JP2000046584A - 位置検出装置 - Google Patents

位置検出装置

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JP2000046584A
JP2000046584A JP10214399A JP21439998A JP2000046584A JP 2000046584 A JP2000046584 A JP 2000046584A JP 10214399 A JP10214399 A JP 10214399A JP 21439998 A JP21439998 A JP 21439998A JP 2000046584 A JP2000046584 A JP 2000046584A
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Hiroshi Jinno
比呂志 陣野
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Abstract

(57)【要約】 【課題】レゾルバから成る位置検出装置において、より
高精度な位置検出を行なうことを目的とする。 【解決手段】位置検出の精度を改善するために、A相の
コイル13とB相のコイル14からの出力波形をそれぞ
れ位相調整回路27、28によって位相調整して位相歪
を除去するとともに、ゲイン調整回路29、30によっ
て振幅のバラツキを除去する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は位置検出装置に係
り、とくに互いにずれた位置に配された2つのコイルに
よって90°位相がずれた正弦波を取出し、該正弦波を
用いて位置検出を行なうようにした位置検出装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】2つのコイルを用いて90°位相がずれ
た正弦波を取出すようにしたレゾルバと称される位置検
出装置が知られている。この位置検出装置は図9に示す
ようにA相のコイル1とB相のコイル2とを備え、これ
らのコイル1、2にそれぞれ基準周波数の交流信号を印
加するとともに、移動させることによってコイル1、2
の出力を振幅変調させるようにしたものである。コイル
1、2の出力は差分器3、4によってそれぞれ復調さ
れ、ローパスフィルタ5、6を通してデコーダ7に供給
され、このデコーダ7で位置データを得るようにしてい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】図9に示すような従来
のレゾルバによれば、固定子と可動子との間のギャップ
や固定子の歯型の形状によって、取出す正弦波に歪が発
生していた。このように歪がある正弦波を用いて角度検
出あるいは位置検出を行なうようにすると誤差が発生
し、その精度が制限される問題があった。
【0004】このような問題点に鑑みて、従来は図9に
示すように、ローパスフィルタ5、6を設け、これらの
フィルタ5、6によって差分器3、4で復調された正弦
波をフィルタ処理し、歪を小さくすることによって必要
な精度を得るようにしていた。しかしこのような方法に
よれば、それぞれのレゾルバに特有の異なる歪波形を補
正することが難しいという問題があった。このためにレ
ゾルバの製造時に固定子や可動子の歯の仕上げやギャッ
プの調整等を高精度に行なわなければならず、これによ
って工数を必要とするとともに、コストが増大する欠点
があった。
【0005】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たものであって、互いにずれた位置に配された2つのコ
イルから取出された正弦波の歪を電気的に低減し、これ
によって位置精度の向上を図るようにした位置検出装置
を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、互いにずれた
位置に配された2つコイルによって90°位相がずれた
正弦波を取出し、該正弦波を用いて位置検出を行なうよ
うにした位置検出装置において、前記90°位相がずれ
た2つの正弦波の位相を調整する手段を設けたことを特
徴とする位置検出装置に関するものである。ここで前記
位相を調整する手段が位相調整回路であってよい。
【0007】また別の発明は、互いにずれた位置に配さ
れた2つコイルによって90°位相がずれた正弦波を取
出し、該正弦波を用いて位置検出を行なうようにした位
置検出装置において、前記90°位相がずれた2つの正
弦波の振幅を調整する手段を設けたことを特徴とする位
置検出装置に関するものである。ここで前記振幅を調整
する手段がゲイン調整回路であってよい。
【0008】さらに別の発明は、互いにずれた位置に配
された2つのコイルによって90°位相がずれた正弦波
を取出し、該正弦波を用いて位置検出を行なうようにし
た位置検出装置において、予め作成された補正データを
用いて位置データを補正するようにしたことを特徴とす
る位置検出装置に関するものである。
【0009】さらに別の発明は、固定側と可動側の内の
一方に互いに位相が90°ずれるようにA相のコイルと
B相のコイルとを設け、所定の周波数の交流信号を前記
A相のコイルと前記B相のコイルに加えるとともに、可
動子を固定子に対して移動したときに前記A相のコイル
と前記B相のコイルに加えられている前記交流信号を振
幅変調し、振幅変調された前記A相のコイルの出力波形
と前記B相のコイルの出力波形とをそれぞれ復調するこ
とにより90°位相がずれた2つの正弦波を取出し、該
正弦波のレベルから位置検出を行なうようにした位置検
出装置において、前記90°位相がずれた2つの正弦波
の位相を調整する手段と振幅を調整する手段とを設けた
ことを特徴とする位置検出装置に関するものである。
【0010】本発明の好ましい態様は、レゾルバから成
る位置検出装置において、その出力の2相波を調整する
回路と、その2相波を位置に変換する電気回路と、これ
らを制御する制御手段とから構成される位置検出装置に
関するものである。ここでレゾルバから成る位置検出装
置の2つの正弦波の位相歪と振幅歪を調整する回路を有
しており、さらに2つの正弦波を用いて位置情報を取出
すデコーダから得られた出力をさらにソフトウエア制御
によって補正するようにしている。
【0011】このような構成によれば、今までは物理特
性を改善することでしか対処できなかった固定子や可動
子の歯型やコイルのバラツキの影響を改善することが可
能になる。さらにソフトウエア制御による補正を併用す
ることによって、より精度を改善することが可能にな
る。
【0012】XYテーブル、レーダアンテナ、スライド
機構等の位置検出に用いられるレゾルバから成る位置検
出装置において、90°位相がずれた正弦波を利用して
位置や角度を検出する場合に、正弦波の振幅や位相歪が
あると精度が悪くなる。このために正弦波の歪を低減す
るための検出部の機構を工夫したり、波形をフィルタ処
理して歪を小さくしたりして精度を得ている。このため
に検出部のギャップや形状の精度を高精度にする必要が
あり、これによって製造コストが高くなる問題があっ
た。また直線型の場合には検出コイルに正弦波を発生さ
せる目的でレゾルバの固定子と可動子とに歯を切るよう
にしているが、加工精度や積層時の工作精度によって歯
の形状か微妙に変化するために、正弦波の再現性が悪
く、位置のフラツキが発生して精度を悪化させる原因に
なっていた。
【0013】そこで本発明においては、上記の問題点を
解決するために、2つのコイルから出力される正弦波の
位相歪と振幅歪に着目し、これらの位相歪と振幅歪を低
減し、2相波の位相と振幅とを個々に可変するようにし
たものであって、これによって2相波の歪を低減する機
能をもった位置検出装置を提供するものである。
【0014】ここで上記2相のコイルには例えば10K
Hzの交流信号を交流信号源から供給している。固定子
10と可動子17の歯型の作用によってリアクタンスが
変化して交流の振幅が変化する。2相波コイルは位相が
90°ずらして配されているために、これを差分器で取
出すことによって位相が90°ずれた2相波が得られ
る。この2相波は歯型の誤差やコイルのバラツキのため
に、位相が必ずしも90°に一致しておらず、また振幅
にもバラツキをもっている。
【0015】そこで位相調整回路によって2つの正弦波
の位相差を90°に正しく調整するとともに、2つの正
弦波の振幅も同じくなるようにゲイン調整回路で調整す
る。このようにして得られた歪の小さい2相波をデコー
ダによって位置または角度に変換する。このようにして
得られた位置または角度のデータを、さらにソフトウエ
アによって誤差を補正することによって、高精度な位置
の検出を行なうことが可能になる。
【0016】
【発明の実施の形態】図1は本発明の一実施の形態に係
る位置検出装置を原理的に示すものである。この検出装
置はいわゆるレゾルバと称される位置検出装置であっ
て、固定子10を備えている。固定子10には一対の突
極11、12がそれぞれ連設されており、これらの突極
11、12にA相のコイル13とB相のコイル14とが
それぞれ巻装されている。また突極11の先端側の部分
には所定のピッチで歯15、16がそれぞれ形成されて
いる。
【0017】これに対して上記固定子10と対向するよ
うに可動子17が配されている。この可動子17には上
記突極11、12の歯15、16と対向するように歯1
8が形成されている。ここで歯18のピッチは上記突極
11、12の歯15、16と同じピッチになっている。
しかも可動子17の歯18は突極11の歯15と互いに
一致する場合に、突極12の歯16は可動子17の歯1
8と1/4ピッチずれるようになっている。すなわち歯
のピッチを2πとすると、π/2だけ歯16の位置がず
れるようになっている。
【0018】このような固定子10の2つの突極11、
12にそれぞれ巻装されたコイル13、14から互いに
90°位相がずれた正弦波を取出すようにしている。す
なわち図2に示すように、A相の出力とB相の出力とが
π/2ずれた状態で取出されることになる。従って歯1
5、16、18のピッチをπ/2に対応させるととも
に、B相の出力をYとし、A相の出力をXとすると、可
動子17の位置は図3に示す極座標において、(X、
Y)で表わされる。
【0019】ここで Y=sinθ X=cosθ tanθ=Y/X θ=tan-1Y/X 従って可動子17が任意の位置まで移動したときのA相
の出力とB相の出力を検出することにより、上記の式か
ら可動子17の位置を求めることが可能になる。
【0020】図4はこのような位置検出のための具体的
な回路構成を示しており、A相のコイル13とB相のコ
イル14にはそれぞれ交流信号源22が接続されてい
る。そしてA相のコイル13とB相のコイル14の出力
端はそれぞれ差分器23、24に接続されるとともに、
これらの差分器23、24がローパスフィルタ25、2
6と接続されている。さらにローパスフィルタ25、2
6は位置調整回路27、28と接続されるようになって
いる。そして位置調整回路27、28はさらにゲイン調
整回路29、30と接続されている。またゲイン調整回
路29、30の出力がデコーダ31に入力されるように
なっている。デコーダ31は2つの正弦波の出力から、
上記可動子17の位置を演算によって求めるようにして
いる。
【0021】次に図4に示す回路の動作を説明する。交
流信号源22によって所定の周波数、例えば10KHz
の交流の基準信号がA相のコイル13とB相のコイル1
4とにそれぞれ供給される。このときに図1に示すよう
に、例えばA相のコイル13についてはその歯15が可
動子17の歯18と完全に一致していたとする。すると
突極11と可動子17との間の磁気抵抗が最小になるた
めに、A相のコイル13の出力は図5Aに示すように大
きな振幅の波形になる。これに対して突極12の歯16
が可動子17の歯18とπ/2ずれている場合には、B
相のコイル14の出力は図5Bに示すように非常に小さ
な値になる。
【0022】従って可動子17を固定子10に対して図
1に示す矢印のように左右の何れかの方向に移動させる
と、A相のコイル13とB相のコイル14にそれぞれ加
えられている交流信号は図5Cに示すように振幅変調さ
れる。すなわち突極11、12の歯15、16が可動子
17の歯18と一致したりずれたりするのに応じて、磁
気抵抗が変化するためにその出力が変化する。これによ
って図5Cに示すように外部から加えられた交流信号が
振幅変調される。
【0023】そこでA相のコイル13の出力を差分器2
3によって復調することによってA相の正弦波が得ら
れ、B相のコイル14の出力を差分器24によって復調
することによってB相の正弦波が得られる。これらの正
弦波が図2に示す2つの正弦波である。
【0024】これらの正弦波をそれぞれローパスフィル
タ25、26によってノイズを除去するとともに、位相
調整回路27、28によって位相調整を行ない、さらに
ゲイン調整回路29、30によってゲインの調整を行な
う。そして位相調整とゲイン調整が行なわれた2つの正
弦波をデコーダ31に供給し、これによって位置検出情
報を得るようにしている。
【0025】位相調整回路27、28を設ける理由は次
の通りである。すなわち突極11、12の歯15、16
の位置が完全にπ/2だけずれている場合には、位相調
整を行なう必要がない。ところが実際には歯15、16
は非常に細かく、このような細かい歯を互いにπ/2だ
けずらすとしても、必ずしも正確にπ/2ずれていると
は限らない。従ってこのような歯15、16の精度のバ
ラツキが生ずる。このようなバラツキが位相調整回路2
7、28で補正される。
【0026】次にゲイン調整回路29、30を設けるの
は次のような理由による。すなわちA相のコイル13と
B相のコイル14とにともに例えば10KHzで3.5
Vの振幅の電圧を印加しても、出力は必ずしも一定の振
幅とは限らない。すなわちコイルの巻き方や突極11、
12のコアのバラツキ、あるいは回路のバラツキによっ
て、A相のコイル13とB相のコイル14の出力の振幅
にバラツキを生ずる。このようなバラツキが位置データ
の誤差になる。そこでこのような誤差を吸収するために
ゲイン調整回路29、30が設けられるのである。
【0027】このように本実施の形態の位置検出装置
は、図1に示すように直線移動する可動子17と固定子
10から成るレゾルバによって構成されており、可動子
17の位置の検出を行なうためのものである。ここで位
置の検出にはレゾルバコイル13、14で発生する位相
がπ/2ずれた2相波を専用のデコーダ31に入力し、
ここでデコードして位置検出データを得るようにしてい
る。レゾルバコイル13、14は硅素鋼板の突極11、
12に巻線を施したものであって、図2に示すような正
弦波状の出力が得られるように歯15、16を設けたも
のである。2相なので歯15、16を90°位相がずれ
るように配置する。
【0028】2つのコイル13、14の電気的な特性が
多少バラつく。これら2つのコイルを一定の周波数で励
磁し、可動子17を移動させると出力波が図5Cに示す
ように振幅変調される。これを差分器23、24で復調
することによって図2に示すような2相波が得られるこ
とになる。
【0029】ここで得られた2相波はコイル13、14
の特性の差や、歯15、16の誤差によって位相ずれや
振幅のバラツキをもっている。そこで位相調整回路2
7、28とゲイン調整回路29、30とで位相のずれや
振幅のバラツキを小さくしてからデコーダ31に入力
し、これによって位置情報を得るようにしており、精度
の高い位置情報出力が得られることになる。
【0030】さらにこの実施の形態においては、上記位
置情報をさらにソフトウエア処理することによってその
誤差の低減を図るようにしている。レゾルバの誤差で繰
返し性のある部分は補正が可能なので、ソフトウエアに
補正機能をもたせて改善することが可能になる。まずレ
ゾルバの位置データを補正するための基準測長器を設置
する。次にレゾルバの全長にわたり位置データを測定し
て比較し、補正データを作成する。これを歯毎の平均化
処理をして補正データを作る。これを位置のデータを読
出す毎に補正値として加えて位置の補正を行なうように
している。
【0031】図6はこのような誤差の低減のための制御
のプログラムを示している。まず位置補正のテーブルを
作成し、現在位置をデコーダ31から読込む。そして位
置補正ルーチンによって位置補正を行ない、次いで制御
の計算を行なう。この計算は出力電流の計算である。そ
してこのときにサーボが作動しているかどうかの判断を
行なうとともに、サーボが作動している場合にはアンプ
へ出力する。これに対してサーボが作動していない場合
には現在位置の読込みのステップに戻ることになる。
【0032】図7は位置補正ルーチンを示しており、こ
こでは現在位置に対応する補正値の読込みを行なうとと
もに、補正値を図8に示すように補間して現在位置に対
応した補正値を求める。そして現在位置に補正値を加
え、これによって誤差を低減するようにしている。
【0033】以上本発明を図示の一実施の形態につき述
べたが、本発明は上記実施の形態によって限定されるこ
となく、各種の変更が可能である。例えば上記実施の形
態は、可動子17を直線運動させたときの位置の検出を
行なうようにしたものであるが、回転式の位置検出装置
であって、角度検出を行なうようにした位置検出装置に
も本発明は適用可能である。
【0034】
【発明の効果】以上のように本発明は、互いにずれた位
置に配された2つコイルによって90°位相がずれた正
弦波を取出し、該正弦波を用いて位置検出を行なうよう
にした位置検出装置において、90°位相がずれた2つ
の正弦波の位相を調整する手段を設けるようにしたもの
である。
【0035】従って機械的な位相のずれに伴う2つの正
弦波のずれを矯正してそれらの位相差を90°の値に正
しく調整することが可能になる。
【0036】位相を調整する手段が位相調整回路である
構成によれば、このような位相調整回路によって90°
の位相差に保持される。
【0037】別の発明は、互いにずれた位置に配された
2つコイルによって90°位相がずれた正弦波を取出
し、該正弦波を用いて位置検出を行なうようにした位置
検出装置において、90°位相がずれた2つの正弦波の
振幅を調整する手段を設けたものである。
【0038】従ってこのような構成によれば、2つのコ
イルの出力の振幅のバラツキを吸収することが可能にな
る。
【0039】振幅を調整する手段がゲイン調整回路であ
る構成によれば、このようなゲイン調整回路によって2
つの正弦波の振幅の調整が行なわれる。
【0040】さらに別の発明は、互いにずれた位置に配
された2つのコイルによって90°位相がずれた正弦波
を取出し、該正弦波を用いて位置検出を行なうようにし
た位置検出装置において、予め作成された補正データを
用いて位置データを補正するようにしたものである。
【0041】従ってこのような補正データに基く位置デ
ータの補正によって、より正確な位置検出を行なうこと
が可能になる。
【0042】さらに別の発明は、固定側と可動側の内の
一方に互いに位相が90°ずれるようにA相のコイルと
B相のコイルとを設け、所定の周波数の交流信号をA相
のコイルとB相のコイルに加えるとともに、可動子を固
定子に対して移動したときにA相のコイルとB相のコイ
ルに加えられている交流信号を振幅変調し、振幅変調さ
れたA相のコイルの出力波形とB相のコイルの出力波形
とをそれぞれ復調することにより90°位相がずれた2
つの正弦波を取出し、該正弦波のレベルから位置検出を
行なうようにした位置検出装置において、90°位相が
ずれた2つの正弦波の位相を調整する手段と振幅を調整
する手段とを設けたものである。
【0043】従って本発明によれば、2つの正弦波の位
相のずれを正しく設定するとともに、これらの正弦波の
振幅のバラツキを吸収し、これによってより正確な位置
検出を行なうことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】位置検出装置の平面図である。
【図2】2つのコイルの出力波形を示すグラフである。
【図3】2つのコイルの波形と極座標の角度との関係を
示すグラフである。
【図4】位置検出の回路を示すブロック図である。
【図5】同回路の動作を示す波形図である。
【図6】位置補正の制御動作を示すフローチャートであ
る。
【図7】位置補正ルーチンを示すフローチャートであ
る。
【図8】位置補正の動作を示すグラフである。
【図9】従来の位置検出回路のブロック図である。
【符号の説明】
1‥‥コイル(A相)、2‥‥コイル(B相)、3、4
‥‥差分器、5、6‥‥ローパスフィルタ、7‥‥デコ
ーダ、10‥‥固定子、11、12‥‥突極、13‥‥
コイル(A相)、14‥‥コイル(B相)、15、16
‥‥歯、17‥‥可動子、18‥‥歯、22‥‥交流信
号源、23、24‥‥差分器、25、26‥‥ローパス
フィルタ、27、28‥‥位相調整回路、29、30‥
‥ゲイン調整回路、31‥‥デコーダ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】互いにずれた位置に配された2つコイルに
    よって90°位相がずれた正弦波を取出し、該正弦波を
    用いて位置検出を行なうようにした位置検出装置におい
    て、 前記90°位相がずれた2つの正弦波の位相を調整する
    手段を設けたことを特徴とする位置検出装置。
  2. 【請求項2】前記位相を調整する手段が位相調整回路で
    あることを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。
  3. 【請求項3】互いにずれた位置に配された2つコイルに
    よって90°位相がずれた正弦波を取出し、該正弦波を
    用いて位置検出を行なうようにした位置検出装置におい
    て、 前記90°位相がずれた2つの正弦波の振幅を調整する
    手段を設けたことを特徴とする位置検出装置。
  4. 【請求項4】前記振幅を調整する手段がゲイン調整回路
    であることを特徴とする請求項3に記載の位置検出装
    置。
  5. 【請求項5】互いにずれた位置に配された2つのコイル
    によって90°位相がずれた正弦波を取出し、該正弦波
    を用いて位置検出を行なうようにした位置検出装置にお
    いて、 予め作成された補正データを用いて位置データを補正す
    るようにしたことを特徴とする位置検出装置。
  6. 【請求項6】固定側と可動側の内の一方に互いに位相が
    90°ずれるようにA相のコイルとB相のコイルとを設
    け、所定の周波数の交流信号を前記A相のコイルと前記
    B相のコイルに加えるとともに、可動子を固定子に対し
    て移動したときに前記A相のコイルと前記B相のコイル
    に加えられている前記交流信号を振幅変調し、 振幅変調された前記A相のコイルの出力波形と前記B相
    のコイルの出力波形とをそれぞれ復調することにより9
    0°位相がずれた2つの正弦波を取出し、該正弦波のレ
    ベルから位置検出を行なうようにした位置検出装置にお
    いて、 前記90°位相がずれた2つの正弦波の位相を調整する
    手段と振幅を調整する手段とを設けたことを特徴とする
    位置検出装置。
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