化し、抵抗が大幅に上昇してしまうのを防止することができる。したがって、プラグと下部電極との間の導通を良好に確保することができる。
まず、本発明の強誘電体メモリ装置の製造方法の説明に先立ち、この方法によって得られる強誘電体メモリ装置の一例について説明する。
図1は、本発明の強誘電体メモリ装置の一例を示す要部断面図であり、図1中符号1は強誘電体メモリ装置である。この強誘電体メモリ装置1は、1T/1C型のメモリセル構造を有したスタック型のもので、基体2と、この基体2上に形成された多数の強誘電体キャパシタ3と、を備えて構成されたものである。
また、下地絶縁膜6は、珪素酸化物(SiO2)によって形成されたもので、CMP(化学機械研磨)法等で平坦化されたものである。
下部電極8及び上部電極10は、イリジウム(Ir)や、酸化イリジウム(IrO2)、白金(Pt)、ルテニウム(Ru)、酸化ルテニウム(RuO2)等からなるもので、本例では特にイリジウムによって形成されている。
強誘電体膜9は、ペロブスカイト型の結晶構造を有し、ABXO3の一般式で示されるもので、具体的には、Pb(Zr、Ti)O3(PZT)や(Pb、La)(Zr、Ti)O3(PLZT)、さらに、これら材料にニオブ(Nb)等の金属が加えられたものなどによって形成されたものである。本例では、特にPZTによって形成されている。
なお、コンタクトホール11に埋設されたプラグ12は、本例ではタングステン(W)によって形成されている。
さらに、前記層間絶縁膜14上には、前記導電部等を覆って第2層間絶縁膜(図示せず)が形成されている。
まず、図2(a)に示すように、予め公知の手法によってシリコン基板4に駆動トランジスタ5を形成し、続いてCVD法等により珪素酸化物(SiO2)を成膜し、さらにこれをCMP法等によって平坦化することにより、下地絶縁膜6を形成する。
続いて、前記下地絶縁膜6上に公知のレジスト技術、露光・現像技術によってレジストパターン(図示せず)を形成し、さらにこのレジストパターンをマスクにしてエッチングすることにより、図2(b)に示すようにコンタクトホール11を形成する。
次に、この酸素バリア層7a上に、下部電極8の形成材料であるイリジウムをスパッタ法等によって成膜し、下部電極層8aを形成する。
次いで、この強誘電体層9a上に、上部電極10の形成材料であるイリジウムをスパッタ法等によって成膜し、上部電極層10aを形成する。このようにして酸素バリア層7a、下部電極層8a、強誘電体層9a、上部電極層10aを積層することにより、本発明における強誘電体キャパシタ層3aが得られる。
次いで、前記チタン酸化物層17a上に、このチタン酸化物層17aをパターニングするためのマスクとなる第2マスク材料を成膜し、第2マスク材料層を形成(図示せず)する。
そして、このような不都合をより確実に防止し、他の構成要素に熱的ダメージを与えることなく良好にエッチングを行うため、温度範囲を350℃以上450℃以下とするのが好ましいのである。
次いで、形成した水素バリア膜13上に、CVD法等によって珪素酸化物(SiO2)を成膜し、さらにこれをCMP法等によって平坦化することにより、図5(b)に示すように層間絶縁膜14を形成する。
そして、特に酸素バリア層7aのパターニング(エッチング)と同時にマスクパターン17もエッチングするようにしているので、マスクパターン17のみをエッチングにより除去する工程を省略することができ、生産性を高めることができる。
また、マスクパターン17をチタン酸化物(TiOx)のみによって形成したが、例えばこのチタン酸化物(TiOx)とTiNとを積層して、TiOx(下層)/TiN(上層)からなる積層膜、あるいはTiN(下層)/TiOx(上層)からなる積層膜を形成し、このような積層膜をマスクパターンとしてもよい。
Claims (2)
- 基体上に下部電極層と強誘電体層と上部電極層とからなる強誘電体キャパシタ層を形成する工程と、
前記強誘電体キャパシタ層上にチタン酸化物層を形成する工程と、
前記チタン酸化物層を、200℃以上500℃以下での高温エッチングでパターニングし、マスクパターンを形成する工程と、
前記マスクパターンをマスクにして、前記強誘電体キャパシタ層をエッチングし、下部電極と強誘電体膜と上部電極とを有した強誘電体キャパシタを形成する工程と、を備え、
前記基体上に強誘電体キャパシタ層を形成する工程では、前記基体と下部電極層との間に酸素バリア層を形成するようにし、
前記マスクパターンを形成する工程は、前記チタン酸化物層上に第2マスクパターンを形成する工程と、該第2マスクパターンを用いて前記チタン酸化物層を高温エッチングし、マスクパターンを形成する工程と、を有してなり、
前記強誘電体キャパシタを形成する工程は、前記マスクパターンと前記第2マスクパターンとからなる積層マスクパターンをマスクにして前記上部電極層と強誘電体層と下部電極層とをエッチングし、パターニングする工程と、続いて前記積層マスクパターンから前記第2マスクパターンを選択的に除去する工程と、その後、残った前記マスクパターンをマスクにして前記酸素バリア層をエッチングし、パターニングする工程と、を有してなることを特徴とする強誘電体メモリ装置の製造方法。 - 前記第2マスクパターンを形成する工程は、テトラエトキシシランを原料とする化学気相堆積法でシリコン酸化物層を形成する工程と、前記シリコン酸化物層をエッチングによりパターニングしてシリコン酸化物からなる第2マスクパターンを形成する工程と、を有してなることを特徴とする請求項1記載の強誘電体メモリ装置の製造方法。
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