JP2007150141A - 強誘電体メモリの製造方法及び強誘電体メモリ - Google Patents
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Abstract
【課題】特に水素バリア膜と層間絶縁膜とからなる積層膜にコンタクトホールを形成する場合に、得られるプラグの抵抗異常等が起こるのを防止した強誘電体メモリの製造方法とこれによって得られる強誘電体メモリを提供する。
【解決手段】基体4上に形成された下部電極8と強誘電体層9と上部電極10とからなる強誘電体キャパシタ2を有する強誘電体メモリ1である。強誘電体キャパシタ8を覆って形成された第1層間絶縁膜14の第1コンタクトホール17内に第1プラグ18が設けられ、第1層間絶縁膜14及び第1プラグ18を覆って形成された水素バリア膜15と第2層間絶縁膜16とからなる積層膜に、第1コンタクトホール17に連通する第2コンタクトホール19が形成され、第2コンタクトホール19内に、第1プラグ18に導通する第2プラグ20が設けられている。
【選択図】図1
【解決手段】基体4上に形成された下部電極8と強誘電体層9と上部電極10とからなる強誘電体キャパシタ2を有する強誘電体メモリ1である。強誘電体キャパシタ8を覆って形成された第1層間絶縁膜14の第1コンタクトホール17内に第1プラグ18が設けられ、第1層間絶縁膜14及び第1プラグ18を覆って形成された水素バリア膜15と第2層間絶縁膜16とからなる積層膜に、第1コンタクトホール17に連通する第2コンタクトホール19が形成され、第2コンタクトホール19内に、第1プラグ18に導通する第2プラグ20が設けられている。
【選択図】図1
Description
本発明は、強誘電体キャパシタを有する強誘電体メモリの製造方法とこれによって得られる強誘電体メモリに関する。
強誘電体メモリを製造する過程においては、強誘電体層の劣化防止が重要な課題となっている。すなわち、強誘電体メモリの製造工程では、強誘電体層を形成した後、層間絶縁膜の形成やドライエッチングなどの工程の際、水素雰囲気(還元雰囲気)下に曝されることがある。このように強誘電体層が還元雰囲気、例えば水素(H2)や水(H2O)等に曝されると、強誘電体層は一般に金属酸化物からなるため、強誘電体層を構成する酸素が還元されてしまい、強誘電体キャパシタの電気特性が著しく低下してしまう。
そこで、従来では水素ダメージの防止策として、キャパシタ形成後に、該キャパシタを覆って水素バリア機能を有する絶縁膜(AlOx等)を水素バリア膜として設け、又は、層間膜中に水素バリア膜を設けることにより、強誘電体層の劣化防止を図っている(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。
特開2003−68987号公報
特開2004−303996号公報
そこで、従来では水素ダメージの防止策として、キャパシタ形成後に、該キャパシタを覆って水素バリア機能を有する絶縁膜(AlOx等)を水素バリア膜として設け、又は、層間膜中に水素バリア膜を設けることにより、強誘電体層の劣化防止を図っている(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。
ところで、水素バリア膜が層間絶縁膜の中間あるいはその上に形成されている構造において、これら水素バリア膜と層間絶縁膜とからなる積層膜にコンタクトホールを形成する場合に、積層膜を一括してエッチング処理し、コンタクトホールを形成しようとしても、コンタクトホールが正常に形成できないことがある。具体的には、コンタクトホールの底部の寸法が小さくなったり、あるいはエッチングが途中でストップしてしまい、これによりコンタクトホール内に形成するプラグが低抵抗化し、あるいは抵抗異常となることがある。そして、このようなプラグの低抵抗化や抵抗異常は、コンタクトホールが微細化し、又は、水素バリア性能を上げるために水素バリア膜を厚膜化することなどによって、より発生しやすくなる。
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、特に水素バリア膜と層間絶縁膜とからなる積層膜にコンタクトホールを形成する場合に、強誘電体キャパシタの水素に対する耐性を確保しつつ、得られるプラグの抵抗異常等が起こるのを防止した強誘電体メモリの製造方法とこれによって得られる強誘電体メモリを提供することにある。
本発明者は、前記目的を達成すべく鋭意研究した結果、以下の知見を得た。
抵抗異常などが発生する要因の一つとして、水素バリア膜として一般的に使用されているAlOxが、層間絶縁膜として使用されているSiO2に比べ反応性が低いことが考えられる。また、SiO2に対するエッチャントとしては、通常フッ素系のガスが用いられる。ところが、このようなエッチャントを用いてAlOxをエッチングすると、その反応生成物であるフッ化物がコンタクトホールの外に排出されずに、一部がコンタクトホールの開口側に付着し堆積してしまう。すると、この反応生成物がコンタクトホールの開口側内径を徐々に狭めてしまうことにより、その後のエッチングが徐々に規制されるようになってしまう。すなわち、水素バリア膜の下層となる層間絶縁膜のエッチングが徐々に規制されるようになり、前述したようにコンタクトホールの底部の寸法が小さくなってしまうといった現象が起こる。また、このような現象は、コンタクトホールの開口側に付着した反応生成物とエッチャントとが反応してしまい、エッチャントが本来のエッチング作用を発揮しなくなるため、例えばエッチングが途中でストップしてしまうとも考えられる。
そして、本発明者はこのような知見のもとにさらに研究を重ねた結果、本発明を完成させた。
抵抗異常などが発生する要因の一つとして、水素バリア膜として一般的に使用されているAlOxが、層間絶縁膜として使用されているSiO2に比べ反応性が低いことが考えられる。また、SiO2に対するエッチャントとしては、通常フッ素系のガスが用いられる。ところが、このようなエッチャントを用いてAlOxをエッチングすると、その反応生成物であるフッ化物がコンタクトホールの外に排出されずに、一部がコンタクトホールの開口側に付着し堆積してしまう。すると、この反応生成物がコンタクトホールの開口側内径を徐々に狭めてしまうことにより、その後のエッチングが徐々に規制されるようになってしまう。すなわち、水素バリア膜の下層となる層間絶縁膜のエッチングが徐々に規制されるようになり、前述したようにコンタクトホールの底部の寸法が小さくなってしまうといった現象が起こる。また、このような現象は、コンタクトホールの開口側に付着した反応生成物とエッチャントとが反応してしまい、エッチャントが本来のエッチング作用を発揮しなくなるため、例えばエッチングが途中でストップしてしまうとも考えられる。
そして、本発明者はこのような知見のもとにさらに研究を重ねた結果、本発明を完成させた。
すなわち、本発明の強誘電体メモリの製造方法は、基体上に形成された下部電極と、該下部電極上に形成された強誘電体層と、該強誘電体層上に形成された上部電極と、からなる強誘電体キャパシタを有する強誘電体メモリの製造方法であって、
前記強誘電体キャパシタを覆って第1層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜をエッチングして第1コンタクトホールを形成する工程と、
前記第1コンタクトホール内に導電材料を埋め込んで第1プラグを形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜及び第1プラグを覆って水素バリア膜を形成する工程と、
前記水素バリア膜を覆って第2層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第2層間絶縁膜と水素バリア膜とを一括してエッチングし、前記第1プラグに到達する第2コンタクトホールを形成する工程と、
前記第2コンタクトホール内に導電材料を埋め込んで前記第1プラグに導通する第2プラグを形成する工程と、を備えたことを特徴としている。
前記強誘電体キャパシタを覆って第1層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜をエッチングして第1コンタクトホールを形成する工程と、
前記第1コンタクトホール内に導電材料を埋め込んで第1プラグを形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜及び第1プラグを覆って水素バリア膜を形成する工程と、
前記水素バリア膜を覆って第2層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第2層間絶縁膜と水素バリア膜とを一括してエッチングし、前記第1プラグに到達する第2コンタクトホールを形成する工程と、
前記第2コンタクトホール内に導電材料を埋め込んで前記第1プラグに導通する第2プラグを形成する工程と、を備えたことを特徴としている。
この強誘電体メモリの製造方法によれば、水素バリア膜の下層が第1層間絶縁膜である場合に、この水素バリア膜と第1層間絶縁膜とを一括してエッチングすることなく、第1層間絶縁膜のみを単独でエッチングして第1コンタクトホールを形成し、さらに第1プラグを埋設した後、第2層間絶縁膜と水素バリア膜とを一括してエッチングし、第2コンタクトホールを形成して前記第1プラグに導通する第2プラグを埋設するようにしたので、第1層間絶縁膜への第1コンタクトホールの形成がその上層となる水素バリア膜に影響されることなく、したがってその底部の寸法が小さくなったり、エッチングが途中でストップしてしまうことなく、良好に第1コンタクトホールの形成、及び第1プラグの形成を行うことができる。
また、第2層間絶縁膜と水素バリア膜との一括エッチングによる第2コンタクトホールの形成に関しても、水素バリア膜の下層まではエッチングしないため、たとえ水素バリア膜のエッチングによって前述したような反応生成物がコンタクトホールの開口側に堆積しても、一般に水素バリア膜自体は十分に薄いことから、これによって水素バリア膜自体のエッチング性が損なわれるようなことはほとんどなく、したがって良好に第2コンタクトホールの形成、及び第2プラグの形成を行うことができる。
また、第2層間絶縁膜と水素バリア膜との一括エッチングによる第2コンタクトホールの形成に関しても、水素バリア膜の下層まではエッチングしないため、たとえ水素バリア膜のエッチングによって前述したような反応生成物がコンタクトホールの開口側に堆積しても、一般に水素バリア膜自体は十分に薄いことから、これによって水素バリア膜自体のエッチング性が損なわれるようなことはほとんどなく、したがって良好に第2コンタクトホールの形成、及び第2プラグの形成を行うことができる。
また、前記強誘電体メモリの製造方法においては、前記第1コンタクトホールは、前記強誘電体キャパシタの上部電極に到達するキャパシタ用コンタクトホールと、前記強誘電体キャパシタの下地層となる層間絶縁膜も貫通する下地用コンタクトホールとを含んでいてもよい。
下地用コンタクトホールのように、第1層間絶縁膜だけでなくその下の下地層(層間絶縁膜)をも貫通するコンタクトホールを形成する場合に、上層となる水素バリア膜を一括してエッチングすると、前述したような反応生成物の堆積等に起因する不都合がより発生しやすくなる。しかし、本発明では第1層間膜のエッチングと水素バリア膜及び第2層間絶縁膜のエッチングとを別工程にしているので、特に下地用コンタクトホールについても、これを支障なく良好に形成することができる。
下地用コンタクトホールのように、第1層間絶縁膜だけでなくその下の下地層(層間絶縁膜)をも貫通するコンタクトホールを形成する場合に、上層となる水素バリア膜を一括してエッチングすると、前述したような反応生成物の堆積等に起因する不都合がより発生しやすくなる。しかし、本発明では第1層間膜のエッチングと水素バリア膜及び第2層間絶縁膜のエッチングとを別工程にしているので、特に下地用コンタクトホールについても、これを支障なく良好に形成することができる。
また、前記強誘電体メモリの製造方法においては、前記第1層間絶縁膜の形成工程の前に、前記強誘電体キャパシタを覆ってキャパシタ上水素バリア膜を形成する工程を備えていてもよい。
このようにすれば、強誘電体キャパシタを直接水素バリア膜で覆うことで、この強誘電体キャパシタの水素(還元雰囲気)に対する耐性をより高めることができる。
このようにすれば、強誘電体キャパシタを直接水素バリア膜で覆うことで、この強誘電体キャパシタの水素(還元雰囲気)に対する耐性をより高めることができる。
また、前記強誘電体メモリの製造方法においては、前記第1層間絶縁膜を形成する工程と、該第1層間絶縁膜をエッチングして第1コンタクトホールを形成する工程との間に、第1層間絶縁膜を平坦化処理する工程を備えているのが好ましい。また、その場合に、前記平坦化処理は、化学機械研磨法で行うのが好ましい。
第1層間絶縁膜を平坦化処理するようにすれば、特に強誘電体キャパシタの直上の第1層間絶縁膜が平坦化によって薄厚になるので、強誘電体キャパシタに通じる第1コンタクトホールの形成が容易になる。
また、平坦化処理を化学機械研磨法で行うようにすれば、工程が比較的容易で処理が安定化する。
第1層間絶縁膜を平坦化処理するようにすれば、特に強誘電体キャパシタの直上の第1層間絶縁膜が平坦化によって薄厚になるので、強誘電体キャパシタに通じる第1コンタクトホールの形成が容易になる。
また、平坦化処理を化学機械研磨法で行うようにすれば、工程が比較的容易で処理が安定化する。
本発明の強誘電体メモリは、基体上に形成された下部電極と、該下部電極上に形成された強誘電体層と、該強誘電体層上に形成された上部電極と、からなる強誘電体キャパシタを有する強誘電体メモリにおいて、
前記強誘電体キャパシタを覆って形成された第1層間絶縁膜の第1コンタクトホール内に第1プラグが設けられ、
前記第1層間絶縁膜及び第1プラグを覆って形成された水素バリア膜と該水素バリア膜を覆って形成された第2層間絶縁膜とからなる積層膜に、前記第1コンタクトホールに連通する第2コンタクトホールが形成され、
前記第2コンタクトホール内に、前記第1プラグに導通する第2プラグが設けられていることを特徴としている。
前記強誘電体キャパシタを覆って形成された第1層間絶縁膜の第1コンタクトホール内に第1プラグが設けられ、
前記第1層間絶縁膜及び第1プラグを覆って形成された水素バリア膜と該水素バリア膜を覆って形成された第2層間絶縁膜とからなる積層膜に、前記第1コンタクトホールに連通する第2コンタクトホールが形成され、
前記第2コンタクトホール内に、前記第1プラグに導通する第2プラグが設けられていることを特徴としている。
この強誘電体メモリによれば、第1層間絶縁膜の第1コンタクトホール内に第1プラグが設けられ、水素バリア膜と第2層間絶縁膜とからなる積層膜の第2コンタクトホール内に第2プラグが設けられているので、これら第1プラグの形成工程と第2プラグの形成工程、すなわち第1コンタクトホールの形成工程と第2コンタクトホールの形成工程とが別になる。したがって、前述したように第1コンタクトホールの形成がその上層となる水素バリア膜に影響されることがなく、よってその底部の寸法が小さくなったり、エッチングが途中でストップしてしまうことなく、良好に第1コンタクトホールの形成、及び第1プラグの形成がなされるようになる。
また、第2コンタクトホールの形成に関しても、水素バリア膜の下層まではエッチングがなされない。よって、たとえ水素バリア膜のエッチングによって前述したような反応生成物がコンタクトホールの開口側に堆積しても、一般に水素バリア膜自体は十分に薄いことから、これによって水素バリア膜自体のエッチング性が損なわれるようなことはほとんどなく、したがって第2コンタクトホールの形成、及び第2プラグの形成が良好になされるようになる。
また、第2コンタクトホールの形成に関しても、水素バリア膜の下層まではエッチングがなされない。よって、たとえ水素バリア膜のエッチングによって前述したような反応生成物がコンタクトホールの開口側に堆積しても、一般に水素バリア膜自体は十分に薄いことから、これによって水素バリア膜自体のエッチング性が損なわれるようなことはほとんどなく、したがって第2コンタクトホールの形成、及び第2プラグの形成が良好になされるようになる。
また、前記強誘電体メモリにおいては、前記強誘電体キャパシタを覆ってキャパシタ上水素バリア膜が形成され、該キャパシタ上水素バリア膜を覆って前記第1層間絶縁膜が形成されているのが好ましい。
このようにすれば、強誘電体キャパシタが直接水素バリア膜で覆われるため、この強誘電体キャパシタの水素(還元雰囲気)に対する耐性がより高まる。
このようにすれば、強誘電体キャパシタが直接水素バリア膜で覆われるため、この強誘電体キャパシタの水素(還元雰囲気)に対する耐性がより高まる。
以下、本発明を詳しく説明する。
図1は、本発明の強誘電体メモリの一実施形態を示す要部断面図であり、図1中符号1は強誘電体メモリである。この強誘電体メモリ1は、強誘電体キャパシタ2と、この強誘電体キャパシタ2を動作させるための駆動トランジスタ3とを備えて構成されたもので、駆動トランジスタ3を基体4に形成したものである。
図1は、本発明の強誘電体メモリの一実施形態を示す要部断面図であり、図1中符号1は強誘電体メモリである。この強誘電体メモリ1は、強誘電体キャパシタ2と、この強誘電体キャパシタ2を動作させるための駆動トランジスタ3とを備えて構成されたもので、駆動トランジスタ3を基体4に形成したものである。
基体4は、シリコン基板(半導体基板)5を備えて構成されたもので、シリコン基板5の表層部には、ソース/ドレイン領域(図示せず)とチャネル領域(図示せず)とが形成され、さらにチャネル領域上にはゲート絶縁膜(図示せず)が形成されている。そして、このゲート絶縁膜上にゲート電極3aが形成されたことにより、前記の駆動トランジスタ3は基体4に形成されたものとなっている。なお、各強誘電体キャパシタ2に対応する駆動トランジスタ3は、シリコン基板5に形成された埋め込み分離領域(図示せず)によってそれぞれ電気的に分離されている。
また、この基体4には、駆動トランジスタ3を覆ってシリコン基板5上に下地絶縁膜6が形成され、さらにこの下地絶縁膜6上に下地絶縁膜7が形成されている。下地絶縁膜6は、酸化珪素(SiO2)からなるもので、必要に応じてCMP(化学機械研磨)法等によって平坦化されたものである。下地絶縁膜7は、例えば窒化珪素(SiN)によって形成されたものである。なお、これら下地絶縁膜6、7は、本発明において強誘電体キャパシタ2の下地となる、層間絶縁膜を構成するものとなっている。
このようにシリコン基板5に駆動トランジスタ3を形成し、さらに下地絶縁膜6、7を形成してなる基体4の上には、前記したように強誘電体キャパシタ2が形成されている。強誘電体キャパシタ2は、下地絶縁膜7上に形成された下部電極8と、この下部電極8上に形成された強誘電体層9と、強誘電体層9上に形成された上部電極10と、からなるスタック型ものである。下部電極8及び上部電極10は、白金(Pt)やイリジウム(Ir)、酸化イリジウム(IrO2)等によって形成されており、強誘電体層9は、Pb(Zr、Ti)O3(PZT)や(Pb、La)(Zr、Ti)O3(PLZT)、さらに、これら材料にニオブ(Nb)等の金属が加えられたものなどによって形成されている。
ここで、下部電極8の底部には、前記下地絶縁膜6、7を貫通して形成されたコンタクトホール11が通じている。そして、このような構成によって下部電極8は、コンタクトホール11内に形成されたプラグ12に接続し導通している。このプラグ12は、前記駆動トランジスタ3の一方のソース/ドレイン領域に接続しており、これによって強誘電体キャパシタ2は、前述したように駆動トランジスタ3によって動作させられるようになっている。
また、この強誘電体キャパシタ2には、その上面(すなわち上部電極10)及び側面を覆って、AlOx等からなるキャパシタ上水素バリア膜13が形成されている。これによって強誘電体キャパシタ2は、その上部や側部からの水素の浸入及び拡散が抑制され防止されている。なお、本実施形態では、キャパシタ上水素バリア膜13は主に強誘電体キャパシタ2の上面及び側面のみを覆うようにパターニングされており、下地絶縁膜7上のそれ以外の箇所については、エッチングによって除去されている。
このようなキャパシタ上水素バリア膜13を形成した強誘電体キャパシタ2を覆って、下地絶縁膜7上には、その表面が平坦化された第1層間絶縁膜14が形成されている。そして、この第1層間絶縁膜14上には水素バリア膜15が形成され、さらにこの水素バリア膜15上には第2層間絶縁膜16が形成されている。第1層間絶縁膜14及び第2層間絶縁膜16は酸化珪素(SiO2)によって形成されており、水素バリア膜15は酸化アルミニウム(AlOx)によって形成されている。
ここで、水素バリア膜15はその厚さが20nm以上100nm以下程度に形成されている。20nm未満では水素バリア膜15の水素バリア効果が十分に得られなくなるおそれがあり、100nmを越えると、後述するコンタクトホール形成のためのエッチングの負荷が大きくなってしまうからである。
ここで、水素バリア膜15はその厚さが20nm以上100nm以下程度に形成されている。20nm未満では水素バリア膜15の水素バリア効果が十分に得られなくなるおそれがあり、100nmを越えると、後述するコンタクトホール形成のためのエッチングの負荷が大きくなってしまうからである。
前記第1層間絶縁膜14には、複数の第1コンタクトホール17が形成されており、これら第1コンタクトホール17内には、タングステン(W)等からなる第1プラグ18が埋設されている。ここで、第1コンタクトホール17は、本実施形態では前記強誘電体キャパシタ2の上部電極10に到達するキャパシタ用コンタクトホール17aと、前記下地絶縁膜7、6を貫通して前記駆動トランジスタ3の他方のソース/ドレイン領域に通じる下地用コンタクトホール17bとからなっている。
また、水素バリア膜15と第2層間絶縁膜16とからなる積層膜には、前記第1コンタクトホール17(17a、17b)にそれぞれ連通する第2コンタクトホール19が形成されており、これら第2コンタクトホール19内には、タングステン(W)等からなる第2プラグ20が設けられている。第2プラグ20は、第2コンタクトホール19が第1コンタクトホール17(17a、17b)に連通して形成されていることにより、これら第1コンタクトホール17(17a、17b)内の第1プラグ18に接続し導通したものとなっている。
なお、第2プラグ20は、第2層間絶縁膜16上において、図示しない配線等に接続されており、これによって強誘電体キャパシタ2の上部電極10への通電や、前記駆動トランジスタ3の他方のソース/ドレイン領域への通電がなされるようになっている。
なお、第2プラグ20は、第2層間絶縁膜16上において、図示しない配線等に接続されており、これによって強誘電体キャパシタ2の上部電極10への通電や、前記駆動トランジスタ3の他方のソース/ドレイン領域への通電がなされるようになっている。
次に、このような構成の強誘電体メモリ1の製造方法を基に、本発明の強誘電体メモリ1の製造方法の一実施形態を説明する。
まず、図2に示すように、予め公知の手法によってシリコン基板5に駆動トランジスタ3を形成し、続いて下地絶縁膜6、7を形成した後、公知の手法によって強誘電体キャパシタ2を形成する。そして、得られた強誘電体キャパシタ2を覆ってAlOx等からなる水素バリア膜を形成し、さらにこれをエッチングしてパターニングすることにより、キャパシタ上水素バリア膜13を形成する。
まず、図2に示すように、予め公知の手法によってシリコン基板5に駆動トランジスタ3を形成し、続いて下地絶縁膜6、7を形成した後、公知の手法によって強誘電体キャパシタ2を形成する。そして、得られた強誘電体キャパシタ2を覆ってAlOx等からなる水素バリア膜を形成し、さらにこれをエッチングしてパターニングすることにより、キャパシタ上水素バリア膜13を形成する。
なお、強誘電体キャパシタ2の形成に先立ち、下地絶縁膜6、7を形成した後、これらをエッチングしてコンタクトホール11を形成する。その後、W等の導電材料を埋め込み、さらに化学機械研磨(CMP)法等によって下地絶縁膜7上の導電材料を除去することにより、プラグ12を形成する。また、強誘電体キャパシタ2の形成に際しては、その下部電極8が、プラグ12に接続するように位置決めしてパターニングする。また、特にこのコンタクトホール11及びプラグ12の形成に際しては、第1コンタクトホール17における下地用コンタクトホール17bの下層部分と、第1プラグ18の下部とを同時に形成するようにしてもよい。
次に、図3に示すように、第1層間絶縁膜14としてSiO2をCVD法等によって堆積する。この第1層間絶縁膜14の厚さについては、次工程で平坦化を行った際、強誘電体キャパシタ2が露出しないようにするため、1500nm程度とする。
続いて、図4に示すように第1層間絶縁膜14を化学機械研磨法などによって平坦化する。このように第1層間絶縁膜14を平坦化処理することにより、特に強誘電体キャパシタ2の直上の第1層間絶縁膜14を薄厚化することができ、したがって後述する強誘電体キャパシタ2に通じる第1コンタクトホール17の形成を容易にすることができる。また、平坦化処理を化学機械研磨法で行うので、工程が比較的容易になり、処理を安定化させることができる。
続いて、図4に示すように第1層間絶縁膜14を化学機械研磨法などによって平坦化する。このように第1層間絶縁膜14を平坦化処理することにより、特に強誘電体キャパシタ2の直上の第1層間絶縁膜14を薄厚化することができ、したがって後述する強誘電体キャパシタ2に通じる第1コンタクトホール17の形成を容易にすることができる。また、平坦化処理を化学機械研磨法で行うので、工程が比較的容易になり、処理を安定化させることができる。
次いで、公知の手法によって第1層間絶縁膜14上にレジストパターン(図示せず)を形成し、さらにこのレジストパターンをマスクにしてRIE(反応性イオンエッチング)法や、ICP(誘導結合プラズマ)によるエッチング法、ECR(電子サイクロトロン共鳴)プラズマによるエッチング法などでエッチングすることにより、図5に示すように強誘電体キャパシタ2の上部電極10に到達するキャパシタ用コンタクトホール17aと、前記下地絶縁膜7、6を貫通して前記駆動トランジスタ3の他方のソース/ドレイン領域に通じる下地用コンタクトホール17bとを形成する。このとき、キャパシタ用コンタクトホール17aについては、第1層間絶縁膜14とキャパシタ上水素バリア膜15とを一括してエッチングすることにより形成するが、AlOx等からなるキャパシタ上水素バリア膜15をエッチングすることでコンタクトホールの形成も終了することから、例えばAlOxとフッ素系のエッチャントとの反応生成物に起因するエッチング不良(コンタクトホールの形成不良)が起こることはない。
また、下地用コンタクトホール17bについては、SiO2、SiN、SiO2からなる積層膜のエッチングとなるため、特に反応生成物に起因するエッチング不良は起こらず、したがって良好にコンタクトホールの形成を行うことが可能である。ただし、特に下地絶縁膜7として水素バリア膜を用いる場合などでは、前述したように、下地絶縁膜6、7にコンタクトホール11を形成し、さらにここにプラグ12を埋設した際に、下地用コンタクトホール17bの下層部分、及び第1プラグ18の下部を同一工程で形成するようにしてもよい。その場合に、ここでのエッチングについては、第1層間絶縁膜14をエッチングし、下地用コンタクトホール17bの下層部分に通じるホールを形成すればよいことになる。
次いで、図6に示すように、第1層間絶縁膜14上に導電材料18aを成膜し、これによって第1コンタクトホール17(キャパシタ用コンタクトホール17a、下地用コンタクトホール17b)内に導電材料18aを埋め込む。この導電材料18aの成膜・埋め込みについては、まず、密着層としてチタン(Ti)及び窒化チタン(TiN)をスパッタ法等によって成膜し、続いてタングステン(W)を成膜することで行う。
次いで、第1層間絶縁膜14上を化学機械研磨法等で平坦化することにより、図7に示すように第1コンタクトホール17(17a、17b)内に第1プラグ18を形成する。
次いで、第1層間絶縁膜14上を化学機械研磨法等で平坦化することにより、図7に示すように第1コンタクトホール17(17a、17b)内に第1プラグ18を形成する。
次いで、図8に示すように平坦化した第1層間絶縁膜14上にAlOxを成膜し、水素バリア膜15を形成する。AlOxの成膜については、スパッタ法やCVD法を採用することができる。このAlOxからなる水素バリア膜15の厚さについては、前述したように20nm以上100nm以下程度に形成する。
次いで、水素バリア膜15上にSiO2をCVD法等によって成膜し、第2層間絶縁膜16を形成する。
次いで、水素バリア膜15上にSiO2をCVD法等によって成膜し、第2層間絶縁膜16を形成する。
次いで、公知の手法によって第2層間絶縁膜16上にレジストパターン(図示せず)を形成し、さらにこのレジストパターンをマスクにしてRIE(反応性イオンエッチング)法や、ICP(誘導結合プラズマ)によるエッチング法、ECR(電子サイクロトロン共鳴)プラズマによるエッチング法などで第2層間絶縁膜16と水素バリア膜15とを一括してエッチングすることにより、図9に示すように前記第1プラグ18に到達する第2コンタクトホール19を形成する。このとき、水素バリア膜15の下層まではエッチングしないため、たとえ水素バリア膜15のエッチングによってこの水素バリア膜15とフッ素系のエッチャントとによる反応生成物が第2コンタクトホール19の開口側に堆積しても、水素バリア膜15は前述したように20nm〜100nm程度と薄いことから、これによって水素バリア膜自体のエッチング性が損なわれるようなことはほとんどない。したがって、第2層間絶縁膜16と水素バリア膜15とを一括してエッチングすることにより、第2コンタクトホール19を良好に形成することができる。
次いで、図10に示すように、第2層間絶縁膜16上に導電材料20aを成膜し、これによって第2コンタクトホール19内に導電材料20aを埋め込む。この導電材料18aの成膜・埋め込みについては、前記の第1プラグ18の形成と同様にして、まず、密着層としてチタン(Ti)及び窒化チタン(TiN)をスパッタ法等によって成膜し、続いてタングステン(W)を成膜することで行う。
その後、第2層間絶縁膜16上を化学機械研磨法等で平坦化することにより、図1に示したように第2コンタクトホール19内に第2プラグ20を形成する。これにより、前記の第1プラグ18とこれに導通する第2プラグ20とからなる二段プラグが得られる。
また、このようにして第2プラグ20を形成したら、例えばこの第2プラグ20に導通する配線(図示せず)を第2層間絶縁膜16上に形成し、さらにこの配線を覆って第3層間絶縁膜(図示せず)を形成する。以下、従来と同様に行うことにより、本発明の強誘電体メモリ1を備えた装置を完成させる。
また、このようにして第2プラグ20を形成したら、例えばこの第2プラグ20に導通する配線(図示せず)を第2層間絶縁膜16上に形成し、さらにこの配線を覆って第3層間絶縁膜(図示せず)を形成する。以下、従来と同様に行うことにより、本発明の強誘電体メモリ1を備えた装置を完成させる。
このような強誘電体メモリ1の製造方法にあっては、水素バリア膜15の下層が第1層間絶縁膜14である場合に、この水素バリア膜15と第1層間絶縁膜14とを一括してエッチングすることなく、第1層間絶縁膜14のみを単独で先にエッチングして第1コンタクトホール17を形成し、さらに第1プラグ18を埋設した後、第2層間絶縁膜16と水素バリア膜15とを一括してエッチングし、第2コンタクトホール19を形成して前記第1プラグ18に導通する第2プラグ20を埋設するようにしたので、第1層間絶縁膜14への第1コンタクトホール17の形成がその上層となる水素バリア膜15に影響されることなく、したがってその底部の寸法が小さくなったり、エッチングが途中でストップしてしまうことなく、良好に第1コンタクトホール17の形成、及び第1プラグ18の形成を行うことができる。
また、第2層間絶縁膜16と水素バリア膜15との一括エッチングによる第2コンタクトホール19の形成に関しても、水素バリア膜15の下層まではエッチングしないため、たとえ水素バリア膜15のエッチングによって反応生成物が第2コンタクトホール19の開口側に堆積しても、水素バリア膜自体が十分に薄いことから、これによって水素バリア膜15自体のエッチング性が損なわれるようなことはほとんどなく、したがって良好に第2コンタクトホール19の形成、及び第2プラグ20の形成を行うことができる。
よって、このような方法によれば、特に微細化によって形成するコンタクトホールの内径が小さくなったり、下地用コンタクトホール17bのようにアスペクト比が高い構造のコンタクトホールについても、その形成時にエッチングストップが起こったり、これらコンタクトホールに埋設されるプラグに抵抗異常が生じたりすることを確実に防止することができる。
よって、このような方法によれば、特に微細化によって形成するコンタクトホールの内径が小さくなったり、下地用コンタクトホール17bのようにアスペクト比が高い構造のコンタクトホールについても、その形成時にエッチングストップが起こったり、これらコンタクトホールに埋設されるプラグに抵抗異常が生じたりすることを確実に防止することができる。
また、このようにして得られた強誘電体メモリ1にあっては、前述したように、底部の寸法が小さくなったり、エッチングが途中でストップしてしまうことなく、良好に第1コンタクトホール17の形成、及び第1プラグ18の形成がなされたものとなり、したがって第1プラグ18や第2プラグ20での抵抗異常が防止された信頼性の高いものとなる。また、水素バリア膜15、さらにはキャパシタ上水素バリア膜13を備えているので、強誘電体キャパシタ2の水素に対する耐性が十分に確保されたものとなる。
そして、このような強誘電体メモリ1は、携帯電話、パーソナルコンピュータ、液晶装置、電子手帳、ページャ、POS端末、ICカード、ミニディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、およびエンジニアリング・ワークステーション(EWS)、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファイダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを備えた装置、時計、ゲーム機器、電気泳動装置など、様々な電子機器に適用することができる。
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない限り種々の変更が可能である。例えば、強誘電体キャパシタ2の下部電極8として酸化物である酸化イリジウム(IrO2)を用いた場合には、これに導通するタングステンからなるプラグ12の酸化を防止するため、このプラグ12と下部電極8との間に例えばチタン・アルミニウム・ナイトライド等からなる酸素バリア膜を形成してもよい。
1…強誘電体メモリ、2…強誘電体キャパシタ、4…基体、6…下地絶縁膜、7…下地絶縁膜、8…下部電極、9…強誘電体層、10…上部電極、13…キャパシタ上水素バリア膜、14…第1層間絶縁膜、15…水素バリア膜、16…第2層間絶縁膜、17…第1コンタクトホール、17a…キャパシタ用コンタクトホール、17b…下地用コンタクトホール、18…第1プラグ、19…第2コンタクトホール、20…第2プラグ
Claims (7)
- 基体上に形成された下部電極と、該下部電極上に形成された強誘電体層と、該強誘電体層上に形成された上部電極と、からなる強誘電体キャパシタを有する強誘電体メモリの製造方法であって、
前記強誘電体キャパシタを覆って第1層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜をエッチングして第1コンタクトホールを形成する工程と、
前記第1コンタクトホール内に導電材料を埋め込んで第1プラグを形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜及び第1プラグを覆って水素バリア膜を形成する工程と、
前記水素バリア膜を覆って第2層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第2層間絶縁膜と水素バリア膜とを一括してエッチングし、前記第1プラグに到達する第2コンタクトホールを形成する工程と、
前記第2コンタクトホール内に導電材料を埋め込んで前記第1プラグに導通する第2プラグを形成する工程と、を備えたことを特徴とする強誘電体メモリの製造方法。 - 前記第1コンタクトホールは、前記強誘電体キャパシタの上部電極に到達するキャパシタ用コンタクトホールと、前記強誘電体キャパシタの下地層となる層間絶縁膜も貫通する下地用コンタクトホールとを含むことを特徴とする請求項1記載の強誘電体メモリの製造方法。
- 前記第1層間絶縁膜の形成工程の前に、前記強誘電体キャパシタを覆ってキャパシタ上水素バリア膜を形成する工程を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の強誘電体メモリの製造方法。
- 前記第1層間絶縁膜を形成する工程と、該第1層間絶縁膜をエッチングして第1コンタクトホールを形成する工程との間に、第1層間絶縁膜を平坦化処理する工程を備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の強誘電体メモリの製造方法。
- 前記平坦化処理は、化学機械研磨法で行うことを特徴とする請求項4記載の強誘電体メモリの製造方法。
- 基体上に形成された下部電極と、該下部電極上に形成された強誘電体層と、該強誘電体層上に形成された上部電極と、からなる強誘電体キャパシタを有する強誘電体メモリにおいて、
前記強誘電体キャパシタを覆って形成された第1層間絶縁膜の第1コンタクトホール内に第1プラグが設けられ、
前記第1層間絶縁膜及び第1プラグを覆って形成された水素バリア膜と該水素バリア膜を覆って形成された第2層間絶縁膜とからなる積層膜に、前記第1コンタクトホールに連通する第2コンタクトホールが形成され、
前記第2コンタクトホール内に、前記第1プラグに導通する第2プラグが設けられていることを特徴とする強誘電体メモリ。 - 前記強誘電体キャパシタを覆ってキャパシタ上水素バリア膜が形成され、該キャパシタ上水素バリア膜を覆って前記第1層間絶縁膜が形成されていることを特徴とする強誘電体メモリ。
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JP2005345163A JP2007150141A (ja) | 2005-11-30 | 2005-11-30 | 強誘電体メモリの製造方法及び強誘電体メモリ |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108550551A (zh) * | 2018-03-29 | 2018-09-18 | 湘潭大学 | 一种铁电多逻辑态存储单元及其读/写/擦除操作方法 |
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2005
- 2005-11-30 JP JP2005345163A patent/JP2007150141A/ja not_active Withdrawn
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