JP4816278B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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図1〜図10は、実施の形態にかかる半導体装置の製造方法の製造プロセスを示す図である。以下に説明する実施の形態では、直径6インチのウエハーを用いて耐圧600Vのフィールドストップ(FS)型IGBTを作製する場合を例にして説明する。
12 アルミ電極
13 酸化膜
14 レジスト
20 ウエハー支持爪
Claims (6)
- 半導体ウエハーの第1主面および第2主面に耐エッチング保護膜となる酸化膜または窒化膜を形成する形成工程と、
前記耐エッチング保護膜をフォトレジストで被覆する被覆工程と、
フォトリソグラフィによって前記フォトレジストのうち、前記半導体ウエハーの第2主面側のフォトレジストを外周端部から所定の幅を残して除去するレジスト除去工程と、
前記半導体ウエハーの第2主面側の外周端部に残る前記フォトレジストをマスクとして、前記耐エッチング保護膜のうち、前記半導体ウエハーの第2主面に形成された耐エッチング保護膜を外周端部から所定の幅を残して除去する第1の除去工程と、
前記耐エッチング保護膜が外周端部を残して除去された前記半導体ウエハーの第2主面を所定の深さまでエッチングするエッチング工程と、
エッチング後の前記半導体ウエハーの第1主面と第2主面の外周端部に残る前記耐エッチング保護膜を除去する第2の除去工程と、
を含み、
前記半導体ウエハーの第2主面の外周端部は、当該半導体ウエハーを支持する支持爪と接しており、
前記レジスト除去工程は、前記支持爪と前記半導体ウエハーが接する部分から所定幅を残して前記フォトレジストを除去することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - あらかじめ前記半導体ウエハーの第1主面に半導体素子またはその一部が作製されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記耐エッチング保護膜は、500℃以下の熱処理によって形成されることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記エッチング工程は、前記半導体ウエハー全体をエッチング溶液に浸して当該半導体ウエハーの第2主面を所定の深さまでエッチングすることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記エッチング工程は、アルカリ溶液をエッチング溶液として前記半導体ウエハーの第2主面を所定の深さまでエッチングすることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の除去工程は、前記耐エッチング保護膜を前記半導体ウエハーの第2主面の外周端部から1mm〜20mm幅を残して除去することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法。
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