JP2005100695A - 基板加熱方法、抵抗発熱体付基板及びその製造方法 - Google Patents
基板加熱方法、抵抗発熱体付基板及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005100695A JP2005100695A JP2003330171A JP2003330171A JP2005100695A JP 2005100695 A JP2005100695 A JP 2005100695A JP 2003330171 A JP2003330171 A JP 2003330171A JP 2003330171 A JP2003330171 A JP 2003330171A JP 2005100695 A JP2005100695 A JP 2005100695A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- heating element
- resistance heating
- pattern
- element pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Surface Heating Bodies (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
【解決手段】
基板裏面に設けられた抵抗発熱体パターンに給電することで、この抵抗発熱体の発熱により基板を加熱する基板加熱方法である。この基板加熱方法で使用される基板は、抵抗発熱体パターンが形成されていることを特徴とする抵抗発熱体付基板である。この基板の製造方法は、基板裏面上に第1の絶縁層を形成する工程と、第1の絶縁層上に抵抗発熱体パターンを形成する工程と、抵抗発熱体パターン上に第2の絶縁層を形成する工程とを有する。
【選択図】 図1
Description
図4(a)にシリコン基板11裏面に形成する抵抗発熱体パターン21を示した。この抵抗発熱体パターン21は、直線部を持つ帯状抵抗発熱体パターンを基板端部で複数回折り返したものである。抵抗発熱体パターンは、基板裏面上に略均等に配置した。なお、この抵抗発熱体パターンにおいて、電極端子は、図中上下の抵抗発熱体パターン端部に配置した。抵抗発熱体パターン21の線幅と隣接する配線間距離(配線ピッチ)はいずれも10mmとした。また、電極厚みは25μmとした。
図5(a)に示すように、検討2では、検討1の場合と同様に、直線部を持つ配線パターンを基板端部で複数回折り返した抵抗発熱体パターン22を形成した。ただし、抵抗発熱体パターン22の線幅と、隣接する配線間距離(配線ピッチ)はそれぞれ5mmとした。電極厚みは25μmとした。
図6(a)に示すように、検討3では、検討1及び2の場合と同様に、直線部を持つ配線パターンを基板端部で複数回折り返した抵抗発熱体パターン23を形成した。ただし、抵抗発熱体パターン23は線幅と、隣接する配線間距離(配線ピッチ)を1mm、電極厚みを25μmとした。この場合の抵抗発熱体パターン23は、長さが35mであり、全体の抵抗は81Ωである。
以上、検討1〜検討3のシミュレーション結果から示唆されるように、基板温度分布は、抵抗発熱体パターンの形状に依存し、パターンの粗密があると、これに応じた温度分布が生じた。このため、抵抗発熱体パターンの線幅及びピッチを狭くし、できるだけ、基板全体に略均等に配置し、パターンの粗密が発生しないようにすることにより、設定温度に対する基板面内の温度分布差(最高温度と最低温度)を小さくできると予想される。検討1〜検討3の抵抗発熱体パターンでは、同一線幅、同一ピッチのパターンが形成されているが、場所により線幅、及びピッチを変更できる。例えば、外周囲からの放熱の影響を抑えるため、外周囲部に近づく程配線幅を段階的に狭くし、抵抗値を上げて発熱量を増やしたり、外周囲部に近づく程配線ピッチを狭くし、単位面積あたりの発熱量を増やしたりすることで、均熱性をさらに改善することも可能である。例えば、検討3のように同心円状の温度分布が得られれば、放熱条件に合わせて配線幅を変更する事で±1℃以下の均熱性を得ることも可能である。
2 抵抗発熱体パターン
30 抵抗発熱体
32 電極端子
3、20 絶縁膜
4 パッシベーション膜
40 レジスト膜
50 パッシベーション膜
60 Au/Pt電極
Claims (16)
- 基板裏面に設けられた抵抗発熱体パターンに給電することで、前記抵抗発熱体の発熱により前記基板を加熱することを特徴とする基板加熱方法。
- 前記抵抗発熱体パターンは電極端子部を有し、
前記抵抗発熱体パターンへの給電は、針状給電ロッドを前記電極端子に接触させ、前記針状給電ロッドを介して行われることを特徴とする請求項1に記載の基板加熱方法。 - 基板裏面に抵抗発熱体パターンが形成されていることを特徴とする抵抗発熱体付基板。
- 半導体基板と、
前記半導体基板の裏面に形成された第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層上に形成された抵抗発熱体パターンと、
前記抵抗発熱体パターン上に形成された第2の絶縁層とを有する抵抗発熱体付基板。 - 前記抵抗発熱体パターンは、前記抵抗発熱体パターンに給電するための電極端子部を有することを特徴とする請求項3又は4に記載の抵抗発熱体付基板。
- 前記第2の絶縁層に、前記電極端子部が底部に露出する開口部が形成されていることを特徴とする請求項5に記載の抵抗発熱体付基板。
- 前記抵抗発熱体パターンは、帯状若しくは線状の連続する配線パターンを有することを特徴とする請求項3〜6のいずれか1項に記載の抵抗発熱体付基板。
- 前記抵抗発熱体パターンは、Al、Cu、Mo、W、WC、MoSi、及びWSiからなる群から選択される少なくとも一の導電材で形成されていることを特徴とする請求項3〜7のいずれか1項に記載の抵抗発熱体付基板。
- 前記帯状もしくは線状の連続する配線パターンは、前記半導体基板の裏面全面に略均等に配置されていることを特徴とする請求項3〜8のいずれか1項に記載の抵抗発熱体付基板。
- 前記配線パターンは、隣接し合う配線間隔が1mm以下であることを特徴とする請求項3〜9のいずれか1項に記載の抵抗発熱体付基板。
- 前記配線パターンは、配線幅が1mm以下であることを特徴とする請求項3〜10のいずれか1項に記載の抵抗発熱体付基板。
- 基板裏面上に第1の絶縁層を形成する工程と、
前記第1の絶縁層上に抵抗発熱体パターンを形成する工程と、
前記抵抗発熱体パターン上に第2の絶縁層を形成する工程とを有する抵抗発熱体付基板の製造方法。 - 前記抵抗発熱体パターンを形成する工程は、
前記第1の絶縁層上に抵抗発熱体層を形成する工程と、
前記抵抗発熱体層上にレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとして用いて、前記抵抗発熱体層をエッチングする工程と、
前記レジストパターンを剥離する工程とを有することを特徴とする請求項12に記載の抵抗発熱体付基板の製造方法。 - 前記抵抗発熱体パターンを形成する工程は、
スクリーン印刷法を用いて配線パターンを形成する工程を有することを特徴とする請求項12に記載の抵抗発熱体付基板の製造方法。 - 前記抵抗発熱体パターンは、前記抵抗発熱体パターンに給電するための電極端子部を有し、
前記第2の絶縁層を形成後、前記電極端子部上の前記第2の絶縁層に、底部に前記電極端子部が露出する開口部を形成する工程を有することを特徴とする請求項12に記載の抵抗発熱体付基板の製造方法。 - 前記導電層は、Al、Cu、Mo、W、WC、MoSi、WSiからなる群から選択される少なくとも一の導電材で形成されていることを特徴とする請求項12〜15のいずれかに記載の抵抗発熱体付基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003330171A JP2005100695A (ja) | 2003-09-22 | 2003-09-22 | 基板加熱方法、抵抗発熱体付基板及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003330171A JP2005100695A (ja) | 2003-09-22 | 2003-09-22 | 基板加熱方法、抵抗発熱体付基板及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005100695A true JP2005100695A (ja) | 2005-04-14 |
Family
ID=34459219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003330171A Pending JP2005100695A (ja) | 2003-09-22 | 2003-09-22 | 基板加熱方法、抵抗発熱体付基板及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005100695A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100433249C (zh) * | 2005-06-02 | 2008-11-12 | 日本碍子株式会社 | 基板处理装置 |
WO2009116787A3 (ko) * | 2008-03-17 | 2009-12-17 | 주식회사 엘지화학 | 발열체 및 이의 제조방법 |
CN101978776A (zh) * | 2008-03-17 | 2011-02-16 | Lg化学株式会社 | 加热件及其制备方法 |
CN103634953A (zh) * | 2012-08-23 | 2014-03-12 | 株式会社理研 | MoSi2基的线圈加热器及具有该加热器的管状加热器模块 |
US9611171B2 (en) | 2008-06-13 | 2017-04-04 | Lg Chem, Ltd. | Heating element and manufacturing method thereof |
US9624126B2 (en) | 2008-06-13 | 2017-04-18 | Lg Chem, Ltd. | Heating element and manufacturing method thereof |
US10412788B2 (en) | 2008-06-13 | 2019-09-10 | Lg Chem, Ltd. | Heating element and manufacturing method thereof |
CN110856283A (zh) * | 2018-08-21 | 2020-02-28 | Lg电子株式会社 | 电加热器 |
CN110856295A (zh) * | 2018-08-21 | 2020-02-28 | Lg电子株式会社 | 电加热器 |
KR20200021800A (ko) * | 2018-08-21 | 2020-03-02 | 엘지전자 주식회사 | 전기 히터 |
-
2003
- 2003-09-22 JP JP2003330171A patent/JP2005100695A/ja active Pending
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100433249C (zh) * | 2005-06-02 | 2008-11-12 | 日本碍子株式会社 | 基板处理装置 |
WO2009116787A3 (ko) * | 2008-03-17 | 2009-12-17 | 주식회사 엘지화학 | 발열체 및 이의 제조방법 |
CN101978776A (zh) * | 2008-03-17 | 2011-02-16 | Lg化学株式会社 | 加热件及其制备方法 |
US9611171B2 (en) | 2008-06-13 | 2017-04-04 | Lg Chem, Ltd. | Heating element and manufacturing method thereof |
US9624126B2 (en) | 2008-06-13 | 2017-04-18 | Lg Chem, Ltd. | Heating element and manufacturing method thereof |
US10412788B2 (en) | 2008-06-13 | 2019-09-10 | Lg Chem, Ltd. | Heating element and manufacturing method thereof |
CN103634953A (zh) * | 2012-08-23 | 2014-03-12 | 株式会社理研 | MoSi2基的线圈加热器及具有该加热器的管状加热器模块 |
KR20200021800A (ko) * | 2018-08-21 | 2020-03-02 | 엘지전자 주식회사 | 전기 히터 |
CN110856295A (zh) * | 2018-08-21 | 2020-02-28 | Lg电子株式会社 | 电加热器 |
KR20200021796A (ko) * | 2018-08-21 | 2020-03-02 | 엘지전자 주식회사 | 전기 히터 |
CN110856283A (zh) * | 2018-08-21 | 2020-02-28 | Lg电子株式会社 | 电加热器 |
KR20200021820A (ko) * | 2018-08-21 | 2020-03-02 | 엘지전자 주식회사 | 전기 히터 |
KR102110417B1 (ko) * | 2018-08-21 | 2020-05-13 | 엘지전자 주식회사 | 전기 히터 |
KR102110410B1 (ko) * | 2018-08-21 | 2020-05-14 | 엘지전자 주식회사 | 전기 히터 |
KR102159802B1 (ko) * | 2018-08-21 | 2020-09-25 | 엘지전자 주식회사 | 전기 히터 |
CN110856295B (zh) * | 2018-08-21 | 2022-02-18 | Lg电子株式会社 | 电加热器 |
CN110856283B (zh) * | 2018-08-21 | 2022-05-10 | Lg电子株式会社 | 电加热器 |
US11406222B2 (en) | 2018-08-21 | 2022-08-09 | Lg Electronics Inc. | Electric heater and cooking appliance having same |
US11415324B2 (en) | 2018-08-21 | 2022-08-16 | Lg Electronics Inc. | Electric heater |
US11647567B2 (en) | 2018-08-21 | 2023-05-09 | Lg Electronics Inc. | Electric heater |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI702685B (zh) | 極端均勻加熱基板支撐組件 | |
JP4881319B2 (ja) | 基板を空間的かつ時間的に温度制御するための装置 | |
US6080970A (en) | Wafer heating apparatus | |
TWI517761B (zh) | 屏蔽性蓋加熱器組件 | |
US6242719B1 (en) | Multiple-layered ceramic heater | |
JP6341457B1 (ja) | 静電チャック | |
US20090159590A1 (en) | Substrate temperature adjusting-fixing devices | |
US10957574B2 (en) | Electrostatic chuck and substrate fixing apparatus | |
TW201806072A (zh) | 基板保持裝置 | |
JP2004006242A (ja) | セラミックヒーター | |
JP2005100695A (ja) | 基板加熱方法、抵抗発熱体付基板及びその製造方法 | |
JP2008118052A (ja) | 基板加熱装置 | |
JP3918806B2 (ja) | 被加熱物載置用ヒータ部材及び加熱処理装置 | |
US6891134B2 (en) | Integrally formed bake plate unit for use in wafer fabrication system | |
JP4122723B2 (ja) | 被処理物保持体 | |
JP3850314B2 (ja) | ウエハ支持部材およびこれを用いたウエハの加熱方法 | |
KR100891316B1 (ko) | 유도가열에 의한 히트파이프방식 핫플레이트 | |
JP4671262B2 (ja) | 半導体加熱装置 | |
JP2007013175A (ja) | ウエハ支持部材およびこれを用いたウエハの加熱方法 | |
JP7494972B1 (ja) | 静電チャック | |
JP2010278461A (ja) | ウエハ加熱装置 | |
JP4325902B2 (ja) | ウエハ加熱装置 | |
KR960014057B1 (ko) | 감열 기록 장치의 제조방법 | |
JP2023141826A (ja) | 保持部材 | |
KR20120009572A (ko) | 세라믹 히터 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060223 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071113 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080520 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080722 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080909 |