JP2005009952A - Xyステージ - Google Patents
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Abstract
【課題】スライダ部の発熱要因を最小限にすると共に。ケーブル処理をシンプル化できるXYステージを実現する。
【解決手段】スライダ部を2次元方向に位置制御するXYステージにおいて、固定部に配置され、スライダ部のX軸方向位置を検出するX軸センサと、固定部に配置され、スライダ部のY軸方向位置を検出するY軸センサとを有する。位置固定されたX軸センサとY軸センサは、光の干渉を利用して距離を測定する干渉計である。スライダ部にはX軸センサとY軸センサの出射光を当てるミラーを載せた。
【選択図】 図1
【解決手段】スライダ部を2次元方向に位置制御するXYステージにおいて、固定部に配置され、スライダ部のX軸方向位置を検出するX軸センサと、固定部に配置され、スライダ部のY軸方向位置を検出するY軸センサとを有する。位置固定されたX軸センサとY軸センサは、光の干渉を利用して距離を測定する干渉計である。スライダ部にはX軸センサとY軸センサの出射光を当てるミラーを載せた。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローバ、ハンドラ、ステッパ等に用いられ、対象物の2次元位置決めをするXYステージに関する。
【0002】
【従来の技術】
スライダ部を2次元方向に位置制御するXYステージについては、後述する特許文献1及び2に詳細に開示されている。
【0003】
図4は特許文献1に開示されている従来構造のXYステージの基本構造を示す斜視図である。10は水平に固定配置された格子プラテンであり、X方向及びY方向に沿って一定ピッチで歯が形成されている。図では簡略のため一部の歯だけを示している。格子プラテンは磁性体の平坦面に格子状に溝を切ることによって形成される。
【0004】
20は、格子プラテン上面をX方向及びY方向に移動して位置決め制御されるスライダ部であり、この上部にワーク及び位置決めの対象となるターゲット(図示せず)が搭載される。浮揚手段21は、格子プラテン10に対向する裏面にノズルが設けられていて圧縮空気を噴射させることでスライダ20を格子プラテン10上に浮揚させる。
【0005】
31及び32はスライダ部20の上部にX方向に所定距離を持って固定配置された第1のX軸センサ及び第2のX軸センサである。33は同様にスライダ部20の上部に固定配置されたY軸センサである。
【0006】
11は、格子プラテン10のY軸方向に延びた縁に固定配置された所定高さを有するX軸ミラーであり、第1のX軸センサ31及び第2のX軸センサ32と対向する。12は、格子プラテン10のX軸方向に延びた縁に固定配置された所定高さを有するY軸ミラーであり、Y軸センサ33と対向する。
【0007】
第1のX軸センサ31、第2のX軸センサ32及びY軸センサ33は光学的な距離測定装置であり、レーザビームをX軸ミラー11及びY軸ミラー12に照射し反射光を受光し干渉を利用して移動距離を測定することでスライダ部20のX方向及びY方向の位置を測定する。PX1及びPX2は第1のX軸センサ31及び第2のX軸センサ32によるX軸方向の距離測定値、PYはY軸センサ33によるY軸方向の距離測定値である。
【0008】
41は第1のX軸制御部であり、測定値PX1と位置指令信号SX1の偏差に基づいてスライダ部20に形成された第1のX軸モータに電流指令値信号MX1を発信する。42は第2のX軸制御部であり、測定値PX2と位置指令信号SX2の偏差に基づいてスライダ部20に形成された第2のX軸モータに電流指令値信号MX2を発信する。43はY軸制御部であり、測定値PYと位置指令信号SYの偏差に基づいてスライダ部20に形成されたY軸モータに電流指令値信号MYを発信する。
【0009】
図5は、スライダ部20の裏面から見た図である。スライダ部20の裏面には格子プラテン10の歯と対向するX軸モータ及びY軸モータが配置されている。これらのモータは4個のエリアに配置されている。対角に対向する20A及び20Bは第1のX軸及び第2のX軸モータであり、Y軸方向に一定ピッチで形成された歯を有しており、これらを連結するコアの巻線に夫々操作信号MX1及びMX2が与えられる。
【0010】
同様に、対角に対向する20C及び20DはY軸モータであり、夫々X軸方向に一定ピッチで形成された歯を有しており、これらを連結するコアの巻線は直列接続され共通に操作信号MYが与えられる。これらX軸及びY軸モータの詳細構造及び位置のフィードバック制御系については、特許文献1及び2に詳細に開示されているので、説明を省略する。
【0011】
【特許文献1】
特開2000−65970号公報
【特許文献2】
特開2001−125648号公報
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
このような構成を有する従来のXYステージでは、次のような問題点がある。
(1)X軸センサ2台及びY軸センサ1台はスライダ部20の上部に搭載されるので、その電子部品による発熱が同じく上部に搭載されるワーク及びターゲットに影響を与える。ワークが更に精度の高いターゲットの位置決め作業をしている場合等では温度補償を必要とし、スライダ部の構成が複雑となり、コストアップの要因となる。
(2)3台のセンサがスライダ部20上に搭載されているので、これらへの電源ケーブル、信号ケーブルが必要であり、ケーブル処理のコストアップ要因となる。
【0013】
本発明は、これらの問題点を解決するためになされたものであり、スライダ部の発熱要因を最小限にすると共に、ケーブル処理をシンプル化できるXYステージを実現することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するための本発明の構成は次の通りである。
(1)スライダ部を2次元方向に位置制御するXYステージにおいて、
固定部に配置され、前記スライダ部のX軸方向位置を検出するX軸センサと、
固定部に配置され、前記スライダ部のY軸方向位置を検出するY軸センサと、を有することを特徴とするXYステージ。
【0015】
(2)前記X軸センサと対向して前記スライダ部に固定配置されたX軸ミラーと、
前記Y軸センサと対向して前記スライダ部に固定配置されたY軸ミラーと、
を有し、前記X軸センサ及びY軸センサは、前記X軸ミラー及びY軸ミラーに光を照射してその反射光を受け、光の干渉を利用して距離を測定する干渉計であることをすることを特徴とする(1)記載のXYステージ。
【0016】
(3)前記X軸センサは、X軸方向に所定距離を有して配置される第1及び第2のX軸センサで構成されることを特徴とする(1)または(2)に記載のXYステージ。
【0017】
(4)前記スライダ部はX軸方向に所定距離を有して配置される第1及び第2のX軸モータを搭載し、前記第1及び第2のX軸センサの測定値に基づいて前記第1及び第2のX軸モータがフィードバック制御されることにより、スライダ部のX軸方向位置が制御されることを特徴とする(1)乃至(3)のいずれかに記載のXYステージ。
【0018】
(5)前記スライダ部は、Y軸モータを有し、前記Y軸センサの測定値に基づいて前記Y軸モータがフィードバック制御されることにより、スライダ部のY軸方向位置が制御されることを特徴とする(1)乃至(4)のいずれかに記載のXYステージ。
【0019】
(6)前記第1及び第2のX軸モータがフィードバック制御されることにより、前記スライダ部のヨーイング補正が行われることを特徴とする(1)乃至(5)のいずれかに記載のXYステージ。
【0020】
(7)前記スライダ部は格子プラテン上を移動し、前記格子プラテンは一定ピッチで形成された格子状の歯を有し、この歯は前記スライダ部のX軸モータ及びY軸モータに形成された歯と対向していることを特徴とする(1)乃至(6)のいずれかに記載のXYステージ。
【0021】
(8)前記スライダ部を前記格子プラテン上に所定距離浮揚させるための浮揚手段を有することを特徴とする(7)に記載のXYステージ。
【0022】
(9)前記X軸ミラー及びY軸ミラーは、前記スライダ部に搭載されるワークの作業高さ位置に配置したことを特徴とする(2)乃至(8)のいずれかに記載のXYステージ。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施形態を、図面を用いて説明する。図1は本発明を適用したXYステージの構成例を示す斜視図であり、図4の従来XYステージで説明した要素と同一要素には同一符号を付して説明を省略する。
【0024】
本発明の構成上の特徴は、格子プラテンのX軸方向の端部付近にX軸センサを固定配置し、格子プラテンのY軸方向の端部付近にY軸センサを固定配置すると共に、X軸センサと対向してスライダ部にX軸ミラーを固定配置し、Y軸センサと対向してY軸ミラーをスライダ部に固定配置した点にある。即ち、X軸センサ及びY軸センサとX軸ミラー及びY軸ミラーの相対関係を、従来XYステージの相対関係と反転させた構成を特徴としている。
【0025】
図1において、100はスライダ部、101は浮揚手段であり、図4のスライダ部20及び浮揚手段21と同一構成である。102はX軸ミラーであり、スライダ部100のX軸方向端部の一方に取り付けられ、Y軸方向に延びている。103はY軸ミラーであり、スライダ部100のY軸方向端部の一方に取り付けられ、X軸方向に延びている。
【0026】
201は第1のX軸センサ、202は第2のX軸センサであり、格子プラテン10のX軸方向端部に対向し所定距離を有して固定配置されている。203はY軸センサであり、格子プラテン10のY軸方向端部に対向して固定配置されている。これら第1、第2のX軸センサ及びY軸センサは、X軸ミラー102及びY軸ミラー103に光を照射してその反射光を受け、光の干渉を利用して距離を測定する干渉計である。
【0027】
401は第1のX軸制御部、402は第2のX軸制御部、403はY軸制御部であり、図4の要素41乃至43に対応する。第1のX軸制御部401は、第1のX軸センサ201の測定値PX1と位置指令信号SX1の偏差に基づいてスライダ部100に形成された第1のX軸モータ(図5の20Aに相当する)に電流指令値信号MX1を発信する。
【0028】
第2のX軸制御部402は、第2のX軸センサ202の測定値PX2と位置指令信号SX2の偏差に基づいてスライダ部100に形成された第2のX軸モータ(図5の20Bに相当する)に電流指令値信号MX2を発信する。403はY軸制御部であり、Y軸センサ203の測定値PYと位置指令信号SYの偏差に基づいてスライダ部100に形成されたY軸モータ(図5の20C,20Dに相当する)に電流指令値信号MYを発信する。
【0029】
補正手段404及び405は、第1のX軸制御部401及び第2のX軸制御部402について夫々設けられ、指令位置とスライダ部のヨーイングを除去するための補正量を対応させた補正テーブル406及び407を保持している。補正テーブル46及び47のデータはキャリブレーションによって得たデータである。
【0030】
補正手段404及び405は、与えられた指令位置SXをもとに補正テーブル406及び407から補正量を読み出し、読み出した補正量で第1のX軸制御部401及び第2のX軸制御部402に与える指令位置を補正し、補正された位置指令信号SX1及びSX2を発信する。
【0031】
補正手段404及び405により、X軸ミラー102とY軸ミラー103の機械的誤差による曲がりを補正することも可能である。X軸ミラー102とY軸ミラー103の曲がりが位置検出に影響しない程度の曲がりであり、ヨーイングが無視できる範囲であれば、補正手段404と405は設けなくてもよい。
【0032】
第1のX軸センサ201及び第2のX軸センサ202は、スライダ部100のX軸方向の位置を夫々検出する。これらセンサは、X軸ミラー102に光を照射し、その反射光を受け、光の干渉を利用してスライダ部100のX軸方向の位置を検出する干渉計である。
【0033】
Y軸センサ203は、スライダ部100のY軸方向の位置を検出する。このセンサは、Y軸ミラー103に光を照射し、その反射光を受け、光の干渉を利用してスライダ部100のY軸方向の位置を検出する干渉計である。
【0034】
図2により、これらセンサの構成を第1のX軸センサ201で代表して説明する。レーザ光源501はレーザ光を出射する。レーザ光源501の出射光の光路には、ビームスプリッタ502、ミラー503,504、偏向ビームスプリッタ(PBSとする)505、λ/4板506,コーナーキューブ507が配置されている。
【0035】
レーザ光源501から出た光は、ビームスプリッタ502、ミラー503、ミラー504、ビームスプリッタ502の経路で進み、図のa方向に進む光がある。この光を第1の光とする。また、レーザ光源501から出た光には、ビームスプリッタ502、PBS505、λ/4板506、X軸ミラー102、λ/4板506、PBS505、コーナーキューブ507、PBS505、λ/4板506、X軸ミラー102、λ/4板506、PBS505、ビームスプリッタ502の経路で進み、図のa方向に進む光がある。この光を第2の光とする。
【0036】
ミラー503はレーザ光源501の光軸と45°の角度をなして配置されている。これに対して、ミラー504はレーザ光源501の光軸と45°+θaの角度をなして配置されている。ミラー504の配置角度がθaだけずれていることにより、第1の光の波面が第2の光の波面に対してθaだけずれる。これによって、第1の光と第2の光が干渉して干渉縞Sを作る。フォトダイオードアレイ(PDAとする)508は干渉縞Sを検出する。
【0037】
PDA508は、4個のフォトダイオード508A〜508Dからなる。4個のフォトダイオード508A〜508Dは、干渉縞Sの1ピッチ内に配置されている。各フォトダイオード508A〜508Dはp/4(pは干渉縞のピッチ)ずつずらして配置されている。干渉縞のピッチp=λ/θa(λはレーザ光の波長)となる。θaのディメンションはラジアンである。
【0038】
減算器509は、(フォトダイオード508Aの検出信号)−(フォトダイオード508Cの検出信号)なる演算を行う。減算器510は、(フォトダイオード150Bの検出信号)−(フォトダイオード508Dの検出信号)なる演算を行う。
【0039】
スライダ部100の移動に伴ってX軸ミラー102が移動すると、干渉縞Sが矢印d−d´方向に動く。干渉縞が動くと各フォトダイオード508A〜508Dに当る干渉縞の明暗部分が動き、フォトダイオード508A〜508Dの検出値が変化する。これをもとにスライダ部100の位置を検出する。
【0040】
干渉縞がd方向に移動したときは、フォトダイオードの出力VA〜VDは次のとおりになる。
VA=K[1+msin{xe・2π/(λ/4)}]+Kn
VB=K[1+mcos{xe・2π/(λ/4)}]+Kn
VC=K[1−msin{xe・2π/(λ/4)}]+Kn
VD=K[1−mcos{xe・2π/(λ/4)}]+Kn
xe:検出対象の距離、K,m:係数、Kn:ノイズ成分
【0041】
減算器509と510の減算信号は次のとおりになる。
VA−VC=2mKsin{xe・2π/(λ/4)}
VB−VD=2mKcos{xe・2π/(λ/4)}
減算の結果、外乱光により発生した直流のノイズ成分Knがキャンセルされる。信号VA−VCとVB−VDが前述したA相パルスとB相パルスに変換される。干渉縞がd’方向に動いたときは、信号VA−VCとVB−VDの位相関係は逆転する。
【0042】
コンパレータ511,512は、減算器509と510の減算信号からA相パルスとB相パルスを生成する。方向判別回路513は、A相パルスとB相パルスの位相関係からスライダ部100の移動方向を判別し、判別結果に応じてアップパルスまたはダウンパルスを発生する。
【0043】
アップダウンカウンタ514は、アップパルスまたはダウンパルスに応じてアップカウントまたはダウンカウントを行う。アップダウンカウンタ514のカウントがスライダ部100の検出位置になる。初期状態ではX軸モータの各相コイルに既知電流を流したときにモータのロータとステータの歯の位相がどれだけずれるかが予め分っている。
【0044】
この時のアップダウンカウンタ514の値を基準値、例えば0に設定する。スライダ部の移動に伴ってアップダウンカウンタ514は基準値からアップカウントまたはダウンカウントを行って位置を検出する。このようにしてインクリメンタル方式に位置検出をする。
【0045】
図3は、本発明の他の実施形態を示す側面図である。600はスライダ部100の上部に取り付けられたワーク(作業台)であり、この上に検査対象となるLSIウェーファ等のターゲット700が搭載されている。
【0046】
X軸ミラー102及びY軸ミラー103(図示せず)は、ワーク600の端部に取り付けられており、第1のX軸センサ201はこのミラーに対向する位置に固定配置されている。第1のX軸センサ202及びY軸センサ203についても同様である。
【0047】
このように、最終位置制御される対象物(ターゲット)がスライダ部100の上方に位置する場合には、ミラーの位置を対象物位置までシフトすることにより、スライダ部100のローリング、ピッチングによる位置検出誤差を吸収し、より精度の高い位置制御を実現することができる。このようにX軸ミラー102及びY軸ミラー103(図示せず)は、スライダ部100に搭載されるワークの作業高さ位置に配置されている。
【0048】
図1及び図3の実施形態では、X軸ミラー102及びY軸ミラー103はスライダ部100とは別部材構造で示したが、スライダ部材自身のX軸側面部及びY軸側面部をミラー構造とし、スライダ部とミラーを一体構造とすることも可能である。このような一体構造によれば、スライダ部の加工精度が確保されればミラーの取り付け精度を確保する作業は不要となるメリットがある。
【0049】
【発明の効果】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果を期待することができる。
(1)X軸センサ2台及びY軸センサ1台はスライダ部より分離され固定配置されるので、その電子部品による発熱がスライダ部の上に取り付けられるワーク及びワーク上に搭載されるターゲットに影響を与えることが回避される。これにより、ワークが更に精度の高いターゲットの位置決め作業をしている場合等では温度補償を不用とし、スライダ部上の構成がシンプルとなり、コストダウンに貢献できる。
(2)3台のセンサが外部に固定配置されるので、従来XYステージで必要としていた電源ケーブル、信号ケーブル不用となり、ケーブル処理のコストダウンに貢献できる。
(3)位置センサとして干渉計を用いることにより、機械部分を少なくし、装置を小型化することができる。
(4)X軸の制御を2系統とすることで、スライダ部のヨーイング及びX軸ミラーとY軸ミラーの曲がりの補正を実現し高精度な位置決めを実現できる。
(5)X軸ミラー及びY軸ミラーを、スライダ部に搭載されるワークの作業高さ位置としたことにより、ターゲットのより精度の高い位置制御を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用したXYステージの構成例を示す斜視図である。
【図2】第1のX軸センサの構成図である。
【図3】本発明の他の実施形態を示す側面図である。
【図4】従来構造のXYステージの基本構造を示す斜視図である。
【図5】スライダ部に形成されるX軸モータ及びY軸モータの概念図である。
【符号の説明】
10 格子プラテン
100 スライダ部
101 浮揚手段
102 X軸ミラー
103 Y軸ミラー
201 第1のX軸センサ
202 第2のX軸センサ
203 Y軸センサ
401 第1のX軸制御部
402 第2のX軸制御部
403 Y軸制御部
404、405 補正手段
406、407 補正テーブル
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローバ、ハンドラ、ステッパ等に用いられ、対象物の2次元位置決めをするXYステージに関する。
【0002】
【従来の技術】
スライダ部を2次元方向に位置制御するXYステージについては、後述する特許文献1及び2に詳細に開示されている。
【0003】
図4は特許文献1に開示されている従来構造のXYステージの基本構造を示す斜視図である。10は水平に固定配置された格子プラテンであり、X方向及びY方向に沿って一定ピッチで歯が形成されている。図では簡略のため一部の歯だけを示している。格子プラテンは磁性体の平坦面に格子状に溝を切ることによって形成される。
【0004】
20は、格子プラテン上面をX方向及びY方向に移動して位置決め制御されるスライダ部であり、この上部にワーク及び位置決めの対象となるターゲット(図示せず)が搭載される。浮揚手段21は、格子プラテン10に対向する裏面にノズルが設けられていて圧縮空気を噴射させることでスライダ20を格子プラテン10上に浮揚させる。
【0005】
31及び32はスライダ部20の上部にX方向に所定距離を持って固定配置された第1のX軸センサ及び第2のX軸センサである。33は同様にスライダ部20の上部に固定配置されたY軸センサである。
【0006】
11は、格子プラテン10のY軸方向に延びた縁に固定配置された所定高さを有するX軸ミラーであり、第1のX軸センサ31及び第2のX軸センサ32と対向する。12は、格子プラテン10のX軸方向に延びた縁に固定配置された所定高さを有するY軸ミラーであり、Y軸センサ33と対向する。
【0007】
第1のX軸センサ31、第2のX軸センサ32及びY軸センサ33は光学的な距離測定装置であり、レーザビームをX軸ミラー11及びY軸ミラー12に照射し反射光を受光し干渉を利用して移動距離を測定することでスライダ部20のX方向及びY方向の位置を測定する。PX1及びPX2は第1のX軸センサ31及び第2のX軸センサ32によるX軸方向の距離測定値、PYはY軸センサ33によるY軸方向の距離測定値である。
【0008】
41は第1のX軸制御部であり、測定値PX1と位置指令信号SX1の偏差に基づいてスライダ部20に形成された第1のX軸モータに電流指令値信号MX1を発信する。42は第2のX軸制御部であり、測定値PX2と位置指令信号SX2の偏差に基づいてスライダ部20に形成された第2のX軸モータに電流指令値信号MX2を発信する。43はY軸制御部であり、測定値PYと位置指令信号SYの偏差に基づいてスライダ部20に形成されたY軸モータに電流指令値信号MYを発信する。
【0009】
図5は、スライダ部20の裏面から見た図である。スライダ部20の裏面には格子プラテン10の歯と対向するX軸モータ及びY軸モータが配置されている。これらのモータは4個のエリアに配置されている。対角に対向する20A及び20Bは第1のX軸及び第2のX軸モータであり、Y軸方向に一定ピッチで形成された歯を有しており、これらを連結するコアの巻線に夫々操作信号MX1及びMX2が与えられる。
【0010】
同様に、対角に対向する20C及び20DはY軸モータであり、夫々X軸方向に一定ピッチで形成された歯を有しており、これらを連結するコアの巻線は直列接続され共通に操作信号MYが与えられる。これらX軸及びY軸モータの詳細構造及び位置のフィードバック制御系については、特許文献1及び2に詳細に開示されているので、説明を省略する。
【0011】
【特許文献1】
特開2000−65970号公報
【特許文献2】
特開2001−125648号公報
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
このような構成を有する従来のXYステージでは、次のような問題点がある。
(1)X軸センサ2台及びY軸センサ1台はスライダ部20の上部に搭載されるので、その電子部品による発熱が同じく上部に搭載されるワーク及びターゲットに影響を与える。ワークが更に精度の高いターゲットの位置決め作業をしている場合等では温度補償を必要とし、スライダ部の構成が複雑となり、コストアップの要因となる。
(2)3台のセンサがスライダ部20上に搭載されているので、これらへの電源ケーブル、信号ケーブルが必要であり、ケーブル処理のコストアップ要因となる。
【0013】
本発明は、これらの問題点を解決するためになされたものであり、スライダ部の発熱要因を最小限にすると共に、ケーブル処理をシンプル化できるXYステージを実現することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するための本発明の構成は次の通りである。
(1)スライダ部を2次元方向に位置制御するXYステージにおいて、
固定部に配置され、前記スライダ部のX軸方向位置を検出するX軸センサと、
固定部に配置され、前記スライダ部のY軸方向位置を検出するY軸センサと、を有することを特徴とするXYステージ。
【0015】
(2)前記X軸センサと対向して前記スライダ部に固定配置されたX軸ミラーと、
前記Y軸センサと対向して前記スライダ部に固定配置されたY軸ミラーと、
を有し、前記X軸センサ及びY軸センサは、前記X軸ミラー及びY軸ミラーに光を照射してその反射光を受け、光の干渉を利用して距離を測定する干渉計であることをすることを特徴とする(1)記載のXYステージ。
【0016】
(3)前記X軸センサは、X軸方向に所定距離を有して配置される第1及び第2のX軸センサで構成されることを特徴とする(1)または(2)に記載のXYステージ。
【0017】
(4)前記スライダ部はX軸方向に所定距離を有して配置される第1及び第2のX軸モータを搭載し、前記第1及び第2のX軸センサの測定値に基づいて前記第1及び第2のX軸モータがフィードバック制御されることにより、スライダ部のX軸方向位置が制御されることを特徴とする(1)乃至(3)のいずれかに記載のXYステージ。
【0018】
(5)前記スライダ部は、Y軸モータを有し、前記Y軸センサの測定値に基づいて前記Y軸モータがフィードバック制御されることにより、スライダ部のY軸方向位置が制御されることを特徴とする(1)乃至(4)のいずれかに記載のXYステージ。
【0019】
(6)前記第1及び第2のX軸モータがフィードバック制御されることにより、前記スライダ部のヨーイング補正が行われることを特徴とする(1)乃至(5)のいずれかに記載のXYステージ。
【0020】
(7)前記スライダ部は格子プラテン上を移動し、前記格子プラテンは一定ピッチで形成された格子状の歯を有し、この歯は前記スライダ部のX軸モータ及びY軸モータに形成された歯と対向していることを特徴とする(1)乃至(6)のいずれかに記載のXYステージ。
【0021】
(8)前記スライダ部を前記格子プラテン上に所定距離浮揚させるための浮揚手段を有することを特徴とする(7)に記載のXYステージ。
【0022】
(9)前記X軸ミラー及びY軸ミラーは、前記スライダ部に搭載されるワークの作業高さ位置に配置したことを特徴とする(2)乃至(8)のいずれかに記載のXYステージ。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施形態を、図面を用いて説明する。図1は本発明を適用したXYステージの構成例を示す斜視図であり、図4の従来XYステージで説明した要素と同一要素には同一符号を付して説明を省略する。
【0024】
本発明の構成上の特徴は、格子プラテンのX軸方向の端部付近にX軸センサを固定配置し、格子プラテンのY軸方向の端部付近にY軸センサを固定配置すると共に、X軸センサと対向してスライダ部にX軸ミラーを固定配置し、Y軸センサと対向してY軸ミラーをスライダ部に固定配置した点にある。即ち、X軸センサ及びY軸センサとX軸ミラー及びY軸ミラーの相対関係を、従来XYステージの相対関係と反転させた構成を特徴としている。
【0025】
図1において、100はスライダ部、101は浮揚手段であり、図4のスライダ部20及び浮揚手段21と同一構成である。102はX軸ミラーであり、スライダ部100のX軸方向端部の一方に取り付けられ、Y軸方向に延びている。103はY軸ミラーであり、スライダ部100のY軸方向端部の一方に取り付けられ、X軸方向に延びている。
【0026】
201は第1のX軸センサ、202は第2のX軸センサであり、格子プラテン10のX軸方向端部に対向し所定距離を有して固定配置されている。203はY軸センサであり、格子プラテン10のY軸方向端部に対向して固定配置されている。これら第1、第2のX軸センサ及びY軸センサは、X軸ミラー102及びY軸ミラー103に光を照射してその反射光を受け、光の干渉を利用して距離を測定する干渉計である。
【0027】
401は第1のX軸制御部、402は第2のX軸制御部、403はY軸制御部であり、図4の要素41乃至43に対応する。第1のX軸制御部401は、第1のX軸センサ201の測定値PX1と位置指令信号SX1の偏差に基づいてスライダ部100に形成された第1のX軸モータ(図5の20Aに相当する)に電流指令値信号MX1を発信する。
【0028】
第2のX軸制御部402は、第2のX軸センサ202の測定値PX2と位置指令信号SX2の偏差に基づいてスライダ部100に形成された第2のX軸モータ(図5の20Bに相当する)に電流指令値信号MX2を発信する。403はY軸制御部であり、Y軸センサ203の測定値PYと位置指令信号SYの偏差に基づいてスライダ部100に形成されたY軸モータ(図5の20C,20Dに相当する)に電流指令値信号MYを発信する。
【0029】
補正手段404及び405は、第1のX軸制御部401及び第2のX軸制御部402について夫々設けられ、指令位置とスライダ部のヨーイングを除去するための補正量を対応させた補正テーブル406及び407を保持している。補正テーブル46及び47のデータはキャリブレーションによって得たデータである。
【0030】
補正手段404及び405は、与えられた指令位置SXをもとに補正テーブル406及び407から補正量を読み出し、読み出した補正量で第1のX軸制御部401及び第2のX軸制御部402に与える指令位置を補正し、補正された位置指令信号SX1及びSX2を発信する。
【0031】
補正手段404及び405により、X軸ミラー102とY軸ミラー103の機械的誤差による曲がりを補正することも可能である。X軸ミラー102とY軸ミラー103の曲がりが位置検出に影響しない程度の曲がりであり、ヨーイングが無視できる範囲であれば、補正手段404と405は設けなくてもよい。
【0032】
第1のX軸センサ201及び第2のX軸センサ202は、スライダ部100のX軸方向の位置を夫々検出する。これらセンサは、X軸ミラー102に光を照射し、その反射光を受け、光の干渉を利用してスライダ部100のX軸方向の位置を検出する干渉計である。
【0033】
Y軸センサ203は、スライダ部100のY軸方向の位置を検出する。このセンサは、Y軸ミラー103に光を照射し、その反射光を受け、光の干渉を利用してスライダ部100のY軸方向の位置を検出する干渉計である。
【0034】
図2により、これらセンサの構成を第1のX軸センサ201で代表して説明する。レーザ光源501はレーザ光を出射する。レーザ光源501の出射光の光路には、ビームスプリッタ502、ミラー503,504、偏向ビームスプリッタ(PBSとする)505、λ/4板506,コーナーキューブ507が配置されている。
【0035】
レーザ光源501から出た光は、ビームスプリッタ502、ミラー503、ミラー504、ビームスプリッタ502の経路で進み、図のa方向に進む光がある。この光を第1の光とする。また、レーザ光源501から出た光には、ビームスプリッタ502、PBS505、λ/4板506、X軸ミラー102、λ/4板506、PBS505、コーナーキューブ507、PBS505、λ/4板506、X軸ミラー102、λ/4板506、PBS505、ビームスプリッタ502の経路で進み、図のa方向に進む光がある。この光を第2の光とする。
【0036】
ミラー503はレーザ光源501の光軸と45°の角度をなして配置されている。これに対して、ミラー504はレーザ光源501の光軸と45°+θaの角度をなして配置されている。ミラー504の配置角度がθaだけずれていることにより、第1の光の波面が第2の光の波面に対してθaだけずれる。これによって、第1の光と第2の光が干渉して干渉縞Sを作る。フォトダイオードアレイ(PDAとする)508は干渉縞Sを検出する。
【0037】
PDA508は、4個のフォトダイオード508A〜508Dからなる。4個のフォトダイオード508A〜508Dは、干渉縞Sの1ピッチ内に配置されている。各フォトダイオード508A〜508Dはp/4(pは干渉縞のピッチ)ずつずらして配置されている。干渉縞のピッチp=λ/θa(λはレーザ光の波長)となる。θaのディメンションはラジアンである。
【0038】
減算器509は、(フォトダイオード508Aの検出信号)−(フォトダイオード508Cの検出信号)なる演算を行う。減算器510は、(フォトダイオード150Bの検出信号)−(フォトダイオード508Dの検出信号)なる演算を行う。
【0039】
スライダ部100の移動に伴ってX軸ミラー102が移動すると、干渉縞Sが矢印d−d´方向に動く。干渉縞が動くと各フォトダイオード508A〜508Dに当る干渉縞の明暗部分が動き、フォトダイオード508A〜508Dの検出値が変化する。これをもとにスライダ部100の位置を検出する。
【0040】
干渉縞がd方向に移動したときは、フォトダイオードの出力VA〜VDは次のとおりになる。
VA=K[1+msin{xe・2π/(λ/4)}]+Kn
VB=K[1+mcos{xe・2π/(λ/4)}]+Kn
VC=K[1−msin{xe・2π/(λ/4)}]+Kn
VD=K[1−mcos{xe・2π/(λ/4)}]+Kn
xe:検出対象の距離、K,m:係数、Kn:ノイズ成分
【0041】
減算器509と510の減算信号は次のとおりになる。
VA−VC=2mKsin{xe・2π/(λ/4)}
VB−VD=2mKcos{xe・2π/(λ/4)}
減算の結果、外乱光により発生した直流のノイズ成分Knがキャンセルされる。信号VA−VCとVB−VDが前述したA相パルスとB相パルスに変換される。干渉縞がd’方向に動いたときは、信号VA−VCとVB−VDの位相関係は逆転する。
【0042】
コンパレータ511,512は、減算器509と510の減算信号からA相パルスとB相パルスを生成する。方向判別回路513は、A相パルスとB相パルスの位相関係からスライダ部100の移動方向を判別し、判別結果に応じてアップパルスまたはダウンパルスを発生する。
【0043】
アップダウンカウンタ514は、アップパルスまたはダウンパルスに応じてアップカウントまたはダウンカウントを行う。アップダウンカウンタ514のカウントがスライダ部100の検出位置になる。初期状態ではX軸モータの各相コイルに既知電流を流したときにモータのロータとステータの歯の位相がどれだけずれるかが予め分っている。
【0044】
この時のアップダウンカウンタ514の値を基準値、例えば0に設定する。スライダ部の移動に伴ってアップダウンカウンタ514は基準値からアップカウントまたはダウンカウントを行って位置を検出する。このようにしてインクリメンタル方式に位置検出をする。
【0045】
図3は、本発明の他の実施形態を示す側面図である。600はスライダ部100の上部に取り付けられたワーク(作業台)であり、この上に検査対象となるLSIウェーファ等のターゲット700が搭載されている。
【0046】
X軸ミラー102及びY軸ミラー103(図示せず)は、ワーク600の端部に取り付けられており、第1のX軸センサ201はこのミラーに対向する位置に固定配置されている。第1のX軸センサ202及びY軸センサ203についても同様である。
【0047】
このように、最終位置制御される対象物(ターゲット)がスライダ部100の上方に位置する場合には、ミラーの位置を対象物位置までシフトすることにより、スライダ部100のローリング、ピッチングによる位置検出誤差を吸収し、より精度の高い位置制御を実現することができる。このようにX軸ミラー102及びY軸ミラー103(図示せず)は、スライダ部100に搭載されるワークの作業高さ位置に配置されている。
【0048】
図1及び図3の実施形態では、X軸ミラー102及びY軸ミラー103はスライダ部100とは別部材構造で示したが、スライダ部材自身のX軸側面部及びY軸側面部をミラー構造とし、スライダ部とミラーを一体構造とすることも可能である。このような一体構造によれば、スライダ部の加工精度が確保されればミラーの取り付け精度を確保する作業は不要となるメリットがある。
【0049】
【発明の効果】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果を期待することができる。
(1)X軸センサ2台及びY軸センサ1台はスライダ部より分離され固定配置されるので、その電子部品による発熱がスライダ部の上に取り付けられるワーク及びワーク上に搭載されるターゲットに影響を与えることが回避される。これにより、ワークが更に精度の高いターゲットの位置決め作業をしている場合等では温度補償を不用とし、スライダ部上の構成がシンプルとなり、コストダウンに貢献できる。
(2)3台のセンサが外部に固定配置されるので、従来XYステージで必要としていた電源ケーブル、信号ケーブル不用となり、ケーブル処理のコストダウンに貢献できる。
(3)位置センサとして干渉計を用いることにより、機械部分を少なくし、装置を小型化することができる。
(4)X軸の制御を2系統とすることで、スライダ部のヨーイング及びX軸ミラーとY軸ミラーの曲がりの補正を実現し高精度な位置決めを実現できる。
(5)X軸ミラー及びY軸ミラーを、スライダ部に搭載されるワークの作業高さ位置としたことにより、ターゲットのより精度の高い位置制御を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用したXYステージの構成例を示す斜視図である。
【図2】第1のX軸センサの構成図である。
【図3】本発明の他の実施形態を示す側面図である。
【図4】従来構造のXYステージの基本構造を示す斜視図である。
【図5】スライダ部に形成されるX軸モータ及びY軸モータの概念図である。
【符号の説明】
10 格子プラテン
100 スライダ部
101 浮揚手段
102 X軸ミラー
103 Y軸ミラー
201 第1のX軸センサ
202 第2のX軸センサ
203 Y軸センサ
401 第1のX軸制御部
402 第2のX軸制御部
403 Y軸制御部
404、405 補正手段
406、407 補正テーブル
Claims (9)
- スライダ部を2次元方向に位置制御するXYステージにおいて、
固定部に配置され、前記スライダ部のX軸方向位置を検出するX軸センサと、
固定部に配置され、前記スライダ部のY軸方向位置を検出するY軸センサと、を有することを特徴とするXYステージ。 - 前記X軸センサと対向して前記スライダ部に固定配置されたX軸ミラーと、
前記Y軸センサと対向して前記スライダ部に固定配置されたY軸ミラーと、
を有し、前記X軸センサ及びY軸センサは、前記X軸ミラー及びY軸ミラーに光を照射してその反射光を受け、光の干渉を利用して距離を測定する干渉計であることをすることを特徴とする請求項1記載のXYステージ。 - 前記X軸センサは、X軸方向に所定距離を有して配置される第1及び第2のX軸センサで構成されることを特徴とする請求項1または2に記載のXYステージ。
- 前記スライダ部はX軸方向に所定距離を有して配置される第1及び第2のX軸モータを搭載し、前記第1及び第2のX軸センサの測定値に基づいて前記第1及び第2のX軸モータがフィードバック制御されることにより、スライダ部のX軸方向位置が制御されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のXYステージ。
- 前記スライダ部は、Y軸モータを有し、前記Y軸センサの測定値に基づいて前記Y軸モータがフィードバック制御されることにより、スライダ部のY軸方向位置が制御されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のXYステージ。
- 前記第1及び第2のX軸モータがフィードバック制御されることにより、前記スライダ部のヨーイング補正が行われることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のXYステージ。
- 前記スライダ部は格子プラテン上を移動し、前記格子プラテンは一定ピッチで形成された格子状の歯を有し、この歯は前記スライダ部のX軸モータ及びY軸モータに形成された歯と対向していることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のXYステージ。
- 前記スライダ部を前記格子プラテン上に所定距離浮揚させるための浮揚手段を有することを特徴とする請求項7に記載のXYステージ。
- 前記X軸ミラー及びY軸ミラーは、前記スライダ部に搭載されるワークの作業高さ位置に配置したことを特徴とする請求項2乃至8のいずれかに記載のXYステージ。
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-
2003
- 2003-06-18 JP JP2003172908A patent/JP2005009952A/ja not_active Withdrawn
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