JP4840727B2 - 平面位置決め装置 - Google Patents
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Description
(1)スライダ1を図中−X,−Y方向に移動させる。
(2)夫々の移動方向のエリアセンサーの検出信号により移動を停止する。
(3)三角法によるレーザ測長器による絶対位置測定の測定可能領域に入っていることをレーザ測長器出力で確認する。
(4)必要により、レーザ測長器による測定誤差の少なくなる領域に移動する。
(5)レーザ測長器により、スライダ2の原点絶対位置情報を取得する。
(1)スライダの原点絶対位置を測定するレーザ測長器をX軸方向及びY軸方向に配置する必要があり、装置のコストアップ要因となっている。
(1)X軸方向及びY軸方向に多重化された推力発生用モータコアを有するスライダを、プラテンの上面でX軸方向またはY軸方向にスライドして位置決め制御する平面位置決め装置において、
前記スライダの原点復帰時に、原点復帰動作モードに切り換えて、前記多重化された推力発生用モータコアのコア巻線を、前記プラテンに形成された歯と前記モータコアに形成された歯との相対位置を検出するレゾルバ型位置検出手段のセンサーとして使用することを特徴とする平面位置決め装置。
(1)スライダの原点絶対位置を測定するセンサーとしてモータコアの巻線を使用するため、レーザ測長器等の絶対位置測定手段を外部に配置する必要がなく、装置のコストダウン及び省スペース化に貢献できる。
(1)エリアセンサー200による検出位置を予め測定し、粗位置情報Prを測定しておく。
2 スライダ
21 Y軸バーミラー
22 X軸バーミラー
Ly1,Ly2,Ly3,Ly4 Y軸レーザ干渉計
Lx1,Lx2 X軸レーザ干渉計
Ay1,Ay2 Y軸エリアセンサー
Ax1,Ax2 X軸エリアセンサー
3 モータコア
31,32 コア巻線
41,42 電流アンプ
5 切り換えスイッチ
100 レゾルバ型位置検出手段
200 エリアセンサー
300 原点位置演算手段
400 位置検出値補正手段
Claims (4)
- X軸方向及びY軸方向に多重化された推力発生用モータコアを有するスライダを、プラテンの上面でX軸方向またはY軸方向にスライドして位置決め制御する平面位置決め装置において、
前記スライダの原点復帰時に、原点復帰動作モードに切り換えて、前記多重化された推力発生用モータコアのコア巻線を、前記プラテンに形成された歯と前記モータコアに形成された歯との相対位置を検出するレゾルバ型位置検出手段のセンサーとして使用することを特徴とする平面位置決め装置。 - 前記レゾルバ型位置検出手段は、センサーとして使用する前記コア巻線に正弦波励磁電圧を印加した時に前記コア巻線に流れる電流検出値に基づいて前記相対位置を検出することを特徴とする請求項1に記載の平面位置決め装置。
- 前記レゾルバ型位置検出手段と、前記スライダの前記プラテン上での原点粗位置を検出するエリアセンサーとを組み合わせて前記スライダの原点絶対位置を算出することを特徴とする請求項1または2に記載の平面位置決め装置。
- 前記レゾルバ型位置検出手段の検出値に対して、リニアリティ補正を実行する位置検出値補正手段を備えることを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の平面位置決め装置。
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