JP4851449B2 - 熱回路を有するウェーハ及びその電気供給システム - Google Patents
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Description
Claims (10)
- 半導体のウェーハの構成において、
前記ウェーハの前面または背面の何れか一方に形成された半導体素子の加熱工程や冷却工程を行うために、前記ウェーハの自体加熱や自体冷却が可能に前記ウェーハの背面に形成されて半導体素子と熱交換する熱回路を備えることを特徴とする熱回路を有するウェーハ。 - 前記熱回路は、前記ウェーハの前面に形成された少なくとも一つ以上の半導体素子チップと対応するように、前記ウェーハの背面に複数個のブロックにマルチゾーン化して形成されることを特徴とする請求項1に記載の熱回路を有するウェーハ。
- 前記熱回路は、前記ウェーハの背面の中心からエッジ部分まで複数個のブロックにマルチゾーン化して形成され、各ブロックとブロックとの間にブロック間の熱干渉を減らすための断熱溝が形成されることを特徴とする請求項1に記載の熱回路を有するウェーハ。
- 前記熱回路は、
接着工程などで接着させたパターン型熱線と、
前記熱線の両端部に接続針の選択的な接触により電気を供給されるように形成される接続部と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の熱回路を有するウェーハ。 - 前記熱回路は、
前記ウェーハの背面に接着やイオン注入工程で広く形成される伝熱性材質の伝熱板と、
前記伝熱板の電極に接続針の選択的な接触により電気を供給されるように形成される接続部と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の熱回路を有するウェーハ。 - 前記熱回路は、イオン注入工程により前記ウェーハの背面に形成されるか、または接着工程で接着させたペルティエ素子と、
前記ペルティエ素子の電極に接続針の選択的な接触により前記ペルティエ素子が電気を供給されるように形成される接続部と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の熱回路を有するウェーハ。 - 前記ウェーハに形成されて前記ウェーハの前面または背面の何れか一方に形成される半導体素子の温度を測定する温度測定回路をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の熱回路を有するウェーハ。
- 半導体のウェーハの前面または背面の何れか一方に形成された半導体素子の加熱工程や冷却工程を行うために、前記ウェーハの自体加熱や自体冷却が可能に前記ウェーハの背面に形成される熱回路を有するウェーハの電気供給システムの構成において、
載置台上に載置された前記ウェーハの熱回路と接続される接続針と、
前記接続針を通じて前記熱回路に電気を供給する電源装置と、
前記電源装置の電流及び電圧を制御する制御装置と、を備えることを特徴とする熱回路を有するウェーハの電気供給システム。 - 前記接続針は、前記載置台を基準として昇下降自在に設置され、弾性バネの復元力によりその先端が前記ウェーハの垂直面方向に加圧されることを特徴とする請求項8に記載の熱回路を有するウェーハの電気供給システム。
- 前記載置台を基準として昇下降自在に設置され、弾性バネの復元力によりその先端が前記ウェーハの垂直面方向に加圧接触されて前記ウェーハの温度を測定する温度センサーをさらに備えることを特徴とする請求項8に記載の熱回路を有するウェーハの電気供給システム。
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