JP4842875B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
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- 密閉された試料室と、前記試料室内に設置された試料微動装置と、前記試料微動装置を前記試料室の外から微動させる微動操作部と、前記試料微動装置の試料保持手段に支持された試料に対して電子線を照射する電子銃と、前記電子銃の電子線照射方向の先端側に設けた対物レンズと、前記試料室内に設置され前記電子線の照射により前記試料から放出される情報信号を検出する検出機器と、前記試料保持手段の試料を撮影するカメラと、前記カメラによる撮影信号を映像表示する前記資料室の外に設けられたモニタとを備えた電子顕微鏡において、前記カメラを前記試料保持手段に支持し、前記試料微動装置は、前記試料を電子線照射方向に対して傾斜させる回転軸を備えており、前記カメラの光軸は、前記回転軸と同心に設置されていることを特徴とする電子顕微鏡。
- 請求項1に記載の電子顕微鏡において、前記カメラで撮影された前記対物レンズの映像を前記モニタの画面の基準位置に表示する表示位置補正手段を設けたことを特徴とする電子顕微鏡。
- 請求項1に記載の電子顕微鏡において、前記モニタの画面の基準位置は、前記モニタの画面の上部であることを特徴とする電子顕微鏡。
- 請求項1に記載の電子顕微鏡において、前記カメラは、前記試料と共に前記対物レンズを撮影する撮影角を有することを特徴とする電子顕微鏡。
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